自动撕膜结构制造技术

本实用新型专利技术提供自动撕膜结构，包括台盘、张带机构、夹带机构和加热机构；所述张带机构包括张带架，所述张带架上设置有送热熔胶带机构；所述张带架与立板之间设置有第一驱动气缸并通过所述第一驱动气缸带动张带架在立板上升降；所述加热机构包括加热架，所述加热架上设置有用于加热胶带的加热组件和用于切割胶带的切割机构；所述加热架与立板之间设置有第二驱动气缸并通过所述第二驱动气缸带动加热架在立板上升降。本实用新型专利技术结构中，使用热融胶带将其头端加热融化沾粘在晶圆轮廓边缘的保护膜上，然后通过带动粘附在保护膜上的热熔胶带移动来缓慢将保护膜撕下，相对手动撕膜减少了人员操作，降低了人工使用成本，提高了作业效率。业效率。业效率。

【技术实现步骤摘要】
自动撕膜结构


[0001]本技术属于晶圆撕膜
，特别涉及自动撕膜结构。

技术介绍

[0002]在晶圆制作过程某些工序中，需要给晶圆贴上保护膜，同时后续也需要将保护膜撕掉。
[0003]晶圆加工是流水线式加工，如果采用人工对晶圆进行撕膜的话，需要大量的人工才能够满足撕膜需求，无疑增加了人工使用成本，并且人工的工作效率会直接影响晶圆的加工效率，不能够保证晶圆制作加工效率的稳定性。
[0004]如何设计自动撕膜结构，如何实现自动化晶圆撕膜，减少人工使用成本，并保证晶圆的制作加工效率，成为急需解决的问题。

技术实现思路

[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供自动撕膜结构，用于解决现有技术中晶圆撕膜采用人工完成，人工使用成本高且晶圆制作加工效率没有保障的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供自动撕膜结构，包括台盘、张带机构、夹带机构和加热机构，所述张带机构、夹带机构和加热机构均位于台盘的上侧，且张带机构、夹带机构和加热机构连接在同一块立板上；
[0007]所述张带机构包括张带架，所述张带架上设置有送热熔胶带机构；所述张带架与立板之间设置有第一驱动气缸并通过所述第一驱动气缸带动张带架在立板上升降；
[0008]所述夹带机构与立板之间设置有夹带运动模组并通过所述夹带运动模组带动夹带机构水平移动；
[0009]所述加热机构包括加热架，所述加热架上设置有用于加热胶带的加热组件和用于切割胶带的切割机构；所述加热架与立板之间设置有第二驱动气缸并通过所述第二驱动气缸带动加热架在立板上升降；
[0010]通过采用这种技术方案：晶圆放置在台盘上之后，由夹带机构将张带机构上的热熔胶带夹住，然后在夹带运动模组的作用下将热熔胶带拉出至晶圆的上方；加热机构上的加热组件可以将热熔胶带压在晶圆膜的表面并加热，使热熔胶粘附在晶圆膜上，与此同时，加热机构上的切割机构可以将粘附在晶圆膜上的热熔胶带切断；最后夹带运动模组带动夹带机构回至原位时，可以通过粘附在热熔胶带连带将晶圆上的膜带下，完成晶圆的自动撕膜流程。
[0011]于本技术的一实施例中，所述台盘滑动设置在导轨上，所述导轨邻侧设置有驱动机构并通过所述驱动机构带动台盘在导轨上移动；所述驱动机构包括电机，所述电机的输出轴与丝杆同轴连接，所述丝杆穿过台盘；
[0012]通过采用这种技术方案：台盘可以在电机与丝杆的配合下在导轨上进行移动，实
现相应的自动上下料，确保晶圆放置在台盘上之后可以移动至撕膜工位进行相应的撕膜流程。
[0013]于本技术的一实施例中，所述台盘的上部中心位置设置有吸盘；
[0014]通过采用这种技术方案：吸盘可以吸附晶圆，增加晶圆放置在台盘上之后的稳定性，并避免撕膜过程中晶圆移动，保证撕膜作业顺利完成。
[0015]于本技术的一实施例中，所述送热熔胶带机构包括供胶带的热熔胶卷、推送热熔胶带的推带块、夹固热熔胶带的夹带组件和割刀槽；所述推带块连接在第一气缸的伸出端；所述夹带组件包括分别位于推带块上下两侧的上夹块和下夹块；所述割刀槽连接在第二气缸的伸出端；
[0016]通过采用这种技术方案：热熔胶卷提供热熔胶带；推带块可以在第一气缸的作用下将热熔胶带推出，提供热熔胶带从热熔胶卷上推出的动力；夹带组件可以夹持住热熔胶带，确保热熔胶带切断后处于稳定状态，避免热熔胶带下坠对下一个晶圆的撕膜作业造成影响；割刀槽提供切割刀的让位，确保后续切割刀能够完成热熔胶带的切断作业。
[0017]于本技术的一实施例中，所述夹带机构包括夹带架，所述夹带架上设置有第三气缸，所述第三气缸的伸出端向下连接有上压块，所述上压块的正下方设置有下压块；
[0018]通过采用这种技术方案：第三气缸启动后，上压块会将热熔胶带压在下压块上，从而夹持住热熔胶带。
[0019]于本技术的一实施例中，所述加热组件包括安装在加热架上的第四气缸，所述第四气缸的伸出端向下连接有加热头；
[0020]通过采用这种技术方案：第四气缸启动后，连接在第四气缸伸出端的加热头可以下压热熔胶带表面，并通过加热头完成对热熔胶带的加热。
[0021]于本技术的一实施例中，所述切割机构包括安装在加热架上的第五气缸，所述第五气缸的伸出端连接有切割刀，所述切割刀穿过横切导向槽，所述横切导向槽安装在加热架上；
[0022]通过采用这种技术方案：第五气缸可以带动切割刀横向移动，从而实现下侧热熔胶带的切断；横切导向槽增加切割刀的移动稳定性。
[0023]有益效果
[0024]本技术结构中，使用热融胶带将其头端加热融化沾粘在晶圆轮廓边缘的保护膜上，然后通过带动粘附在保护膜上的热熔胶带移动来缓慢将保护膜撕下，相对手动撕膜减少了人员操作，提高了作业效率；相对撕膜胶带方法撕膜，提高了撕膜方法的多样性；自动撕膜结构是全自动撕膜机中比不可少的一部分，推广应用具有良好的经济效益和社会效益。
附图说明
[0025]图1是本技术的结构示意图。
[0026]图2是本技术的加热机构示意图。
[0027]图3是本技术的张膜机构示意图。
[0028]图4是本技术的夹膜机构示意图。
[0029]图5是本技术的台盘示意图。
[0030]图中：1.台盘；11.导轨；12.丝杆；13.电机；14.吸盘；2.张带机构；21.张带架；22.热熔胶卷；23.第一气缸；24.推带块；25.上夹块；26.下夹块；27.第二气缸；28.割刀槽；3.夹带机构；31.夹带运动模组；32.夹带架；33.第三气缸；34.上压块；35.下压块；4.加热机构；41.加热架；42.第四气缸；43.加热头；44.第五气缸；45.切割刀；46.横切导向槽。
具体实施方式
[0031]以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。
[0032]请参阅图1至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。
[0033]如图1
‑
5所示，本技术提供自动撕膜结构，包括台盘1、张带机构2、夹带机构3和加热机构4，张带机构2、夹带机构3和加热机构4均位于台盘1的上侧，且张带机构2、夹带机构3和加热机构4连接在同一块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.自动撕膜结构，包括台盘(1)、张带机构(2)、夹带机构(3)和加热机构(4)，其特征在于：所述张带机构(2)、夹带机构(3)和加热机构(4)均位于台盘(1)的上侧，且张带机构(2)、夹带机构(3)和加热机构(4)连接在同一块立板上；所述张带机构(2)包括张带架(21)，所述张带架(21)上设置有送热熔胶带机构；所述张带架(21)与立板之间设置有第一驱动气缸并通过所述第一驱动气缸带动张带架(21)在立板上升降；所述夹带机构(3)与立板之间设置有夹带运动模组(31)并通过所述夹带运动模组(31)带动夹带机构(3)水平移动；所述加热机构(4)包括加热架(41)，所述加热架(41)上设置有用于加热胶带的加热组件和用于切割胶带的切割机构；所述加热架(41)与立板之间设置有第二驱动气缸并通过所述第二驱动气缸带动加热架(41)在立板上升降。2.根据权利要求1所述的自动撕膜结构，其特征在于：所述台盘(1)滑动设置在导轨(11)上，所述导轨(11)邻侧设置有驱动机构并通过所述驱动机构带动台盘(1)在导轨(11)上移动；所述驱动机构包括电机(13)，所述电机(13)的输出轴与丝杆(12)同轴连接，所述丝杆(12)穿过台盘(1)。3.根据权利要求1所述的自动撕膜结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄运军，
申请(专利权)人：上海宏轶电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：