一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法技术

本发明专利技术涉及光伏制造领域，特别是涉及一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。由于所述太阳能电池前驱体的边缘位置温度要高于所述太阳能电池前驱体的中心位置，因此在烧结过程中，边缘处的金属化深度与中心位置不同，能更好地与先前的扩散结节步骤各个外延层层更好配合，提升金属电极的连接效果，提升电池良率。电池良率。电池良率。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法


[0001]本专利技术涉及光伏制造领域，特别是涉及一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法。

技术介绍

[0002]TOPCon电池是指在硅片背面制备1
‑
2nm的超薄隧穿氧化层(SiO
x
)，然后在SiO
x
表面沉积厚度为60
‑
160nm的掺杂多晶硅层，最后在掺杂多晶硅层上淀积氮化硅。该结构为硅片的背面提供了良好的表面钝化和场钝化，超薄氧化层可以使电子隧穿进入多晶硅层同时阻挡空穴的输运，降低复合电流。掺杂多晶硅层横向传输特性降低了串联电阻。以上两种特性共同提升了电池的开路电压、填充因子以及电池的转换效率，是最有可能实现大规模量产的下一代高效电池技术。
[0003]受制于现有管式高温设备的加热方式，导致电池片边缘的辐射热强，电池片中间的辐射热弱。导致电池片内热场不均匀，进而影响正面硼扩散结深及表面浓度、二氧化硅遂穿层厚度、掺杂多晶硅工艺的片内均匀性。例如，硼扩工艺中由于硅片受热不均，导致电池片边缘扩散结深较中间深，电池本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池烧结炉，其特征在于，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。2.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述加热单元为加热灯管。3.如权利要求2所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述加热灯管为延伸方向与所述烧结炉腔体的长度方向平行的直灯管。4.如权利要求2所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述环形灯管所在平面与所述烧结炉腔体的长度方向垂直。5.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述烧结炉腔体为环形腔体；所述加热单元的铺设密度随铺设位置与所述太阳能电池前驱体所在平面的夹角的增大而减小。6.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，还包括换热装置；所述换热装置包括热排进气口、热交换腔室及废排出气口；所述烧结炉腔体的热废气通过所述热排进气口进入所述热交换腔室，并通过所述废排出气口排出；所述太阳能电池烧结炉的新风管路经过所述热交换腔室，使外部环境中的新风与所述热废气进...

【专利技术属性】
技术研发人员：李红博，何胜，蔡永梅，徐伟智，何保杨，
申请(专利权)人：正泰新能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：