一种加工单晶的生长炉制造技术

技术编号:37006471 阅读:15 留言:0更新日期:2023-03-25 18:33
本实用新型专利技术公开了一种加工单晶的生长炉,包括生长炉本体,所述生长炉本体下表面固定有支架,所述生长炉本体上开设有加工口,所述生长炉本体下表面设置有传动箱,所述传动箱内侧通过传动结构连接有可移动的棱块,所述棱块顶端设置有用于对单晶生长的坩埚;所述传动结构包括转动轴、第一电机、传动螺杆、转动块及第二电机;通过设置有转动轴、第一电机、传动螺杆、转动块及第二电机,避免在通过直拉法使单晶生长时,不便于分别控制坩埚的旋转或升降,装置结构简单,能够单独进行旋转使坩埚内侧的物料分布均匀,同时也可以在坩埚旋转时对坩埚进行升降操作,或者使坩埚进行单独的升降。或者使坩埚进行单独的升降。或者使坩埚进行单独的升降。

【技术实现步骤摘要】
一种加工单晶的生长炉


[0001]本技术涉及一种加工单晶的生长炉。

技术介绍

[0002]所谓单晶,即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地、周期性地排列,或者说晶体的整体在三维方向上由同一空间格子构成,整个晶体中质点在空间的排列为长程有序。在单晶加工时,首先,把高纯度的多晶原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的液体稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长,通过直拉法生长无错位单晶。
[0003]现有的单晶生长炉在使用时,坩埚会同时进行旋转和升降,不能很好的单独控制坩埚进行升降或旋转,导致不能很好的先通过旋转使坩埚受热均匀,融化的物料在坩埚内分布均匀,然后再进行旋转升降,操作效果不佳,为此我们提出一种加工单晶的生长炉。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种加工单晶的生长炉,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种加工单晶的生长炉,包括生长炉本体,所述生长炉本体下表面固定有支架,所述生长炉本体上开设有加工口,所述生长炉本体下表面设置有传动箱,所述传动箱内侧通过传动结构连接有可移动的棱块,所述棱块顶端设置有用于对单晶生长的坩埚;
[0006]所述传动结构包括转动轴、第一电机、传动螺杆、转动块及第二电机,所述第一电机固定于传动箱一侧壁以带动生长炉本体内侧下端的转动轴转动,且所述转动轴与棱块通过棱槽进行配合以带动棱块旋转,所述棱块内侧通过转动槽配合连接有转动块,所述传动螺杆转动安装于传动箱内侧,所述传动螺杆通过螺纹部与转动块配合以带动棱块进行上下移动,所述第二电机固定于传动箱内侧另一端以带动传动螺杆转动。
[0007]优选的,所述传动螺杆外表面套设有第一锥齿,所述第二电机输出端设置有第二锥齿,所述第二锥齿与第一锥齿相配合。
[0008]优选的,所述转动轴上设置有第一齿轮,所述转动轴外表面设置有与第一齿轮相配合的第二齿轮。
[0009]优选的,所述转动槽内侧设置有滚珠,所述滚珠与转动块相接触。
[0010]优选的,所述棱块顶端设置有托板,所述托板与坩埚可拆卸连接。
[0011]优选的,所述传动箱侧壁设置有接线端,所述接线端与第二电机通过导线电性连接。
[0012]优选的,所述支架与生长炉本体焊接固定,所述支架内侧下端开设有安装孔。
[0013]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0014]通过设置有转动轴、第一电机、传动螺杆、转动块及第二电机,避免在通过直拉法使单晶生长时,不便于分别控制坩埚的旋转或升降,装置结构简单,能够单独进行旋转使坩埚内侧的物料分布均匀,同时也可以在坩埚旋转时对坩埚进行升降操作,或者使坩埚进行单独的升降,操作简单,易于根据实际需要进行操作,使用效果更好。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图;
[0016]图2为本技术的支架结构示意图;
[0017]图3为本技术的传动箱剖视结构示意图;
[0018]图4为本技术的图3的A处剖视结构示意图;
[0019]图5为本技术的图4的B处放大结构示意图;
[0020]图中:1、生长炉本体;2、加工口;3、支架;4、传动箱;5、接线端;6、传动螺杆;7、第一锥齿;8、第二电机;9、第一电机;10、转动轴;11、棱块;12、转动块;13、第一齿轮;14、滚珠;15、坩埚。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1

图5,本技术提供一种技术方案:一种加工单晶的生长炉,包括生长炉本体1,生长炉本体1下表面固定有支架3,生长炉本体1上开设有加工口2,生长炉本体1下表面设置有传动箱4,传动箱4内侧通过传动结构连接有可移动的棱块11,便于在通过直拉法加工单晶时,对坩埚15的位置进行调整,棱块11顶端设置有用于对单晶生长的坩埚15;
[0023]传动结构包括转动轴10、第一电机9、传动螺杆6、转动块12及第二电机8,第一电机9固定于传动箱4一侧壁以带动生长炉本体1内侧下端的转动轴10转动,且转动轴10与棱块11通过棱槽进行配合以带动棱块11旋转,便于通过棱块11的转动,带动坩埚15发生转动,棱块11内侧通过转动槽配合连接有转动块12,传动螺杆6转动安装于传动箱4内侧,传动螺杆6通过螺纹部与转动块12配合以带动棱块11进行上下移动,便于旋送转动块12进行升降,进而带动棱块11进行升降移动,第二电机8固定于传动箱4内侧另一端以带动传动螺杆6转动,便于带动传动螺杆6旋转。
[0024]本实施例中,优选的,传动螺杆6外表面套设有第一锥齿7,第二电机8输出端设置有第二锥齿,第二锥齿与第一锥齿7相配合,便于更好的带动传动螺杆6发生转动。
[0025]本实施例中,优选的,转动轴10上设置有第一齿轮13,转动轴10外表面设置有与第一齿轮13相配合的第二齿轮,便于带动转动轴10发生转动。
[0026]本实施例中,优选的,转动槽内侧设置有滚珠14,滚珠14与转动块12相接触,便于更好的使转动块12与棱块11发生转动。
[0027]本实施例中,优选的,棱块11顶端设置有托板,托板与坩埚15可拆卸连接。
[0028]本实施例中,优选的,传动箱4侧壁设置有接线端5,接线端5与第二电机8通过导线
电性连接。
[0029]本实施例中,优选的,支架3与生长炉本体1焊接固定,支架3内侧下端开设有安装孔,便于更好的使支架3与外部支撑台通过螺栓及安装孔连接固定。
[0030]本技术的工作原理及使用流程:在使用时,使多晶放置于坩埚15内侧对其进行融化,然后通过第一电机9带动转动轴10进行转动,转动轴10通过棱槽带动棱块11旋转,棱块11转动带动坩埚15转动使其内部融化的多晶分散均匀,在需要通过直拉法生长单晶时,使第二电机8带动传动螺杆6进行旋转,传动螺杆6通过螺纹部带动转动块12上升或下降,转动块12移动通过棱块11带动坩埚15进行上升或下降,操作简单,便于分别控制坩埚15进行转动或升降。
[0031]尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加工单晶的生长炉,包括生长炉本体(1),所述生长炉本体(1)下表面固定有支架(3),所述生长炉本体(1)上开设有加工口(2),其特征在于:所述生长炉本体(1)下表面设置有传动箱(4),所述传动箱(4)内侧通过传动结构连接有可移动的棱块(11),所述棱块(11)顶端设置有用于对单晶生长的坩埚(15);所述传动结构包括转动轴(10)、第一电机(9)、传动螺杆(6)、转动块(12)及第二电机(8),所述第一电机(9)固定于传动箱(4)一侧壁以带动生长炉本体(1)内侧下端的转动轴(10)转动,且所述转动轴(10)与棱块(11)通过棱槽进行配合以带动棱块(11)旋转,所述棱块(11)内侧通过转动槽配合连接有转动块(12),所述传动螺杆(6)转动安装于传动箱(4)内侧,所述传动螺杆(6)通过螺纹部与转动块(12)配合以带动棱块(11)进行上下移动,所述第二电机(8)固定于传动箱(4)内侧另一端以带动传动螺杆(6)转动。2.根据权利要求1所述的一种加工单晶的...

【专利技术属性】
技术研发人员:肖若愚李谦宋克鑫郭海生陈彦沈亦寒王伟
申请(专利权)人:江苏蓝鲸新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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