【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及基板清洗装置及具有基板清洗装置的基板供给装置。
技术介绍
作为清洗印刷线路板表面的装置，提案有以下专利文献1记载的清洗机器。该清洗机器具有搬运带，其搭载基板的边缘部分，搬运基板；吸附辊，其一边旋转一边加压接触由搬运带搬运的基板；粘附辊，其一边旋转一边加压接触吸附辊；使吸附辊向从接触基板的位置离开的位置移动的装置。在该清洗机器中，由搬运带搬运的基板在其表面加压接触吸附辊。吸附辊由硅橡胶类树脂形成，利用润湿性来吸附基板表面的杂质及尘埃，由此清洗基板。吸附辊由于其表面上不具有粘附材料等，故可防止粘附材料从辊附着于基板上这样的问题。吸附于吸附辊上的杂质等通过使吸附辊进一步加压接触粘附辊而从吸附辊向粘附辊转印。因此，吸附辊可在长时间维持清洗效果。在该清洗机器中，基板将边缘部分保持于搬运带上，仅清洗搬运带的相反侧一面。因此，即使在对已搭载有电子零件的基板背面进行清洗的情况下，也可以将电子零件配置于下面、将背面配置于上面而载置于搬运带上，由此来进行清洗处理。另外，在放入不利用清洗机器进行处理或不能进行处理的基板的情况下，吸附辊向从接触基板的位置离开的位置移动。...
【技术保护点】
一种基板清洗装置，其具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷，利用所述辊刷擦拭并清洗所述基板的表面，其特征在于，所述辊刷是导电性刷。
【技术特征摘要】
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