一种扫描机械手制造技术

本实用新型专利技术提供一种扫描机械手，涉及半导体制造技术领域，扫描机械手包括基板和对射传感器组件，基板包括基板主体和两个支撑部，两个支撑部间隔设置于基板主体的第一端，基板主体与两个支撑部处于同一平面，两个支撑部之间形成有缺口；对射传感器组件包括入射传感器和接收传感器，入射传感器和接收传感器分别一一对应地设置于两个支撑部远离基板主体的一端。本实用新型专利技术提供的扫描机械手，通过在机械手基板支撑部远离基板主体的一端设置对射传感器组件，可以扫描确定晶圆匣内存储晶圆的数量，以便机械手在实际转运晶圆过程中准确将晶圆匣内的晶圆全部转运。匣内的晶圆全部转运。匣内的晶圆全部转运。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描机械手


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种扫描机械手。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，是最常用的半导体材料，按其直径分为6英寸、8英寸等规格，近年来为了满足半导体制造的需要，已经发展出12英寸甚至更大规格的晶圆。随着晶圆尺寸的不断增大，对晶圆制造工艺的要求也不断提高。
[0003]晶圆匣是用于存储和转移晶圆的装置。在晶圆制造过程中，需要多次将晶圆从晶圆匣中取出并送往加工位，加工完成之后再送入晶圆匣中进行存储或转移。机械手就是用于将晶圆从晶圆匣中取出、从加工位将晶圆送入晶圆匣、以及在不同加工位之间进行晶圆转移的装置。
[0004]由于晶圆匣内存储的晶圆数量不同，在机械手实际转运晶圆过程中存在无法准确将晶圆匣内的晶圆全部转运的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种扫描机械手，用以解决现有技术中无法准确将晶圆匣内晶圆全部转运的技术问题。
[0006]本技术提供一种扫描机械手，包括：
[0007]基板，包括基板主体和两个支撑部，两个所述支撑部间隔设置于所述基板主体的第一端，所述基板主体与两个所述支撑部处于同一平面，两个所述支撑部之间形成有缺口；
[0008]对射传感器组件，包括入射传感器和接收传感器，所述入射传感器和所述接收传感器分别一一对应地设置于两个所述支撑部远离所述基板主体的一端。
[0009]根据本技术实施例提供的一种扫描机械手，所述入射传感器和所述接收传感器均突出于所述支撑部远离所述基板主体的一端。
[0010]根据本技术实施例提供的一种扫描机械手，还包括：
[0011]两个传感器盖板，两个所述传感器盖板一一对应地设置于两个所述支撑部远离所述基板主体的一端，并与对应的支撑部可拆卸连接，所述入射传感器和所述接收传感器安装于对应的所述传感器盖板，且位于所述传感器盖板与所述支撑部之间。
[0012]根据本技术实施例提供的一种扫描机械手，所述支撑部远离所述基板主体的一端设置有安装槽，所述入射传感器和所述接收传感器嵌设于对应的所述安装槽内。
[0013]根据本技术实施例提供的一种扫描机械手，所述扫描机械手的最大厚度小于4mm。
[0014]根据本技术实施例提供的一种扫描机械手，所述基板的表面设置有线槽，所述入射传感器和所述接收传感器的线缆嵌设于线槽中。
[0015]根据本技术实施例提供的一种扫描机械手，还包括：
[0016]多个接触件，所述基板设置有多个吸气孔，所述基板的内部形成有与所述吸气孔连通的气道，所述吸气孔的外周设置有固定部；多个所述接触件一一对应地围设于所述吸气孔的外周，并与所述固定部连接。
[0017]根据本技术实施例提供的一种扫描机械手，所述固定部包括环形燕尾槽，所述接触件嵌设于所述环形燕尾槽。
[0018]根据本技术实施例提供的一种扫描机械手，所述接触件包括密封圈，所述密封圈嵌设于所述环形燕尾槽内。
[0019]根据本技术实施例提供的一种扫描机械手，所述接触件包括吸盘，所述吸盘嵌设于所述环形燕尾槽内。
[0020]本技术实施例提供的扫描机械手，通过对射传感器组件可以确定晶圆匣内存储晶圆的数量，以便机械手准确将晶圆匣内的晶圆全部转运。此外，在基板上设置缺口可以减轻基板的重量，提高机械手的承载能力。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1是本技术实施例提供的扫描机械手的主视结构示意图之一；
[0023]图2是本技术实施例提供的扫描机械手的工作原理图；
[0024]图3是本技术实施例提供的扫描机械手的主视结构示意图之二；
[0025]图4是本技术实施例提供的扫描机械手沿剖面线A
‑
A所做的侧视剖面结构示意图；
[0026]图5是本技术实施例提供的密封圈与固定部的装配关系结构示意图；
[0027]图6是本技术实施例提供的吸盘与固定部的装配关系结构示意图。
[0028]附图标记：
[0029]100、基板；110、气道；120、吸气孔；130、固定部；140、基板主体；150、支撑部；200、接触件；210、密封圈；220、吸盘；221、连接部；300、对射传感器组件；310、入射传感器；320、接收传感器；400、传感器盖板；500、线槽；600、机械手连接轴；700、光纤放大器；800、晶圆匣；900、晶圆。
具体实施方式
[0030]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0031]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于
描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0032]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
[0033]在本技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0034]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描机械手，其特征在于，包括：基板，包括基板主体和两个支撑部，两个所述支撑部间隔设置于所述基板主体的第一端，所述基板主体与两个所述支撑部处于同一平面，两个所述支撑部之间形成有缺口；对射传感器组件，包括入射传感器和接收传感器，所述入射传感器和所述接收传感器分别一一对应地设置于两个所述支撑部远离所述基板主体的一端。2.根据权利要求1所述的扫描机械手，其特征在于，所述入射传感器和所述接收传感器均突出于所述支撑部远离所述基板主体的一端。3.根据权利要求1所述的扫描机械手，其特征在于，还包括：两个传感器盖板，两个所述传感器盖板一一对应地设置于两个所述支撑部远离所述基板主体的一端，并与对应的支撑部可拆卸连接，所述入射传感器和所述接收传感器安装于对应的所述传感器盖板，且位于所述传感器盖板与所述支撑部之间。4.根据权利要求3所述的扫描机械手，其特征在于，所述支撑部远离所述基板主体的一端设置有安装槽，所述入射传感器和所述接收传...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝瀚，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：