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本实用新型提出了一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置，本实用新型涉及一种电子级六氟乙烷用提纯装置。本实用新型的方案：一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用分馏装置，包括依次连通的冷凝箱、精馏箱和塔釜再沸器，冷凝箱内的上侧安装有冷凝器，...
该专利属于鹤壁德瑞科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鹤壁德瑞科技有限公司授权不得商用。

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