电子装置以及用于制作电子装置的方法制造方法及图纸

本公开提供一种电子装置以及用于制作电子装置的方法。用于制作电子装置的方法包括：提供检测模块，检测所述电子装置的第一区域以获得第一信息，且检测所述电子装置的第二区域以获得第二信息；传输第一信息以及第二信息至处理系统；比较第一信息以及第二信息以获得差值；以及通过第一界面系统将校正信息传输至第一制程机台。当差值大于或等于

【技术实现步骤摘要】
电子装置以及用于制作电子装置的方法


[0001]本公开涉及一种电子装置以及用于制作电子装置的方法，尤其涉及一种提升电子装置可靠度的制作方法。

技术介绍

[0002]近年来，随着电子装置变得越来越小，同时需要将更多元件整合至电子装置中，元件间的金属走线设计与质量将影响电子装置的可靠度。例如电子装置中的扇出型面板级封装(Fan
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out Panel
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level package)技术在基板上重复堆叠金属线路层，接着进行封装。制程中，多层金属线路堆叠，可能造成基板的翘曲程度上升或影响后续制程的对位精确度，进而降低制程良率或影响电子装置可靠度。因此，提供一提升电子装置可靠度的制程方法为亟需关注的课题。

技术实现思路

[0003]本公开提供一种用于制作电子装置的方法，其为可提升电子装置的可靠度的制程方法。
[0004]根据本公开的实施例，用于制作电子装置的方法包括：提供检测模块，检测所述电子装置的第一区域以获得第一信息，且检测所述电子装置的第二区域以获得第二信息；传输第一信息以及第二信息至处理系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制作电子装置的方法，其特征在于，包括：提供检测模块，检测所述电子装置的第一区域以获得第一信息，且检测所述电子装置的第二区域以获得第二信息；传输第一信息以及第二信息至处理系统；比较所述第一信息以及所述第二信息以获得一差值；以及通过第一界面系统将校正信息传输至第一制程机台，其中，当所述差值大于或等于
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2且小于或等于2时，则启动第一制程机台生产。2.根据权利要求1所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，还包括：通过第二界面系统将所述校正信息传输至第二制程机台。3.根据权利要求1所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，还包括：基板，具有测试金钥；以及连接件，设置于所述基板上，所述连接件具有测试图案，且所述测试图案对应所述测试金钥。4.根据权利要求1所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，还包括：根据所述校正信息评估信心程度，当所述信心程度大于或等于阈值时，通过所述第一界面系统将所述校正信息传输至所述第一制程机台，当所述信心程度小于所述阈值时，进行人工校正。5.根据权利要求1所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，所述校正为渐进式校正。6.根据权利要求1所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，所述检测模块包括彩色共焦模块以及自动光学检测模块。7.根据权利要求6所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，所述自动光学检测模块包括偏振滤镜。8.根据权利要求6所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，所述彩色共焦模块包括分光镜。9.根据权利要求1所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，所述第一信息包括测试金钥的坐标(X0,Y0)，所述第二信息包括测试图案的坐标(X1,Y1)，且所述校正信息包括最大校正值(X0
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X1,Y0
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Y1)。10.根据权利要求1所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，所述第一信息包括目标线宽信息X以及目标线距信息Y，所述第二信息包括平均线宽信息X
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以及平均线距信息Y
’
，当|(X
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X
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)|≦2且|(Y
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Y
’
)|≦2时，判断不须进行校正，且当|(X
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X
’
)|>2或|(Y
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Y
’
)|>2时，判断须进行校正。11.根据权利要求1所述的用于制作电子装置的方法，其特征在于，所述第一信息包括目标线宽信息X以及平均线宽信...

【专利技术属性】
技术研发人员：许智渊，樊光明，廖文祥，
申请(专利权)人：群创光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：