一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜及其制备方法，属于材料表面防护技术领域。该耐蚀非晶多层薄膜是采用双靶磁控溅射交替沉积两种非晶合金，在CoFeTaB非晶合金中嵌入极薄的轻合金MgCuY非晶层而形成。本发明专利技术制备的非晶多层薄膜结合了单个膜层的优势，同时引入的异质界面可作为腐蚀物质和裂纹的扩散屏障，在本发明专利技术的腐蚀环境中，多层膜的耐蚀性相比于纯CoFeTaB非晶薄膜得到大幅度提升。本发明专利技术所述的多层膜通过磁控溅射技术制备，得到的薄膜结构稳定、致密，覆盖于机械部件表面可有效其抗腐蚀性能，以延长使用寿命，并且工艺流程简单，过程可控，薄膜质量高，无环境污染，实用性较强，易于实现工业化推广。易于实现工业化推广。易于实现工业化推广。

【技术实现步骤摘要】
一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜及其制备方法


[0001]本专利技术属于材料表面防护
，具体涉及一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜及其制备方法。

技术介绍

[0002]腐蚀是自然界普遍存在的现象，也是金属服役过程中主要失效形式之一。特别在海上装备设施中，海水等含Cl
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环境对各种金属材料部件的腐蚀尤为严重。金属部件腐蚀不仅带来巨大的经济损失，同时也会导致难以预测的安全隐患。因此，对金属腐蚀的控制是当前亟待解决的重要问题。对于各种机械部件，在表面覆盖保护涂层或薄膜等是常用的防腐方法。保护层使金属部件与周围腐蚀介质隔离，从而达到防止腐蚀的目的，它无需大规模更换基体零件，可应用于多种材料。
[0003]传统的晶态金属保护层通常具有良好的力学性能和价格低廉等优势，应用广泛，但随着机械零部件服役工况愈发严苛和复杂，在某些特殊环境中，传统晶态金属保护层的耐蚀性往往达不到要求。相比而言，非晶合金由于具有稳定的化学和结构均匀性，无晶态合金中晶界、位错和第二相等容易引起微观腐蚀的结构缺陷，可以形成连续、均匀、致密、低缺陷的钝化膜。因此，将非晶合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜，其特征在于，由MgCuY和CoFeTaB两种非晶合金薄膜交替叠加组成，其中MgCuY层各成分的原子百分含量为Mg:70％
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85％，Cu:3％
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10％，Y:5％
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15％；CoFeTaB层中各成分的原子百分含量为Co:36％
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50％，Fe:17％
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30％，Ta:3％
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8％，B:25％
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37％，所述多层膜中MgCuY层与CoFeTaB层的单层厚度比为1:18
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1:22。2.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜的制备方法，其特征在于，所述的非晶多层膜由双合金靶磁控溅射交替沉积制备所得，具体包括以下步骤：1)基体清洗：将基体超声清洗，吹干，放入基体托盘中，准备镀膜；2)靶材安装：将CoFeTaB合金靶安装在A号靶材座上作为A靶，将MgCuY合金靶安装在B号靶材座上作为B靶；3)溅射镀膜：腔体抽真空，达到所需真空度后，通入离化气体，调整工作气压，然后开始交替沉积MgCuY层和CoFeTaB层，通过控制溅射时间来调节每一层的厚度和非晶多层薄膜的总厚度；另外在相同的条件下制备相同厚度的CoFeTaB非晶薄膜作为对照。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤1)中，为便于考察薄膜的本征耐蚀性能，基体为单面抛光的单晶硅基片，取向为(100)，直径为50mm，先后用蒸馏水和酒精超声清洗10
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15分钟至洁净。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤2)中，靶材A成分为Co
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Fe<...

【专利技术属性】
技术研发人员：虢婷，陈自强，柯松，李尧，陈永楠，
申请(专利权)人：长安大学，
类型：发明
国别省市：