电子级三氟化氯的收集装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种电子级三氟化氯的收集装置，涉及收集装置技术领域。一种电子级三氟化氯的收集装置，包括外罐体和内罐体，内罐体设于外罐体内，内罐体与外罐体之间设有冷却通道，内罐体内部设有隔板，隔板将内罐体分为存储腔和泄漏收集腔，隔板上设有盖板，盖板与隔板之间设有印痕，内罐体的顶部设有进料管，内罐体的底部设有出料管，内罐体上还设有用于测量存储腔内部压力的压力传感器；本装置中内罐体内部设有隔板，将内罐体分为存储腔和泄漏收集腔，在三氟化氯收集过程中出现过满现象时，泄漏收集腔可以起到保护作用，极大程度上避免了三氟化氯的泄漏，一旦发生泄漏也能够及时进行补救，保证三氟化氯收集的安全性。保证三氟化氯收集的安全性。保证三氟化氯收集的安全性。

【技术实现步骤摘要】
电子级三氟化氯的收集装置


[0001]本专利技术涉及收集装置
，具体而言，涉及电子级三氟化氯的收集装置。

技术介绍

[0002]目前，三氟化氯是一种氧化性极强的芯片刻蚀清洗剂，它能与大多数有机材料和无机材料甚至金属材料反应，可以使许多材料发生剧烈燃烧，在某些情况下甚至会爆炸。
[0003]现有的三氟化氯收集装置在充装过程中容易造成收集过满的现象，且现有的收集装置防泄漏能力不够强，当三氟化氯收集过满时很容易发生泄漏，存在安全隐患，因此需要克服上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供电子级三氟化氯的收集装置，其内罐体内部设有隔板，将内罐体分为存储腔和泄漏收集腔，在三氟化氯收集过程中出现过满现象时，泄漏收集腔可以起到保护作用，极大程度上避免了三氟化氯的泄漏，一旦发生泄漏也能够及时进行补救，保证三氟化氯收集的安全性。
[0005]本专利技术的实施例是这样实现的：
[0006]本申请实施例提供一种电子级三氟化氯的收集装置，其包括外罐体和内罐体，上述内罐体设于上述外罐体内，上述内罐体与上述外罐体之间设有冷却通道，上述内罐体内部设有隔板，上述隔板将上述内罐体分为存储腔和泄漏收集腔，上述隔板上设有盖板，上述盖板与上述隔板之间设有印痕，上述内罐体的顶部设有进料管，上述内罐体的底部设有出料管，上述内罐体上还设有用于测量上述存储腔内部压力的压力传感器，上述内罐体上还设有用于检测上述泄漏收集腔内是否有泄漏的三氟化氯的检测组件；还包括设于上述外罐体外表面的报警组件，上述压力传感器和上述检测组件均与上述报警组件电性连接。
[0007]在本专利技术的一些实施例中，上述外罐体包括罐体本体，上述罐体本体上端一侧设有进口管，上述罐体本体底端一侧设有出口管。
[0008]在本专利技术的一些实施例中，上述外罐体上还设有用于测量上述冷却通道内温度的温度传感器。
[0009]在本专利技术的一些实施例中，上述外罐体与上述内罐体之间还设有多个连接杆。
[0010]在本专利技术的一些实施例中，上述检测组件包括三氟化氯检测仪。
[0011]在本专利技术的一些实施例中，上述报警组件包括扬声器。
[0012]在本专利技术的一些实施例中，上述外罐体的两侧壁均设有吊耳。
[0013]在本专利技术的一些实施例中，上述外罐体的底部还设有支撑组件。
[0014]在本专利技术的一些实施例中，上述支撑组件包括三个弹性支撑腿，三个上述弹性支撑腿呈三角形等距设于上述外罐体的底部。
[0015]在本专利技术的一些实施例中，任意一个上述弹性支撑腿均包括上支撑腿、下支撑腿和弹簧，上述上支撑腿滑动设于上述下支撑腿上，上述弹簧设于上述上支撑腿与上述下支
撑腿之间。
[0016]相对于现有技术，本专利技术的实施例至少具有如下优点或有益效果：
[0017]本申请提供一种电子级三氟化氯的收集装置，其包括外罐体和内罐体，包括外罐体和内罐体，上述内罐体设于上述外罐体内，上述内罐体与上述外罐体之间设有冷却通道，上述内罐体内部设有隔板，上述隔板将上述内罐体分为存储腔和泄漏收集腔，上述隔板上设有盖板，上述盖板与上述隔板之间设有印痕，上述内罐体的顶部设有进料管，上述内罐体的底部设有出料管，上述内罐体上还设有用于测量上述存储腔内部压力的压力传感器，上述内罐体上还设有用于检测上述泄漏收集腔内是否有泄漏的三氟化氯的检测组件；还包括设于上述外罐体外表面的报警组件，上述压力传感器和上述检测组件均与上述报警组件电性连接。
[0018]内罐体设于外罐体内，采用双层结构，可以大大提高装置的强度，同时也能更好地对三氟化氯进行收集，内罐体与外罐体之间设有冷却通道，可以用于对内罐体进行冷却降温，提供一个低温环境，便于内罐体对三氟化氯进行收集，内罐体内上部设有隔板，通过隔板将内罐体分为存储腔和泄漏收集腔，其中存储腔可以用来收集三氟化氯，而泄漏收集腔则是用于应对突发状况，在三氟化氯收集过程中出现过满现象时，起到保护作用，极大程度上避免了三氟化氯的泄漏，一旦发生泄漏也能够及时进行补救，保证三氟化氯收集的安全性。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1为本专利技术实施例的结构示意图；
[0021]图2为本专利技术实施例图1中A处的放大图。
[0022]图标：1
‑
外罐体，2
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进口管，3
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出口管，4
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冷却通道，5
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内罐体，51
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存储腔，52
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泄漏收集腔，6
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隔板，61
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盖板，7
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进料管，8
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压力传感器，9
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检测组件，10
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报警组件，11
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温度传感器，12
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连接杆，13
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吊耳，14
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弹性支撑腿，141
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上支撑腿，1411
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凸起，142
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下支撑腿，1421
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限位槽，143
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弹簧，15
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出料管。
具体实施方式
[0023]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0024]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0026]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0027]在本专利技术实施例的描述中，“多个”代表至少2个。
[0028]在本专利技术实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，包括外罐体和内罐体，所述内罐体设于所述外罐体内，所述内罐体与所述外罐体之间设有冷却通道，所述内罐体内部设有隔板，所述隔板将所述内罐体分为存储腔和泄漏收集腔，所述隔板上设有盖板，所述盖板与所述隔板之间设有印痕，所述内罐体的顶部设有进料管，所述内罐体的底部设有出料管，所述内罐体上还设有用于测量所述存储腔内部压力的压力传感器，所述内罐体上还设有用于检测所述泄漏收集腔内是否有泄漏的三氟化氯的检测组件；还包括设于所述外罐体外表面的报警组件，所述压力传感器和所述检测组件均与所述报警组件电性连接。2.根据权利要求1所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，所述外罐体包括罐体本体，所述罐体本体上端一侧设有进口管，所述罐体本体底端一侧设有出口管。3.根据权利要求1所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，所述外罐体上还设有用于测量所述冷却通道内温度的温度传感器。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：冉康德，郭海欧，袁永智，
申请(专利权)人：鹤壁德瑞科技有限公司，
类型：发明
国别省市：