本实用新型专利技术提供一种高压汞灯扫描照射装置，包括支撑板，所述支撑板的中间位置开设有扫描照射窗口，所述支撑板的顶侧设有可移动的工作台，所述工作台上安装有可拆卸的并用于承载待解胶晶圆切片的转接盘，扫描照射时所述转接盘中心位于所述扫描照射窗口的正上方且位于所述氮气盘的正下方，所述支撑板的底侧设有可移动的高压汞灯源箱，所述高压汞灯源箱内安装有高压汞灯源；本实用新型专利技术具有以下有益效果：通过驱动电机的输出轴转动带动主动轮转动，在同步带传动的作用下带动从动轮转动，此时同步带也在移动，从而使得高压汞灯源箱进行移动，在滑块在导轨内滑动的配合下使得高压汞灯源箱移动的更加稳定，保证了高压汞灯源箱内高压汞灯源的照射效果。高压汞灯源的照射效果。高压汞灯源的照射效果。
【技术实现步骤摘要】
一种高压汞灯扫描照射装置
[0001]本技术涉及扫描照射装置
，特别是涉及一种高压汞灯扫描照射装置。
技术介绍
[0002]解胶机是用来解除胶膜和切割膜胶带之间粘结的全自动解胶设备，许多晶圆半导体行业在生产过程中，需要先把晶圆切片用划片胶固定起来，然后进行划片加工处理，最后通过光源对固定好的晶圆切片进行照射，使晶圆切片上的胶膜发生硬化，从而降低与切割膜胶带之间的粘性，从而达到轻松将胶带从晶圆切片上取下来，解胶机完美的解决了晶圆行业、玻璃制品和陶瓷切割上的解胶工序，现有的解胶机上扫描照射装置内的扫描光源是固定的，固定的扫描光源照射的不均匀，从而影响了照射效果，并且现有的解胶机上扫描照射装置均是批量自动上料，这样的设置降低了使用多样性。
技术实现思路
[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种高压汞灯扫描照射装置，用于解决现有技术中固定的扫描光源照射的不均匀，从而影响了照射效果的问题。
[0004]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种高压汞灯扫描照射装置，包括支撑板，所述支撑板的中间位置开设有扫描照射窗口，其中，所述扫描照射窗口为隔热透光钢化玻璃，所述扫描照射窗口的正上方设有可升降的氮气盘，所述支撑板的顶侧设有可移动的工作台，所述工作台上安装有可拆卸的并用于承载待解胶晶圆切片的转接盘，其中，通过更换转接盘可适应不同尺寸的待解胶晶圆切片，扫描照射时所述转接盘中心位于所述扫描照射窗口的正上方且位于所述氮气盘的正下方，所述支撑板的底侧设有可移动的高压汞灯源箱，所述高压汞灯源箱内安装有高压汞灯源。
[0005]于本技术的一实施例中，所述氮气盘的顶侧连接有升降驱动气缸，所述升降驱动气缸安装在全自动高压水银汞灯照射解胶机上。
[0006]于本技术的一实施例中，所述支撑板上安装有两条滑轨，所述工作台的两侧均滑动连接在滑轨内，所述工作台的侧面连接有抽屉面板。
[0007]于本技术的一实施例中，所述支撑板的底侧安装有用于驱动所述高压汞灯源箱进行移动的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上连接有主动轮，所述主动轮通过同步带传动连接有位于所述支撑板底侧的从动轮，所述同步带的表面设有同步带压块，其中，所述主动轮位于从动轮的正左方，所述主动轮和从动轮之间的距离小于导轨的长度且大于抽屉面板的长度。
[0008]于本技术的一实施例中，所述支撑板的底侧设有两条导轨，两个所述导轨上均滑动连接有滑块，所述滑块的底侧连接有与高压汞灯源箱连接的滑块板，且所述滑块板朝向所述驱动电机的一侧上安装有固定板，所述固定板通过同步带压块与同步带连接。
[0009]于本技术的一实施例中，所述高压汞灯源箱的表面通过铰链活动连接有灯
罩，所述灯罩的相对铰链的另一侧通过两个螺丝可拆卸安装在高压汞灯源箱上，其中，所述高压汞灯源箱和灯罩的底侧均开设有螺纹孔，所述螺丝螺纹连接在螺纹孔内，所述高压汞灯源箱朝向所述灯罩的一侧开设有检修窗口。
[0010]如上所述，本技术的一种高压汞灯扫描照射装置，具有以下有益效果：
[0011]本技术通过驱动电机的输出轴转动带动主动轮转动，在同步带传动的作用下带动从动轮转动，此时同步带也在移动，从而带动固定板和滑块板移动，然后使得高压汞灯源箱进行移动，在滑块在导轨内滑动的配合下使得高压汞灯源箱移动的更加稳定，本技术将高压汞灯源箱设计成移动扫描式，相对光源定点使得照射更加均匀，保证了高压汞灯源箱内高压汞灯源的照射效果，并且将工作台设计成抽屉式，除了批量自动上料，也可选择少量手动上料，从而提高使用多样性。
附图说明
[0012]图1为本技术实施例中公开的高压汞灯扫描照射装置的灯罩已安装的左正视立体示意图；
[0013]图2为本技术实施例中公开的高压汞灯扫描照射装置的灯罩未安装的左正视立体示意图；
[0014]图3为本技术实施例中公开的高压汞灯扫描照射装置的灯罩已安装的后视剖面示意图。
[0015]元件标号说明
[0016]1、升降驱动气缸；2、氮气盘；3、扫描照射窗口；4、转接盘；5、工作台；6、抽屉面板；7、高压汞灯源箱；8、灯罩；9、支撑板；10、驱动电机；11、主动轮；12、滑块；13、滑块板；14、螺纹孔；15、检修窗口；16、滑轨；17、从动轮；18、导轨；19、固定板；20、同步带压块。
具体实施方式
[0017]以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。
[0018]请参阅图1至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。
[0019]请参阅图1至图3，本技术提供一种高压汞灯扫描照射装置，包括支撑板9，支撑板9的中间位置开设有扫描照射窗口3，其中，扫描照射窗口3为隔热透光钢化玻璃，扫描照射窗口3的正上方设有可升降的氮气盘2，氮气盘2的顶侧连接有升降驱动气缸1，升降驱动气缸1安装在全自动高压水银汞灯照射解胶机上，支撑板9的顶侧设有可移动的工作台5，工作台5上安装有可拆卸的并用于承载待解胶晶圆切片的转接盘4，其中，通过更换转接盘4
可适应不同尺寸的待解胶晶圆切片，扫描照射时转接盘4中心位于扫描照射窗口3的正上方且位于氮气盘2的正下方，支撑板9上安装有两条滑轨16，工作台5的两侧均滑动连接在滑轨16内，工作台5的侧面连接有抽屉面板6，支撑板9的底侧设有可移动的高压汞灯源箱7，高压汞灯源箱7内安装有高压汞灯源；
[0020]支撑板9的底侧安装有用于驱动高压汞灯源箱7进行移动的驱动电机10，驱动电机10的输出轴上连接有主动轮11，主动轮11通过同步带传动连接有位于支撑板9底侧的从动轮17，同步带的表面设有同步带压块20，其中，主动轮11位于从动轮17的正左方，主动轮11和从动轮17之间的距离小于导轨18的长度且大于抽屉面板6的长度，支撑板9的底侧设有两条导轨18，两条导轨18上均滑动连接有滑块12，其中，本实施中，一条导轨18上滑动连接有两个滑块12，在实际应用中滑块12的数量也可设置为其他数值，滑块12的底侧连接有与高压汞灯源箱7连接的滑块板13，且滑块板13朝向驱动电机10的一侧上安装有固定板19，固定板19通过同步带压块20与同步带连接；
[0021]高压汞灯源箱7的表面通过铰链活动连接有灯罩8，灯罩8的相对铰链的另本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高压汞灯扫描照射装置，包括支撑板，其特征在于：所述支撑板的中间位置开设有扫描照射窗口，所述扫描照射窗口的正上方设有可升降的氮气盘，所述支撑板的顶侧设有可移动的工作台，所述工作台上安装有可拆卸的并用于承载待解胶晶圆切片的转接盘，扫描照射时所述转接盘中心位于所述扫描照射窗口的正上方且位于所述氮气盘的正下方，所述支撑板的底侧设有可移动的高压汞灯源箱，所述高压汞灯源箱内安装有高压汞灯源。2.根据权利要求1所述的一种高压汞灯扫描照射装置，其特征在于：所述氮气盘的顶侧连接有升降驱动气缸，所述升降驱动气缸安装在全自动高压水银汞灯照射解胶机上。3.根据权利要求1所述的一种高压汞灯扫描照射装置，其特征在于：所述支撑板上安装有两条滑轨，所述工作台的两侧均滑动连接在滑轨内，所述工作台的侧面连接有抽屉面板。4.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄运军，
申请(专利权)人：上海宏轶电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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