用于在等离子聚合装置中固定电极的装置制造方法及图纸

一种用于在等离子聚合装置中固定电极的装置，包括：一个不导电的夹持器，用于通过覆盖住电极端部固定电极；一条连接电极和电源的导线；以及一个将夹持器固定在处理室壁上的固定部件。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种等离子聚合装置中的电极，更具体地说，涉及这样一种等离子聚合装置中固定电极的设备，它能使电极绝缘，通过将电极安装在一个箱室的一面壁上防止电极变形，并使得电极易于安装和拆除。WO99/28530中披露了一种典型的等离子体聚合装置。在图1中，该装置包括一个真空室1，安装在该真空泵5、6室中的电极4，用于控制真空室压力，用于测量真空度的测量计7、8，用于使电极产生电势差的电源装置3，以及用于供应诸如活泼气体和氮的未反应气体的反应气体调节装置9、10。下面说明一个上述装置的等离子体聚合过程的例子。基质2安装在箱室1中，通过启动旋转泵5用热电偶测量计7检查箱室中压力是否维持在10-3托的真空度之后，通过启动扩散泵6用离子测量计8检查箱室中的压力是否维持在10-6托(Torr)的真空度。基质被电源3偏置为正极(或主动电极)，而另一端的电极4接地。如果箱室的压力维持在正常的真空度，反应气体和惰性气体将良好地供应在理想位置周围。混合比由热电偶测量到的压力来控制。倘若真空室压力成为一定的真空度，将放出直流电或高频波真空室。然后，在直流电或高频波产生的等离子体中，分子键被打破，而打破的链和激活的阳离子、阴例子结合，从而在置于电极之间的基质表面上形成聚合物质。在上述装置中，电极4没有接电源而是接地。如果该电极接了电源，则需要与箱室绝缘，并且需要一种用于固定电极装置将电极置于与被处理的基质有预定间隔的位置上。特别是对于既能进行上述不连续的处理又能连续进行等离子聚合处理的装置，当设备长时间工作时，电极可能松弛或者电极之间的间距可能变化。本专利技术的另一目的是提供一种拉紧力调整装置，用于有效地长时间固定电极并防止电极变形。本专利技术还有一个目的是提供一种装置，用于在等离子聚合装置内固定电极，使得电极的安装和拆除能在短时间内轻松完成。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种用于在等离子聚合装置内固定电极的装置，包括一个处理室；一个真空泵，用于维持处理室中的真空状态；至少一个置于处理室中的电极，用于高压放电；一个用于固定电极的装置；以及一个电源，用于向电极施加电能。而用于固定电极的装置包括一个用绝缘材料制成的电极夹持部件，用于覆盖住和夹持电极末端；一个经过电极夹持部件的导线部件，用于电极和电源间的电连接；以及一个固定部件，用于将电极夹持部件固定在处理室中适当位置。为了达到前述目的，本专利技术还提供了一种用于在等离子聚合装置内固定电极的装置，包括一个处理室；一个真空泵，用于维持处理室中的真空状态；至少一个置于处理室中的薄片状电极，用于高压放电；一个电源，用于向电极施加电能；一个用绝缘材料制成的电极夹持部件，用于覆盖住和夹持电极末端；一个经过电极夹持部件的导线部件，用于电极和电源间的导电连接；一个固定部件，用于将电极夹持部件固定在处理室中适当位置；以及一个弹性部件，用于提供沿电极纵向方向的弹力。为了达到前述目的，本专利技术还提供了一种用于在等离子聚合装置内固定电极的装置，包括一个处理室；一个真空泵，用于维持处理室中的真空状态；至少一个置于处理室中的薄片状电极，用于高压放电；一个电源，用于向电极施加电能；一个用绝缘材料制成的电极夹持部件，用于覆盖住和夹持电极末端；一个经过电极夹持部件的导线部件，用于电极和电源间的导电连接；以及一个由圆柱状导电材料制成的内部夹持器，被电极夹持器固定和覆盖住并且电极的一端卷绕在其上。图9是图8中的实施例的详细透视图；图10是沿图8中A-A′线的剖视图；图11是沿图8中B-B′线的透视图。优选实施例下面将参照附图说明本专利技术。安装在等离子聚合装置中的处理室中的电极可以是各种形状的，但一般是薄片形的。薄片形的电极安装在与基质的上、下部分有预定的间距的位置。当通电时，电极间将放电，并且由于放电，供应到处理室的反应气体变成等离子体状态。等离子体状态下的气体将改变置于处理室中的基质的表面或者形成一个新的表面层。保持电极与需表面处理的基质之间的预定间距对于通过等离子聚合进行均衡的基质表面处理非常重要。要保持电极和要聚合的基质之间的预定间距，需要一个固定电极的装置。该固定电极的装置通过固定电极的两边并施加预定的拉紧力防止电极松弛。另一方面，如果电极通电，则固定电极的装置和处理室之间就需要绝缘，因为固定电极的装置安装在处理室的壁上并与处理室靠近。固定电极的装置包括一个薄片形电极；一个安装在处理室内壁上的夹持器，由完全覆盖住电极末端的绝缘材料制成；一个用于连接电极连接到处理室内壁的适当位置的导线部件。而且，该装置可以包括一个由导电材料制成的靠近电极末端的内部夹持器，并且电极夹持器部件固定后完全盖住内部夹持器。根据本专利技术的一种实施例，内部夹持器可以由圆柱形导电材料制成，电极的一端卷绕在其上，并且根据另一实施例，该夹持器可以由靠近电极末端的上下表面的两块板组成。在任何情况下，夹持器都最好由导电材料制成。电极夹持器最好包括内部夹持器并覆盖住电极。而且，最好电极夹持器由上夹持器和下夹持器组成，以便安装和拆除电极。电极必须以某种方式通电，并且电流能通过直接连接电源装置和电极或者连接内部夹持器和导线流到电极。另一方面，电极可以是薄片状的网格型金属。网格型金属电极可以防止电场集中在电极边缘，并使得容易将电极末端固定到内部夹持器上。本专利技术的电极结构专为安装在等离子聚合装置的处理室中而设计，但本专利技术也可以应用到类似的各种装置上。本专利技术特别对能长时间连续进行表面处理的连续处理装置有用。图2显示了连续等离子聚合装置的一个例子。如图所示，电极23安装在具有预定间距的上、下两侧，使得基质22能通过处理室21中的的通道，而退卷机26安装在退卷机室25中，基质卷绕在退卷机上，退卷机安装在处理室21前。在处理室21后的卷绕机室28中安装着卷绕机27，用于卷绕具有沉积的聚合膜的基质。在图中，电极与要处理的基质的移动方向平行地安装在处理室中，但如果电极沿垂直方向安装，亦即如果电极沿与基质移动方向垂直的方向安装在相同的平面上，也可以使用本专利技术的用于固定电极的装置。而且，除了一个电极安装在一个表面的情况，在很多电极相互对置地安装在基质的一个表面或上下表面的情况下，本专利技术的用于固定电极的装置也仍可以使用。图3显示了本专利技术的一个实施例。如图所示，电极31的末端是上下表面上的内部夹持器，而且在上板32a和下板32b互相靠紧的情况下被固定在联结装置33上，而在上电极夹持器34和下电极夹持器35靠紧以覆盖住整个板的情况下，每块板和电极夹持器都用外表面上的联结装置36固定。电极夹持器最好具有凹槽，使得板可以插入内表面。联结装置最好是常用的螺丝或铆钉，但也可以使用其它具有相同功能的器件。图中未显示的电极的另一端由与对侧相同的内部夹持器和电极夹持器固定。为了使固定电极的上下板将电能传递到电极上，板的材料必须是导电的，另一方面，上下电极夹持器必须保持绝缘性能，使得电能只传递到电极而不外泄。要实现这一点，电极夹持器要用具有较好耐热性的绝缘材料制成并完全覆盖住电极和板末端，以使得电极不能传递电流到周围，比如处理室壁。上下板贴在电极上使得电极与电极夹持器结合在一起。板的一个表面紧靠着电极夹持器，从而与电极和电极夹持器保持预定的摩擦力。因此，电极和电极夹持器通过上板和下板的中介保本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在等离子聚合装置中固定电极的装置，包括： 一个处理室； 一个真空泵，用于维持处理室中的真空状态； 至少一个置于处理室中的电极，用于高压放电； 一个用于固定电极的装置；以及 一个电源，用于向电极施加电能， 其特征是，用于固定电极的装置包括： 一个用绝缘材料制成的电极夹持部件，用于覆盖住和夹持电极末端； 一个经过电极夹持部件的导线部件，用于电极和电源间的导电连接；以及 一个固定部件，用于将电极夹持部件固定在处理室中适当位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：尹东植，河三喆，
申请(专利权)人：LG电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]