本申请实施例涉及半导体领域，提供一种送液装置，至少可以包括：驱动模块、第一腔室以及第二腔室，第一腔室具有第一出口和第二出口，第一出口与第二腔室的进液口连通，驱动模块基于第一预设压力和预设时长驱动液体至第一腔室；控制模块，用于监测第一腔室内液体的体积，若体积与预设时长的商值不等于预设流量，则通过第二出口泄放第一腔室内的液体，以及根据商值和预设流量的大小关系调节第一预设压力的数值，以使第一预设压力对应的实际流量等于预设流量。本申请实施例有利于提高送液装置的流量精度。量精度。量精度。
【技术实现步骤摘要】
送液装置
[0001]本申请实施例涉及半导体领域，特别涉及一种送液装置。
技术介绍
[0002]随着半导体器件的微缩，半导体器件内不同结构的形貌要求越来越高，结构形貌的变化可能会对半导体器件的电学性能产生较大的影响。在形成目标结构的过程中，需要用到刻蚀剂和清洗剂等溶液，为保证最终形成的结构具有预设形貌，需要严格控制刻蚀剂和清洗剂的用量和浓度精度，避免刻蚀剂和清洗剂额外损耗结构材料或未刻蚀待去除结构材料，也就是说，用于输送溶液的送液装置需要有较高的流量精度。
[0003]现有送液装置的流量精度较低，无法满足工艺需求。
技术实现思路
[0004]本申请实施例提供一种送液装置，至少有利于提高送液装置的流量精度。
[0005]根据本申请一些实施例，本申请实施例提供一种送液装置，至少可以包括：驱动模块、第一腔室以及第二腔室，所述第一腔室具有第一出口和第二出口，所述第一出口与所述第二腔室的进液口连通，所述驱动模块基于第一预设压力和预设时长驱动液体至所述第一腔室；控制模块，用于监测所述第一腔室内液体的体积，若所述体积与所述预设时长的商值不等于预设流量，则通过所述第二出口泄放所述第一腔室内的所述液体，以及根据所述商值和所述预设流量的大小关系调节所述第一预设压力的数值，以使所述第一预设压力对应的实际流量等于所述预设流量。
[0006]在一些实施例中，若所述体积与所述预设时长的商值等于预设流量，则所述控制模块导通所述第一出口且关闭所述第二出口。
[0007]在一些实施例中，在所述第一腔室的液面上升方向上，所述第二出口的位置位于所述第一出口的上方。
[0008]在一些实施例中，所述控制模块还用于在泄放完所述液体之后关闭所述第二出口。
[0009]在一些实施例中，所述驱动模块具有第一驱动单元和第二驱动单元，所述第一驱动单元用于基于第一预设压力和预设时长驱动液体至所述第一腔室，所述第二驱动单元用于基于第二预设压力驱动液体至所述第一腔室，所述控制模块用于使能所述第一驱动单元或所述第二驱动单元，所述第一驱动单元和所述第二驱动单元共用同一送液管道，所述控制模块还用于根据所述第一预设压力的调整幅度调整所述第二预设压力的数值。
[0010]在一些实施例中，所述第一预设压力小于所述第二预设压力。
[0011]在一些实施例中，所述控制模块包括时钟单元，所述时钟单元用于记录所述第二驱动单元的累计工作时长，所述控制模块还用于基于所述累计工作时长周期性中止所述第二驱动单元的运行并使能所述第一驱动单元，若所述商值等于所述预设流量，则中止所述第一驱动单元的运行并使能所述第二驱动单元。
[0012]在一些实施例中，所述控制模块包括检测单元，所述检测单元用于检测所述送液管道是否发生更换，若所述送液管道发生更换，则所述控制模块中止所述第二驱动单元的运行并使能所述第一驱动单元，若所述商值等于所述预设流量，则中止所述第一驱动单元的运行并使能所述第二驱动单元。
[0013]在一些实施例中，所述送液管道具有唯一标志信息。
[0014]在一些实施例中，送液装置还包括：存储模块，用于存储压力值和流量值的对应关系，所述第一驱动单元和所述第二驱动单元基于所述对应关系和所述预设流量的数值选择对应的压力值作为第一预设压力；所述控制模块还用于在所述商值等于所述预设流量时，调整所述对应关系中所述流量值对应的所述压力值，以使得所述预设流量对应的压力值为当前的所述第一预设压力。
[0015]在一些实施例中，送液腔室还包括：初始腔室，所述驱动模块用于将所述初始腔室的液体驱动至所述第一腔室，所述第二出口与所述初始腔室的进液口连通。
[0016]在一些实施例中，所述控制模块包括水位传感器和分析单元，所述水位传感器用于监测所述第一腔室中液体的水位，所述分析单元用于根据所述水位传感器的监测结果和所述第一腔室的形状计算所述第一腔室中液体的体积。
[0017]在一些实施例中，所述第一腔室侧壁具有水位刻度，所述第一腔室由透明材料制成。
[0018]在一些实施例中，若所述商值小于所述预设流量，则所述控制模块增大所述第一预设压力的数值，以增大所述第一预设压力对应的实际流量；若所述商值大于所述预设流量，则所述控制模块减小所述第一预设压力的数值，以减小所述第一预设压力对应的实际流量。
[0019]在一些实施例中，所述第一出口的横截面积大于所述第一腔室的进液口的横截面积。
[0020]本申请实施例提供的技术方案至少具有以下优点：
[0021]上述技术方案中，在驱动模块和第二腔室之间设置第一腔室，通过第一腔室对驱动模块所驱动的液体的流量进行检测，若液体的流量不满足要求，则通过第一腔室的另一出口将其送出，避免其流入第二腔室，同时，泄放出液体的第一腔室可反复进行流量测试，直到得到满足流量要求的第一预设压力，进而保证流经第二腔室的液体流量满足要求。
附图说明
[0022]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
[0023]图1为本申请实施例提供的送液装置的结构示意图。
具体实施方式
[0024]下面将结合附图对本申请的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本申请各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。
[0025]图1为本申请实施例提供的送液装置的结构示意图。
[0026]参考图1，送液装置至少可以包括：驱动模块11、第一腔室12以及第二腔室13，第一腔室12具有第一出口121和第二出口122，第一出口121与第二腔室13的进液口连通，驱动模块11基于第一预设压力和预设时长驱动液体至第一腔室12；控制模块14，用于监测第一腔室12内液体的体积，若体积与预设时长的商值不等于预设流量，则通过第二出口122泄放第一腔室12内的液体，以及根据商值和预设流量的大小关系调整第一预设压力的数值，以使第一预设压力对应的实际流量等于预设流量。
[0027]本申请实施例中，第二腔室13中的液体可用于形成混合溶液以作用于目标材料，或者直接作用于目标材料，但无论是哪一种情况，都需要严格控制第二腔室13内液体的流量，保证在预设时长内，第二腔室13中液体的体积满足要求，进而保证混合溶液的浓度精度满足要求，或者保证在预设时长内液体的实际用量满足要求。
[0028]需要说明的是，第一预设压力为“名词”，第一预设压力可被设置为不同的数值，一般情况下，第一预设压力的数值不同，受驱动模块11驱动的液体的流量也不同，受送液管道的规格尺寸以及使用时长的影响，在第一预设压力的数值不变的情况下，不同时间点的液体流量可能存在细微变化。通过计算预设时长内流至第一腔室12内的液体体积，可准确计算出液体流量；同时，为避免预设时长内液体流量均匀性较差，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种送液装置，其特征在于，包括：驱动模块、第一腔室以及第二腔室，所述第一腔室具有第一出口和第二出口，所述第一出口与所述第二腔室的进液口连通，所述驱动模块基于第一预设压力和预设时长驱动液体至所述第一腔室；控制模块，用于监测所述第一腔室内液体的体积，若所述体积与所述预设时长的商值不等于预设流量，则通过所述第二出口泄放所述第一腔室内的所述液体，以及根据所述商值和所述预设流量的大小关系调节所述第一预设压力的数值，以使所述第一预设压力对应的实际流量等于所述预设流量。2.根据权利要求1所述的送液装置，其特征在于，若所述体积与所述预设时长的商值等于预设流量，则所述控制模块导通所述第一出口且关闭所述第二出口。3.根据权利要求1所述的送液装置，其特征在于，在所述第一腔室的液面上升方向上，所述第二出口的位置位于所述第一出口的上方。4.根据权利要求3所述的送液装置，其特征在于，所述控制模块还用于在泄放完所述液体之后关闭所述第二出口。5.根据权利要求1所述的送液装置，其特征在于，所述驱动模块具有第一驱动单元和第二驱动单元，所述第一驱动单元用于基于第一预设压力和预设时长驱动液体至所述第一腔室，所述第二驱动单元用于基于第二预设压力驱动液体至所述第一腔室，所述控制模块用于使能所述第一驱动单元或所述第二驱动单元，所述第一驱动单元和所述第二驱动单元共用同一送液管道，所述控制模块还用于根据所述第一预设压力的调整幅度调整所述第二预设压力的数值。6.根据权利要求5所述的送液装置，其特征在于，所述第一预设压力小于所述第二预设压力。7.根据权利要求5所述的送液装置，其特征在于，所述控制模块包括时钟单元，用于记录所述第二驱动单元的累计工作时长，所述控制模块还用于基于所述累计工作时长周期性中止所述第二驱动单元的运行并使能所述第一驱动单元，若所述商值等于所述预设流量，则中止所述第一驱动单元的运行并使能所述第二驱动单元。8....
【专利技术属性】
技术研发人员：千荣宣，金正民，任传文，陶守明，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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