液体中等离子电极、液体中等离子产生装置和液体中等离子产生方法制造方法及图纸

根据本发明专利技术的液体中等离子电极１是在液体Ｌ中产生等离子的液体中等离子电极，具有导电元件１１和绝缘元件１６，其导电元件１１具有与液体Ｌ接触的放电端表面１１１，其绝缘元件１６覆盖导电元件１１的至少除放电端表面１１１之外的外围。ｄ和ｘ优选满足－２ｄ≤ｘ≤２ｄ，其中当具有放电端表面１１的导电元件１１的导电端部分１１０具有大致的圆形横截面时，ｄ是横截面短轴的长度，或者，当导电端部分１１０具有大致的矩形横截面时，ｄ是横截面短边的长度，而当参照平面１６１是与放电端表面１１１大致平行的绝缘元件１６的端表面１６１时，ｘ是从参照平面１６１到含有放电端表面１１１的平面的距离。由于该结构，可提供能在多种液体，包括导电液体，例如水和醇中简便地产生等离子的液体中等离子电极，还有具有这种电极的液体中等离子产生装置和采用这种电极的液体中等离子产生方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在液体中产生等离子的等离子技术，更具体地涉及 在液体中产生高能等离子的方法和装置，以及其中所用的电极。 技术背景作为采用等离子的蒸气淀积技术，采用气相等离子的蒸气淀积 技术已经按常规被广泛采用。然而，在具有低材料密度的气相等离 子中，反应速度低。因此，需要在有高材料密度的液体中产生等离 子的技术。例如，国际^^布号02/038827的小册子(文献l)描述产生气泡流 体的专利技术，气泡含有要沉积在电解液中的材料来源，电解液中放有 一对隔开的电极，在气泡区产生等离子辉光放电，从而使材料沉积 在一个电极上。然而，文献1中所述的专利技术采用直流辉光放电。文献1部分介 绍通过微波或电磁波辐射帮助辉光放电产生，但未对其专门描述。 从技术观点上看，有许多不清楚的要点，且认为文献1中所述的技 术只限于直流辉光放电。因此，假定反应速度与气相等离子的水平 相同。而且，日本未审专利公布号2002-301136的公告(文献2)也描述 用来自容器外部的#:波辐照液体，从而分解液体中的有害物质。文 献2涉及来自容器外部的辐射^:波，从而分解含于容器中的液体内 的有害物质，但并未解释经什么机理本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在液体中产生等离子的液体中等离子电极，其特征在于具有：　　　　导电元件和绝缘元件，所述导电元件具有与液体接触的放电端表面；所述绝缘元件覆盖该导电元件的至少除放电端表面之外的外围。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：村濑仁俊，下俊久，高岛宏明，丰田洋通，野村信福，前原常弘，
申请(专利权)人：株式会社丰田自动织机，国立大学法人爱媛大学，
类型：发明
国别省市：JP[日本]