废气的处理方法和装置制造方法及图纸

技术编号:3722614 阅读:149 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种对半导体生产线,集成电路器件生产线等所产生的废气进行处理的废气处理装置。被风扇16吸排的废气首先通过进行预过滤的层状活性炭除味过滤器20,将废气中的气相和/或汽相带有异味的物质除去。接着废气通过袋式除尘器14将粉尘等除去。进入袋式除尘器14内的废气已经通过预过滤器12将附着性较强的气相和/或汽相的带有异味的物质除去,因而不会很快造成对袋式除尘器14的堵塞。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种废气的处理方法和装置,尤其是涉及一种除去废气中的 特定物质,特别是带有气味的物质的方法和装置。
技术介绍
现有的废气处理装置,例如特许公开2002-48331公报中公开的一种袋 式除尘器。在该袋式除尘器装置中,焚烧炉的废气通道上从上游依次设置有 袋式除尘器和填充有吸附剂的固定多层式吸附塔。袋式除尘器内过滤材料的 流入废气一侧表面上,被覆有过滤助剂。在袋式除尘器的运行过程中,过滤 材料无法清洗。这种现有的袋式除尘器,假如使用于激光加工机上则会产生一些不正常 的情况。以激光加工机为例,在进行树脂加工时会同时产生废气及带气味的 物质,该物质既可以是汽相或气相基质,也可能是两者同时存在,而且附着 性较强。然而, 一方面袋式除尘器对于这种带气味的物质并不能充分收集,另一 方面由于附着性较强的带气味的物质附着在过滤器上(例如带气味的物质在 汽相状态下的蒸镀),很快将过滤器堵塞。因此需要一种能防止袋式除尘器 很快堵塞的废气处理装置。另外在特许公开2004-290791号公报中所公开的现有的废气处理方法 中,使废气通过由粉末活性炭构成的板状活性炭层,将其中的带有气味的物 质除去。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对废气产生源产生的废气进行处理的废气处理装置,其包括:一种对上述废气产生源产生的上述废气进行收集的装置;将收集起来的上述废气通过其中,而使得废气中的带有气味的物质被吸附的由粒状活性炭组成的多层状活性炭吸附装置;对通过上述活性炭吸附装置的上述废气中的特定物质进行收集的袋式除尘器装置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:高柳圭佑铃木智之池野荣宣
申请(专利权)人:新东工业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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