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本发明公开了一种对半导体生产线，集成电路器件生产线等所产生的废气进行处理的废气处理装置。被风扇１６吸排的废气首先通过进行预过滤的层状活性炭除味过滤器２０，将废气中的气相和／或汽相带有异味的物质除去。接着废气通过袋式除尘器１４将粉尘等除去。进...
该专利属于新东工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新东工业株式会社授权不得商用。

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