一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层，该周期性多层结构涂层由基体、依次沉积在基体外表面的Cr结合层和(CrNbTiAlV)CN

【技术实现步骤摘要】
一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层及其制备方法


[0001]本专利技术涉及轴承表面防护领域，尤其涉及一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层及其制备方法。

技术介绍

[0002]针对新一代航空发动机朝着大推重比、高耐久性及低耗油率等方向发展，服役于航空发动机上的轴承面临着重载、高速、断油等复杂恶劣工况，因此，发展新型耐高温、高承载、低摩擦、抗磨损固体润滑涂层材料对突破关键机械运动部件之间润滑性能的瓶颈具有重要的意义。
[0003]硬质高熵氮化物涂层具有高承载力，可降低磨粒磨损和延长摩擦寿命，但单一结构的高熵氮化物涂层具有较高的摩擦系数，且在高温下的抗氧化性能较差。MoN涂层具有良好的高温润滑性能，在高温下形成易剪切的MoO3润滑相。而构筑纳米多层结构可实现涂层的强度与润滑性能之间的有效协同。因此，通过调控硬质高熵氮化物涂层和MoN涂层的周期厚度，充分发挥高温下两种涂层之间的有效协同润滑作用，来解决航空发动机轴承用高温耐磨润滑涂层的技术问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种调制周期不同的具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层，其特征在于：该周期性多层结构涂层由基体、依次沉积在基体外表面的Cr结合层和(CrNbTiAlV)CN
x
/MoN顶层组成；所述(CrNbTiAlV)CN
x
/MoN顶层由(CrNbTiAlV)CN
x
层和MoN层交替沉积所得，调制周期为50~420 nm，调制比为1:1~1.2:1。2.如权利要求1所述的一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层的制备方法，包括以下步骤：
⑴
将基体进行预处理；
⑵
将预处理后的基体放入到真空腔室里进行抽真空，当真空度低于1
×
10
‑
3 Pa时，用离子轰击基体表面进行溅射清洗，得到清洗后的基体；
⑶
采用磁控溅射技术，先在清洗后的基体表面沉积一层Cr结合层，然后再通过磁控溅射多靶交替沉积(CrNbTiAlV)CN
x
层和MoN层，以形成 (CrNbTiAlV)CN
x
/MoN周期性多层复合顶层。3.如权利要求2所述的一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤
⑴...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝俊英，鲁晓龙，隋旭东，刘维民，
申请(专利权)人：中国科学院兰州化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：