一种真空镀膜用磁场调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，具体公开了一种真空镀膜用磁场调整装置，包括：底板，底板表面设置有真空室，真空室表面设置有顶板，顶板表面设置有靶材，固定块内设置有螺杆，固定块表面开设有通孔，通孔内设置有拉杆；有益效果为：本实用新型专利技术提出的一种真空镀膜用磁场调整装置，使用时，当需要取出固定块时，只需要拉动拉杆，使拉杆一端脱离限位块侧面开设的限位槽，这样就可将固定块从底板内取出，简单方便，这样避免了一般的底板与固定块主要利用螺钉进行固定安装，当需要检测真空室内部情况时需要转动多组螺钉才能将固定块取出进行检查，较为不方便耗费时间。较为不方便耗费时间。较为不方便耗费时间。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用磁场调整装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体为一种真空镀膜用磁场调整装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等。
[0003]中国专利CN209652413U公开了一种真空镀膜设备磁场强度可调节机构，包括底板，所述底板的上表面开设有固定孔，所述固定孔的内部与底板的下表面相连通，底板的中部活动插接有固定块，固定块的底端延伸至底板的下表面，底板的下表面与固定块的下表面通过第一螺钉固定连接，固定块的下表面通过第二螺钉固定连接有放置块。该真空镀膜设备磁场强度可调节机构，通过设置了正反电机、螺纹杆、滑动腔和活动套，使得正反电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动活动套在滑动腔内部上下移动，还通过设置了顶板、靶材、横板和磁铁，活动套通过横板带动磁铁上下移动，调节磁铁与靶材之间的距离，从而改变靶材表面的磁场结构以及磁场强弱。
[0004]但是，在上述技术方案中底板与固定块主要利用螺钉进行固定安装，当需要检测真空室内部情况时需要转动多组螺钉才能将固定块取出进行检查，较为不方便耗费时间。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种真空镀膜用磁场调整装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜用磁场调整装置，所述真空镀膜用磁场调整装置包括：底板，底板表面设置有真空室，真空室表面设置有顶板，顶板表面上设置有靶材；
[0007]固定块，固定块内设置有螺杆，固定块表面开设有通孔，通孔内设置有拉杆，固定块底部设置有支架。
[0008]优选的，所述底板底部设置有限位块，限位块呈方形板状结构，限位块设置有两组，两组限位块关于底板表面中心点对称分布，限位块侧面开设有限位槽。
[0009]优选的，所述螺杆一端设置有把手，螺杆表面套设有活动套，活动套表面设置有磁铁。
[0010]优选的，所述拉杆表面套设有弹簧，弹簧一端固定连接在拉杆表面，弹簧另一端固定连接在通孔侧面。
[0011]优选的，所述磁铁呈环形板状结构，磁铁底部固定连接在活动套表面。
[0012]优选的，所述通孔设置有两组，两组通孔关于固定块表面中心点对称分布。
[0013]优选的，所述限位槽呈圆柱体结构，限位槽直径大于拉杆的直径。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]本技术提出的一种真空镀膜用磁场调整装置，使用时，当需要取出固定块时，只需要拉动拉杆，使拉杆一端脱离限位块侧面开设的限位槽，这样就可将固定块从底板内取出，简单方便，这样避免了一般的底板与固定块主要利用螺钉进行固定安装，当需要检测真空室内部情况时需要转动多组螺钉才能将固定块取出进行检查，较为不方便耗费时间。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术结构局部剖视图；
[0018]图3为本技术结构底部结构示意图；
[0019]图4为图3中A处放大结构示意图。
[0020]图中：1、底板；2、真空室；3、顶板；4、靶材；5、固定块；6、螺杆；7、通孔；8、拉杆；9、支架；10、限位块；11、限位槽；12、把手；13、活动套；14、磁铁；15、弹簧。
具体实施方式
[0021]为了使本专利技术的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本专利技术实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本专利技术实施例，并不用于限定本专利技术实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]实施例一：
[0023]请参阅图1
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图4，本技术提供一种技术方案：一种真空镀膜用磁场调整装置，所述真空镀膜用磁场调整装置包括：底板1，底板1表面设置有真空室2，真空室2表面设置有顶板3，顶板3表面上设置有靶材4；固定块5，固定块5内设置有螺杆6，固定块5表面开设有通孔7，通孔7内设置有拉杆8，固定块5底部设置有支架9；
[0024]使用时，当需要取出固定块5时，只需要拉动拉杆8，使拉杆8一端脱离限位块10侧面开设的限位槽11，这样就可将固定块5从底板1内取出，简单方便。
[0025]实施例二
[0026]在实施例一的基础上设置有螺杆6，螺杆6一端设置有把手12，螺杆6表面套设有活动套13，活动套13表面设置有磁铁14，磁铁14呈环形板状结构，磁铁14底部固定连接在活动套13表面；
[0027]使用时，利用把手12转动螺杆6使活动套13在真空室2内上下移动，这样就可使活动套13表面设置的磁铁14与靶材4之间的距离进行调节，从而改变靶材4表面的磁场结构以及磁场强弱。
[0028]实施例三
[0029]在实施例二的基础上设置有底板1，底板1底部设置有限位块10，限位块10呈方形板状结构，限位块10设置有两组，两组限位块10关于底板1表面中心点对称分布，限位块10侧面开设有限位槽11，拉杆8表面套设有弹簧15，弹簧15一端固定连接在拉杆8表面，弹簧15另一端固定连接在通孔7侧面，通孔7设置有两组，两组通孔7关于固定块5表面中心点对称分布，限位槽11呈圆柱体结构，限位槽11直径大于拉杆8的直径；
[0030]使用时，当需要将固定块5取出时，首先拉起拉杆8使拉杆8一端脱离限位槽11失去对限位块10的限位作用，这样就可将固定块5从底板1内取出，弹簧15的设置可使拉杆8在需要对固定块5进行固定安装时进行复位，使拉杆8重新插入在限位槽11内也防止拉杆8会随意的移动脱离限位槽11。
[0031]实际使用时，当需要将固定块5取出时，首先拉起拉杆8使拉杆8一端脱离限位槽11失去对限位块10的限位作用，这样就可将固定块5从底板1内取出，弹簧15的设置可使拉杆8在需要对固定块5进行固定安装时进行复位，使拉杆8重新插入在限位槽11内也防止拉杆8会随意的移动脱离限位槽11，利用把手12转动螺杆6使活动套13在真空室2内上下移动，这样就可使活动套13表面设置的磁铁14与靶材4之间的距离进行调节，从而改变靶材4表面的磁场结构以及磁场强弱，总体设计避免了一般的底板1与固定块5主要利用螺钉进行固定安装，当需要检测真空室2内部情况时需要转动多组螺钉才能将固定块5取出进行检查，较为不方便耗费时间。
[0032]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用磁场调整装置，其特征在于：所述真空镀膜用磁场调整装置包括：底板(1)，底板(1)表面设置有真空室(2)，真空室(2)表面设置有顶板(3)，顶板(3)表面上设置有靶材(4)；固定块(5)，固定块(5)内设置有螺杆(6)，固定块(5)表面开设有通孔(7)，通孔(7)内设置有拉杆(8)，固定块(5)底部设置有支架(9)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用磁场调整装置，其特征在于：所述底板(1)底部设置有限位块(10)，限位块(10)呈方形板状结构，限位块(10)设置有两组，两组限位块(10)关于底板(1)表面中心点对称分布，限位块(10)侧面开设有限位槽(11)。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜用磁场调整装置，其特征在于：所述螺杆(6)一端设置有把手(12)，螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：骆晔，
申请(专利权)人：迈捷克纳米科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：