【技术实现步骤摘要】
一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置
[0001]本技术涉及一种电子级六氟乙烷用提纯装置,具体而言,涉及一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置。
技术介绍
[0002]四氟化碳废气回收提纯六氟乙烷中,粗气为四氟化碳和六氟乙烷的混合,以及少量其他杂质,其他杂质通过精制,精馏后放空,四氟化碳与六氟乙烷的相对挥发度大,若通过后续精馏系统将其除去,会增加精馏能耗。
[0003]目前,现有技术通过分馏装置,分离六氟乙烷与四氟化碳,分离出的四氟化碳返回生产线中,提高四氟化碳回收率,增大经济效益,但若使用传统分馏装置冷凝器直接冷凝,不仅冷凝效果较差,而且还会增大设备的能耗。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置,其能够提高对粗气的冷凝效果,能够最大程度的利用冷媒的冷气量,减少冷气设备的能耗。
[0005]本技术的实施例是这样实现的:
[0006]本申请实施例提供一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置,包括依次连通的冷凝箱、精馏箱和 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置,其特征在于,包括依次连通的冷凝箱、精馏箱和塔釜再沸器,所述冷凝箱内的上侧安装有冷凝器,所述冷凝箱内的下侧安装有第一预冷组件,所述第一预冷组件包括多个内径依次减小的第一冷凝圈,相邻两个所述第一冷凝圈之间连接有第一连接管,最外侧的所述第一冷凝圈与所述冷凝器之间连接有第一冷媒管道,最外侧所述的第一冷凝圈与所述冷凝箱可拆卸连接,所述冷凝箱内安装有第一导流组件,所述第一导流组件位于所述第一预冷组件下方。2.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置,其特征在于,所述第一导流组件包括第一导流基板,所述第一导流基板设置有多个第一导流通孔,所述第一导流基板与所述冷凝箱可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置,其特征在于,多个所述第一导流通孔等距设置。4.根据权利要求2所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置,其特征在于,相邻两个所述第一冷凝圈连通有多个所述第一连接管,多个所述第一连接管等距设置。5.根据权利要求2所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置,其特征在于,所述冷凝箱内侧壁沿周向设置有多个与所述第一冷凝圈配合的第一挂钩,多个所述第一挂...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢文英,马本辉,袁永智,
申请(专利权)人:鹤壁德瑞科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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