【技术实现步骤摘要】
一种半导体检测设备标定的方法
[0001]本专利技术属于半导体测试
，具体是一种半导体检测设备标定的方法。
技术介绍
[0002]机器视觉定位系统的目的是对目标组件进行定位，所以控制系统在于视觉系统通信的时候，主要传输的就是各目标组件的坐标信息。而为了正确地运用视觉系统的应用功能，需要先定义好坐标系。
[0003]如图2所示，Cp测试最终目的是探针（N）与Chuck盘上的晶圆（C）接触。精度要求在
±
2um。现市场上大部分的标定系统都会使用带有标准块（P）的方法来进行坐标的标定，但是探针在使用过程会出现磨损，或者需要更换的情况下，不使用探针来作为标定基准的话，会影响整个机台的重复定位精度与稳定性；而且在标定过程中，对应的图像采集的全面性和精度同样是至关重要的，不同的晶圆测试方案可能对应不同的测试特征，为了提高对应的采集精度，需要根据晶圆测试方案对应的测试特征，对现有的标定过程中图像采集设备进行完善，提高标定精度，因此，本专利技术提供了一种半导体检测设备标定的方法。
技术实现思路
>[0004]为了解本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体检测设备标定的方法，其特征在于，具体方法包括：步骤一：获取晶圆测试方案，提取对应的测试特征，根据获得的测试特征匹配对应的图像采集设备，获得目标设备；基于大数据分析获取对应的图像采集设备名录，将获得的测试特征拆分为若干个单一特征，为每个单一特征设置对应的特征权重，标记为TZQ，判断对应单一特征是否具有必要标签，将具有必要标签的单一特征标记为筛选特征，根据获得的筛选特性对图像采集设备名录中的图像采集设备进行筛选，获得初始设备，将单一特征标记为i，其中i=1、2、
……
、n，n为正整数；计算初始设备与各个单一特征之间的符合度，将获得的符合度标记为FHDi，获取各个初始设备的采购成本，将获得的采购成本标记为CB，设置成本转化系数，将获得的成本转化系数标记为β，根据公式计算对应的设备值，选择设备值最高的初始设备为目标设备；步骤二：进行目标设备的评估安装；步骤三：进行图像采集，将Chuck盘中心作为坐标系的坐标原点进行坐标系的建立，进行图像关联标定；步骤四：以探针为基准进行标定初始化。2.根据权利要求1所述的一种半导体检测设备标定的方法，其特征在于，为每个单一特征设置对应的特征权重的方法包括：获取具有的单一特征，为对应单一特征打上必要标签，为每个单一特征设置对应的特征权重，进行汇总后建立特征权重匹配表，将获得的单一特征输入到特征权重匹配表中进行匹配，获得对应的特征权重。3.根据权利要求1所述的一种半导体检测设备...
【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏抟，黄柏霖，沈顺灶，
申请(专利权)人：东莞市兆恒机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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