【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用来去除带有正极性或负极性电荷的各种带电物、例如用作半导体之类的去静电对象的去静电的去静电方法及其装置。
技术介绍
众所周知，作为使去静电对象的带电量接近零的手段，多年来一直使用通过把高电压生成器生成的直流高电压或交流高电压施加于电极针，使之产生电晕放电，由该电极针输出正离子或负离子，将该离子喷射带电体的方法。此外，通过给电极针施加正负高电压使之产生用于去静电的正离子与负离子时，通常都在电极针近旁预先设置接地的接地板，以便促进离子释放(参照特许文献1)，但是若设置该接地板，由于会使设计与上述配置相关的装置时灵活性下降，同时还得维修保养，尤其是在给单一电极针施加正或负的高电压时电极针的损耗很大，因而加重了维修保养时的负担。而且，若施加正负高电压的电极针相距一定的距离，由于这些电极针周围生成的离子在扩散释放的各自的区域内产生位置性偏移，因而存在去静电不均匀的问题。此外，还有人建议采用靠该对象释放的离子量检出去静电对象的表面电位，根据检出的对象的带电极性和带电量控制施加于电极针的电压的去静电技术(参照特许文献2)。然而，在上述现用的去静电装置之中，检出...
【技术保护点】
一种去静电方法，其特征在于：包括在由绝缘材料构成的保持件内彼此相向配置的单一或多个可个别施加正负高电压的一对电极针的电极；以短周期交替切换给上述电极针的一侧施加正或负的高电压的同时，将另一侧的电极针接地通电状态，以及将施加了上述高电压的电极针接地的同时，给上述接地的电极针施加与上述高电压正负相反的高电压的通电状态；根据上述电极针的高电压使生成的正离子以及负离子作用于去静电对象而进行去静电。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：藤原伸广，小森谷茂，草场纪昭，铃木智，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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