下载去静电方法及其装置的技术资料

文档序号:3716403

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提供一种通过给一对电极针的一侧施加高电压,将另一侧接地,而无须接地的接地板的去静电方法及其装置。在由绝缘材料构成的保持件5内彼此相向配置单一或多个可个别施加正负高电压的一对电极针6a、6b。以短周期交替切换给上述电极针的一侧施加正或负的高电...
该专利属于SMC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过SMC株式会社授权不得商用。

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