一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法技术

本发明专利技术涉及光伏制造领域，特别是涉及一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。由于所述太阳能电池前驱体的边缘位置温度要高于所述太阳能电池前驱体的中心位置，因此在烧结过程中，边缘处的金属化深度与中心位置不同，能更好地与先前的扩散结节步骤各个外延层层更好配合，提升金属电极的连接效果，提升电池良率。电池良率。电池良率。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法


[0001]本专利技术涉及光伏制造领域，特别是涉及一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法。

技术介绍

[0002]TOPCon电池是指在硅片背面制备1
‑
2nm的超薄隧穿氧化层(SiO
x
)，然后在SiO
x
表面沉积厚度为60
‑
160nm的掺杂多晶硅层，最后在掺杂多晶硅层上淀积氮化硅。该结构为硅片的背面提供了良好的表面钝化和场钝化，超薄氧化层可以使电子隧穿进入多晶硅层同时阻挡空穴的输运，降低复合电流。掺杂多晶硅层横向传输特性降低了串联电阻。以上两种特性共同提升了电池的开路电压、填充因子以及电池的转换效率，是最有可能实现大规模量产的下一代高效电池技术。
[0003]受制于现有管式高温设备的加热方式，导致电池片边缘的辐射热强，电池片中间的辐射热弱。导致电池片内热场不均匀，进而影响正面硼扩散结深及表面浓度、二氧化硅遂穿层厚度、掺杂多晶硅工艺的片内均匀性。例如，硼扩工艺中由于硅片受热不均，导致电池片边缘扩散结深较中间深，电池片边缘表面浓度较中间低，因此表现边缘方阻低中间高；超薄隧穿氧化层(SiO
x
)片内均匀性表现出中间薄、边缘厚的贴点；掺杂多晶硅层表现出中间方阻高、边缘方阻低。
[0004]由于存在以上电池片的边缘和中间区域的工艺差异，而现有烧结炉加热方式又为电池片边缘温度偏低，中间温度偏高的形式，使烧结结果与电池片在前述步骤处理中由于温度中间低、边缘高形成的层级特征不相符，导致电池黑边及区域发暗等EL不良，降低电池良率，增加了生产成本。
[0005]因此，如何减少太阳能电池的电池黑边、区域发暗等EL不良现象，提升电池良率，是现有技术中亟待解决的问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是提供一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法，以解决现有技术中减少太阳能电池的电池黑边、区域发暗等EL不良现象，提升电池良率的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种太阳能电池烧结炉，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；
[0008]所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；
[0009]所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；
[0010]所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。
[0011]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述加热单元为加热灯管。
[0012]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述加热灯管为延伸方向与所述烧结炉
腔体的长度方向平行的直灯管。
[0013]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述环形灯管所在平面与所述烧结炉腔体的长度方向垂直。
[0014]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述烧结炉腔体为环形腔体；
[0015]所述加热单元的铺设密度随铺设位置与所述太阳能电池前驱体所在平面的夹角的增大而减小。
[0016]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，还包括换热装置；所述换热装置包括热排进气口、热交换腔室及废排出气口；
[0017]所述烧结炉腔体的热废气通过所述热排进气口进入所述热交换腔室，并通过所述废排出气口排出；
[0018]所述太阳能电池烧结炉的新风管路经过所述热交换腔室，使外部环境中的新风与所述热废气进行热交换。
[0019]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述换热装置位于所述烧结炉腔体的上方；
[0020]相应地，所述热排进气口位于所述烧结炉腔体的顶部。
[0021]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述换热装置为管式换热装置；
[0022]所述管式换热装置与所述烧结炉腔体平行设置；
[0023]所述管式换热装置包括多个所述热排进气口，多个所述热排进气口沿所述烧结炉腔体的长度方向间隔设置。
[0024]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述加热单元仅设置于所述烧结炉腔体的上半部分或下半部分，且与所述太阳能电池前驱体的背面相对。
[0025]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述太阳能电池烧结炉的新风管路的新风进气口与新风出气口均设置于所述烧结炉腔体的前驱体入口处。
[0026]可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述新风进气口位于所述烧结炉腔体外侧，且与所述前驱体入口的距离不超过30厘米；
[0027]所述新风出气口位于所述烧结炉腔体内侧，且与所述前驱体入口的距离不超过30厘米。
[0028]一种太阳能电池的烧结方法，所述太阳能电池的烧结方法为使用如上述任一种所述的太阳能电池烧结炉，进行的太阳能电池的烧结。
[0029]本专利技术所提供的太阳能电池烧结炉，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。
[0030]本专利技术将所述加热单元环绕设置于所述烧结炉腔体内，从各个方向对所述太阳能电池前驱体进行热辐射，通过调整所述加热单元对所述炉带的不同位置的加热温度，实现所述太阳能电池前驱体的边缘位置温度要高于所述太阳能电池前驱体的中心位置，因此在烧结过程中，边缘处的金属化深度与中心位置不同，能更好地与先前的扩散结节步骤中边缘与中心位置不同深度与厚度的硼扩散结、遂穿层及掺杂多晶硅层更好配合，提升金属电极的连接效果，大大降低太阳能电池的电池黑边、区域发暗等EL不良现象，提升电池良率。
本专利技术同时还提供了一种具有上述有益效果的太阳能电池的烧结方法。
附图说明
[0031]为了更清楚的说明本专利技术实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0032]图1为本专利技术提供的太阳能电池烧结炉的一种具体实施方式的结构示意图；
[0033]图2为本专利技术提供的太阳能电池烧结炉的另一种具体实施方式的结构示意图；
[0034]图3为本专利技术提供的太阳能电池烧结炉的又一种具体实施方式的结构示意图；
[0035]图4为本专利技术提供的太阳能电池烧结炉的一种具体实施方式的太阳能电池前驱体的输送示意图。
具体实施方式
[0036]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0037]本发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池烧结炉，其特征在于，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。2.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述加热单元为加热灯管。3.如权利要求2所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述加热灯管为延伸方向与所述烧结炉腔体的长度方向平行的直灯管。4.如权利要求2所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述环形灯管所在平面与所述烧结炉腔体的长度方向垂直。5.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述烧结炉腔体为环形腔体；所述加热单元的铺设密度随铺设位置与所述太阳能电池前驱体所在平面的夹角的增大而减小。6.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，还包括换热装置；所述换热装置包括热排进气口、热交换腔室及废排出气口；所述烧结炉腔体的热废气通过所述热排进气口进入所述热交换腔室，并通过所述废排出气口排出；所述太阳能电池烧结炉的新风管路经过所述热交换腔室，使外部环境中的新风与所述热废气进...

【专利技术属性】
技术研发人员：李红博，何胜，蔡永梅，徐伟智，何保杨，
申请(专利权)人：正泰新能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：