工作台、检查装置及工作台的动作方法制造方法及图纸

一种工作台、检查装置及工作台的动作方法,其能够促进施加于基台的载荷的均匀化。工作台具有:一个基台；四个可动体,其以可升降的方式对上述基台进行支承；四个驱动电动机,其与上述四个可动体的每一个对应设置,使该四个可动体进行个别升降；四个引导部,其对上述四个可动体的每一个的升降进行引导；以及一个支承框架,其沿与上述基台的升降方向正交的方向连续且具有与上述升降方向平行的壁面,并且在该壁面上固定全部上述四个引导部。该壁面上固定全部上述四个引导部。该壁面上固定全部上述四个引导部。

【技术实现步骤摘要】
工作台、检查装置及工作台的动作方法


[0001]本专利技术涉及工作台、检查装置及工作台的动作方法。

技术介绍

[0002]在专利文献1中,公开了在进行晶圆的检查的检查装置中,用于将被检查体搬运至规定位置的工作台(检查工作台)。该工作台通过三个升降驱动机构对用于载置晶圆的一个基台(载置台)进行支承,并且一边监视该三个升降驱动机构的升降位置,一边使基台升降。
[0003]检查装置在晶圆的检查中使许多(数万)的接触探针与晶圆接触。因此,较大的载荷自许多的接触探针施加于基台。
[0004]<现有技术文献>
[0005]<专利文献>
[0006]专利文献1:日本国特开2000―260852号公报

技术实现思路

[0007]<本专利技术要解决的问题>
[0008]本专利技术提供一种能够适当调整基台的姿势,并且能够促进施加于基台的载荷的均匀化的技术。
[0009]<用于解决问题的方法>本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工作台,具有:一个基台；四个可动体,其以可升降的方式对上述基台进行支承；四个驱动电动机,其与上述四个可动体的每一个对应设置,使该四个可动体进行个别升降；四个引导部,其对上述四个可动体的每一个的升降进行引导；以及一个支承框架,其沿与上述基台的升降方向正交的方向连续且具有与上述升降方向平行的壁面,并且在该壁面上固定全部上述四个引导部。2.根据权利要求1所述的工作台,其中,包括:控制部,其在上述基台的升降时设定上述四个驱动电动机的每一个的目标位置,并且基于上述目标位置对上述四个驱动电动机的动作进行控制；以及四个扭矩传感器,其分别设于上述四个驱动电动机,用于对该驱动电动机的扭矩进行检测,上述控制部基于自上述四个扭矩传感器的每一个反馈来的上述扭矩,对上述四个驱动电动机的每一个的上述目标位置进行校正。3.根据权利要求2所述的工作台,其中,上述控制部基于上述四个扭矩传感器的扭矩,识别上述基台的倾斜状态,并且根据上述基台的倾斜状态计算对于上述四个驱动电动机的每一个的上述目标位置进行校正的校正值。4.根据权利要求1至3中任一项所述的工作台,其中,上述支承框架在与上述升降方向正交的方向上具有一对侧壁和连结上述一对侧壁之间的连结壁,从而在俯视时形成为H字状,上述四个可动体、上述四个驱动电动机以及上述四个引导部配置于上述一对侧壁之间。5.根据权利要求4所述的工作台,其中,上述支承框架在上述连结壁的一个上述壁面上固定有上述四个引导部中的两个引导部,并且在上述连结壁的另一上述壁面上固定有上述四个引导部中的余下两个引导部。6.根据权利要求1至3中任一项所述的工作台,其中,上述四个可动体具有与上述四个驱动电动机的每一个连接的横延伸部、以及与上述横延伸部的延伸方向正交延伸且被上述四个引导部的每一个引导的纵延伸部。7.根据权利要求6所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林将人，小林弘人，阿川裕晃，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：