【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板清洁装置，是除去附着在被输送的基板表面上的异物的清洁装置，它包括承载基板的边缘部分并输送该基板的传送带、在被输送的前述基板上一边旋转一边加压接触的吸附辊、在前述基板的相反侧一边旋转一边加压接触前述吸附辊的粘附辊、使前述吸附辊从接触前述基板表面的位置向远离的位置移动的机构，其特征在于，前述吸附辊从前述基板表面吸附前述异物，前述粘附辊粘附被吸附的前述异物。
【技术特征摘要】
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