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一种工作台、检查装置及工作台的动作方法,其能够促进施加于基台的载荷的均匀化。工作台具有:一个基台；四个可动体,其以可升降的方式对上述基台进行支承；四个驱动电动机,其与上述四个可动体的每一个对应设置,使该四个可动体进行个别升降；四个引导部,其...
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