一种可快速降温的键合丝退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可快速降温的键合丝退火炉，包括炉体；保温层，所述保温层贴合于所述炉体的内侧面；加热件，所述加热件置于保温层内，并且键合丝贯穿所述加热件、炉体；而所述加热件与保温层之间存有间隔H；喷气部，所述喷气部安装于所述炉体的一侧，且其依次穿设炉体侧面、保温层延伸至所述间隔H；以及排气部，所述排气部安装于所述炉体的另一侧，且其依次穿设炉体侧面、保温层延伸至所述间隔H。本实用新型专利技术具有能向炉内喷入气体，利用气体实现炉内快速降温等特点。快速降温等特点。快速降温等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种可快速降温的键合丝退火炉


[0001]本技术涉及一种可快速降温的键合丝退火炉。

技术介绍

[0002]键合丝是连接芯片与外部封装基板和/或多层线路板的主要连接方式，键合丝发展趋势，从应用方向上主要是线径细微化、高车间寿命以及高线轴长度；从化学成分上，主要包括铜线在半导体领域大幅度取代金线，而银线和银合金在LED以及部分IC封装应用上取代金线。
[0003]然而，在键合丝的生产过程中需要多次拉拔、加热和退火，其中退火能改变键合丝的强度及延伸率。键合丝退火是卷对卷的在线退火方式，为保证炉温的稳定，再加热层外包裹一层很厚的保温层，保证在生产过程种炉温的稳定性。但是，因有保温层的保温作用，自然降温速度慢，影响生产效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对现有技术缺陷，而提供一种可快速降温的键合丝退火炉。
[0005]为了实现上述本技术的目的，采取如下技术方案：
[0006]一种可快速降温的键合丝退火炉，包括炉体；保温层，所述保温层贴合于所述炉体的内侧面；加热件，所述加热件置于保温层内，并且键合丝贯穿所述加热件、炉体；而所述加热件与保温层之间存有间隔H；喷气部，所述喷气部安装于所述炉体的一侧，且其依次穿设炉体侧面、保温层延伸至所述间隔H；以及排气部，所述排气部安装于所述炉体的另一侧，且其依次穿设炉体侧面、保温层延伸至所述间隔H。
[0007]进一步地，所述喷气部包括控制阀、进气总管、喷气管与喷气支管；所述进气总管设有控制阀；所述喷气管与进气总管连接，并在其上间隔安装有至少一根喷气支管；所述喷气支管依次穿设炉体侧面、保温层延伸所述间隔H。
[0008]进一步地，所述排气部包括排气管和排气控制阀；所述排气管的一端置于炉体的外侧，并在所述一端上安装有排气控制阀；所述排气管的另一端依次穿设炉体侧面、保温层延伸至间隔H。
[0009]进一步地，本技术一种可快速降温的键合丝退火炉还包括感温件；所述加热件设有加热腔，所述键合丝贯穿加热腔；所述感温件安装于加热腔内。
[0010]进一步地，本技术一种可快速降温的键合丝退火炉还包括控制模块；所述控制模块设置于所述喷气部或排气部；其中，所述喷气部、排气部、感温件、加热件均与所述控制模块电连接。作为本领域的公知常识，本方案使用的控制模块及其与之相连的装置的动作控制属于成熟的单片机技术，可以轻易的从市场上购买得到，经简单调试后即可使用。
[0011]进一步地，所述感温件为温度传感器。
[0012]进一步地，所述加热件为电加热棒结构或电加热丝结构。
[0013]进一步地，本技术一种可快速降温的键合丝退火炉还包括保护套；所述加热腔内安装有保护套，所述键合丝贯穿保护套。
[0014]进一步地，所述保护套为陶瓷结构。
[0015]进一步地，所述间隔H为：5～30mm。
[0016]本技术相对于现有技术所具有的进步：
[0017]1.本技术具有能较快降温作用，即为喷气部向加热件喷气，被加热后的气体经排气部向外排出，加热件的热量逐渐被流动的气体吸收带离，经热传递作用，加热腔内的温度随之下降，实现退火降温。
[0018]2.本技术通过感温件实时监测加热腔内的温度，退火降温时，降温至控制模块上预先设定的温度值时，控制模块控制喷气部及排气部停止工作，同时控制加热件工作，加热件向加热腔进行恒温供热，利于对退火后的键合丝进行恒温保温。
[0019]3.本技术的喷气部中包括有至少一根喷气支管，一般通常是采用4根以上的喷气支管，间隔并行向加热件喷气，能利于加热件进行较为均衡降温。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0021]图1为本技术一种可快速降温的键合丝退火炉的结构示意图；
[0022]图2为图1的左视结构示意图；
[0023]图中各部件名称及序号：1
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炉体，2
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保温层，3
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加热件，4
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键合丝，5
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加热腔，6
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感温件，7
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保护套，8
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喷气支管，9
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喷气管，10
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控制阀，11
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进气总管，12
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间隔H，13
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排气管，14
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排气控制阀。
具体实施方式
[0024]为了使本
的人员更好的理解本申请中的技术方案，下面将结合附图和实施例来对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0025]实施例1：
[0026]如图1至2所示，一种可快速降温的键合丝退火炉，包括炉体1；保温层2，所述保温层2贴合于所述炉体1的内侧面；加热件3，所述加热件3置于保温层2内，并且键合丝4贯穿所述加热件3、炉体1；而所述加热件3与保温层2之间存有间隔H12；喷气部，所述喷气部安装于所述炉体1的一侧，且其依次穿设炉体1侧面、保温层2延伸至所述间隔H12；以及排气部，所述排气部安装于所述炉体1的另一侧，且其依次穿设炉体1侧面、保温层2延伸至所述间隔H12。
[0027]喷气部采用的气体可为氮气。
[0028]退火时，加热件停止供热，喷气部向间隔H内喷入气体，气体被加热后经排气部向
外输送，加热件上的热量被流动的气体吸收带离，从而温度下降。
[0029]本技术的喷气部能持续向加热件供气，使得加热件较快降温，从而实现加热腔内较为降温。
[0030]实施例2：
[0031]与实施例1相比，区别之处在于：给出了喷气部的一种结构形式。
[0032]所述喷气部包括控制阀10、进气总管11、喷气管9与喷气支管8；所述进气总管11设有控制阀10；所述喷气管9与进气总管11连接，并在其上间隔安装有至少一根喷气支管8；所述喷气支管8依次穿设炉体1侧面、保温层2延伸所述间隔H12。
[0033]喷气支管8通常采用的数量为1、2、3、4、5、6、7、8、9或10根等。采用多根喷气支管时，多根喷气支管之间进行等间距布置，可沿加热件的长度方向进行等间距布置。
[0034]使用时，打开控制阀10，进气总管11内的氮气输送至喷气管9，喷气管9在将氮气分配至各喷气支管8上，喷气支管8再向间隔H及加热件喷气，气体流经加热件的表面的同时吸收加热件的热量，并带离，加热件温度随之下降，被加热后的气体经排气部向外输送。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可快速降温的键合丝退火炉，其特征在于：包括炉体(1)；保温层(2)，所述保温层(2)贴合于所述炉体(1)的内侧面；加热件(3)，所述加热件(3)置于保温层(2)内，并且键合丝(4)贯穿所述加热件(3)、炉体(1)；而所述加热件(3)与保温层(2)之间存有间隔H(12)；喷气部，所述喷气部安装于所述炉体(1)的一侧，且其依次穿设炉体(1)侧面、保温层(2)延伸至所述间隔H(12)；以及排气部，所述排气部安装于所述炉体(1)的另一侧，且其依次穿设炉体(1)侧面、保温层(2)延伸至所述间隔H(12)。2.根据权利要求1所述的可快速降温的键合丝退火炉，其特征在于：所述喷气部包括控制阀(10)、进气总管(11)、喷气管(9)与喷气支管(8)；所述进气总管(11)设有控制阀(10)；所述喷气管(9)与进气总管(11)连接，并在其上间隔安装有至少一根喷气支管(8)；所述喷气支管(8)依次穿设炉体(1)侧面、保温层(2)延伸所述间隔H(12)。3.根据权利要求1所述的可快速降温的键合丝退火炉，其特征在于：所述排气部包括排气管(13)和排气控制阀(14)；所述排气管(13)的一端置于炉体(1)的外侧，并在所述一端上安装有排气控制阀(14)；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张贺源，李天祥，
申请(专利权)人：深圳金斯达半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：