【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉坩埚轴对中装置
[0001]本技术涉及单晶炉
,具体为一种单晶炉坩埚轴对中装置。
技术介绍
[0002]晶硅材料作为光伏发电的一种基础材料,有着广泛的市场需求。一种常见的晶硅生长方法是直拉法,该方法使用单晶炉,将籽晶浸入坩埚内的熔融原料中,在转动籽晶及坩埚的同时提拉籽晶,并在籽晶下端生长晶硅棒。拉晶前后,坩埚在坩埚轴的带动下进行转动及升降运动。
[0003]专利文件CN201670891U公开了一种单晶炉用坩埚轴,包括“坩埚轴本体和内管,坩埚轴本体套装在内管外,坩埚轴本体和内管之间有间隙,还包括芯轴和滑动轴承,所述坩埚轴本体包括轴头、主轴和旋转接头,轴头设置在主轴上端,旋转接头设置在主轴下端,所述主轴和旋转接头的轴心上开有相连通的通孔,所述坩埚轴本体内开有空腔,芯轴设置在空腔中通过滑动轴承安装在内管上端,芯轴轴心开有和内管连通的通孔,所述芯轴通过固定销固定在坩埚轴本体上,芯轴和坩埚轴本体之间有间隙。本技术与现有技术相比,本技术在坩埚轴内部增设芯轴,大大提高了坩埚轴的水冷效果,并且本技术安装简单”;r/>[0004]上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉坩埚轴对中装置,包括单晶炉主体(1),其特征在于:所述单晶炉主体(1)的一侧设置有支撑架(2),所述单晶炉主体(1)的内部设置有限位机构(3),所述限位机构(3)的顶部设置有对中机构(4);对中机构(4),所述对中机构(4)包括石墨坩埚(401)和锅底(402),所述石墨坩埚(401)设置在单晶炉主体(1)的内部,所述石墨坩埚(401)的底部固定连接有锅底(402)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚轴对中装置,其特征在于:所述对中机构(4)还包括对中圈(403)和对中槽(404),所述对中圈(403)固定连接在锅底(402)的底部,所述对中槽(404)开设在限位机构(3)的顶部。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚轴对中装置,其特征在于:所述限位机构(3)包括连接盘(301)、坩埚轴(302)、托盘(303)和限位圈(304),所述连接盘(301)设置在单晶炉主体(1)的底部,所述连接盘(301)的顶部设置有坩埚轴(302),所...
【专利技术属性】
技术研发人员:李艮友,
申请(专利权)人:无锡市奥威斯机械制造有限公司,
类型:新型
国别省市:
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