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一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜及其制备方法技术
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文档序号:37273123
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本发明公开了一种耐腐蚀非晶合金多层薄膜及其制备方法,属于材料表面防护技术领域。该耐蚀非晶多层薄膜是采用双靶磁控溅射交替沉积两种非晶合金,在CoFeTaB非晶合金中嵌入极薄的轻合金MgCuY非晶层而形成。本发明制备的非晶多层薄膜结合了单个膜层...
该专利属于长安大学所有,仅供学习研究参考,未经过长安大学授权不得商用。
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