下载坩埚轴组件和晶体生长装置的技术资料

文档序号:36306021

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本实用新型公开了一种坩埚轴组件和晶体生长装置,坩埚轴组件包括冷却件和转轴,冷却件形成为具有安装通道的管状结构,冷却件内形成有环绕安装通道的冷却通道,冷却通道沿安装通道的轴向螺旋延伸,转轴穿设于冷却件的安装通道中,转轴适于相对冷却件转动,转轴...
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