掩膜装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种掩膜装置及蒸镀设备，其中，掩膜装置包括掩膜版、挡板机构、检测件和第一控制器，掩膜版贯穿设置有第一开口，第一开口内设有多个掩膜条，并形成有多个蒸镀区域，挡板机构设置在掩膜版的下表面，挡板机构包括底座、驱动件和挡板，底座设置有与第一开口连通的第二开口，第二开口的侧壁设置有安装槽，驱动件和挡板均设置在安装槽内，驱动件与挡板连接，检测件和驱动件均与第一控制器连接。本发明专利技术的掩膜装置能够通过检测件检测玻璃基板是否破裂和是否脱落，在玻璃基板脱落前，挡板能够自动伸出安装槽外并封堵第二开口，以承接掉落的玻璃基板，从而防止玻璃基板掉落在蒸镀设备内，无需停机清理玻璃基板，有利于提高生产效率。产效率。产效率。

【技术实现步骤摘要】
掩膜装置及蒸镀设备


[0001]本专利技术涉及显示屏加工
，尤其涉及一种掩膜装置及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]在显示面板的蒸镀工艺中，需要在玻璃基板上的待蒸镀区域蒸镀一层有机材料，而在非蒸镀区域不能沾染有机材料。因此，在蒸镀过程中通常将玻璃基板放置于掩膜装置上，掩膜装置上通过掩膜条划分出蒸镀区域和遮蔽区域，掩膜装置上的蒸镀区域与玻璃基板上指定的待蒸镀区域对正，掩膜装置上的遮蔽区域与玻璃基板上的非蒸镀区域对正。
[0003]参照图1，蒸镀设备包括对位腔室100
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和蒸镀腔室200
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，玻璃基板300
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先通过粘合胶400
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粘贴在卡盘500
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上，再将玻璃基板300
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输送到对位腔室100
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内，并在对位后放置到掩膜装置600
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上，然后通过输送装置依次将多个掩膜装置600
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输送至蒸镀腔室200
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内进行蒸镀。但在输送过程中存在粘合胶400
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粘贴不牢固或玻璃基板300
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破损或相邻两个掩膜装置600
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发生碰撞的情况，会导致玻璃基板300
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从卡盘500
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上脱落，玻璃基板300
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会在重力的作用下发生变形和破碎，并从掩膜装置600
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的蒸镀区域掉落到蒸镀设备内。若玻璃基板300
′r/>掉落在对位腔室100
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内，掉落的玻璃基板300
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会影响后面玻璃基板300
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和掩膜装置600
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的对位，若玻璃基板300
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掉落在蒸镀腔室200
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内，掉落的玻璃基板300
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会堵在蒸镀源700
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的喷嘴701
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上，使得后面的玻璃基板300
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蒸镀不良，因此，需要停机清理玻璃基板300
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。
[0004]工作人员需要先将对位腔室100
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和蒸镀腔室200
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从真空环境切换为大气环境，然后再清理玻璃基板300
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，最后再将对位腔室100
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和蒸镀腔室200
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从大气环境切换为真空环境以恢复生产作业。但是此操作会延长玻璃基板300
′
的生产时间，降低生产效率。

技术实现思路

[0005]本专利技术的一个目的在于：提供一种掩膜装置，其能够有效地减少玻璃基板的清理时间，提高生产效率。
[0006]本专利技术的另一个目的在于：提供一种蒸镀设备，其能够有效地减少玻璃基板的清理时间，生产效率和生产良率高。
[0007]为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0008]第一方面，提供一种掩膜装置，包括掩膜版、挡板机构、检测件和第一控制器，所述掩膜版贯穿设置有第一开口，所述第一开口内设置有多个掩膜条，并形成有多个蒸镀区域，所述挡板机构设置在所述掩膜版的下表面，所述挡板机构包括底座、驱动件和挡板，所述底座设置有与所述第一开口连通的第二开口，所述第二开口的侧壁设置有安装槽，所述驱动件和所述挡板均设置在所述安装槽内，所述驱动件与所述挡板连接，以使所述挡板能伸出所述安装槽外并封堵所述第二开口，所述检测件用于检测玻璃基板是否出现破裂和是否脱落，所述检测件和所述驱动件均与所述第一控制器连接。
[0009]作为掩膜装置的一种优选方案，所述驱动件和所述挡板通过传动件连接，所述传
动件包括相啮合的齿轮和齿条，所述齿条的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述驱动件与所述齿轮连接，所述齿条靠近所述第二开口的一端与所述挡板连接。
[0010]作为掩膜装置的一种优选方案，所述安装槽内设置有第一导轨，所述第一导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述齿条滑动设置在所述第一导轨内。
[0011]作为掩膜装置的一种优选方案，所述底座设置有滑槽，所述滑槽的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述挡板凸出设置有凸部，所述凸部滑动设置在所述滑槽内。
[0012]作为掩膜装置的一种优选方案，所述底座设置有第二导轨和滑块，所述第二导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述滑块与所述驱动件连接，以使所述滑块滑动设置在所述第二导轨上，所述挡板包括多个活动板，多个所述活动板首尾相连形成可折叠的所述挡板，所述挡板的一端活动设置在所述安装槽的槽壁上，另一端与所述滑块连接，以驱使所述挡板展开或折叠。
[0013]作为掩膜装置的一种优选方案，所述底座设置有相对的两个所述安装槽，每个所述安装槽内均设置有一个所述挡板机构，两个所述挡板机构中的一个所述挡板设置有凸起，两个所述挡板机构中的另一个所述挡板设置有卡槽，所述凸起能插设在所述卡槽内，以使两个所述挡板拼接并封堵所述第二开口。
[0014]作为掩膜装置的一种优选方案，所述检测件包括声波传感器和红外传感器，所述声波传感器和所述红外传感器均设置在所述掩膜版上，所述声波传感器用于检测所述玻璃基板是否脱落，所述红外传感器用于检测所述玻璃基板是否破裂。
[0015]第二方面，提供一种蒸镀设备，包括对位腔室、蒸镀腔室、输送机构和以上所述的掩膜装置，所述输送机构用于将所述掩膜装置从所述对位腔室输送至所述蒸镀腔室。
[0016]作为蒸镀设备的一种优选方案，还包括第二控制器，所述对位腔室内设置有充电装置，所述充电装置位于所述掩膜装置输送区域的下方，所述挡板机构的下方设置有充电接口，所述充电装置包括本体和升降机构，所述第二控制器与所述升降机构连接，所述升降机构与所述本体连接，以驱使所述本体与所述充电接口连接。
[0017]作为蒸镀设备的一种优选方案，所述对位腔室内还设置有对位组件，所述对位组件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件和所述第二限位件分别设置在垂直于所述掩膜装置输送方向的相对两侧，所述第一限位件和所述第二限位件能分别抵接在所述掩膜装置的相对两侧，以使所述本体与所述充电接口对齐。
[0018]本专利技术的有益效果为：挡板具有第一位置和第二位置，当挡板位于第一位置，驱动件驱使挡板完全缩在安装槽内，能够避免挡板遮挡到玻璃基板的蒸镀区域，以使玻璃基板能够完成蒸镀，当检测件检测到玻璃基板掉落在掩膜版上，驱动件能够自动驱使挡板位于第二位置，以使挡板伸出安装槽外，并封堵在第二开口处，使得挡板能够在玻璃基板脱落前承载掉落的玻璃基板，并能够直接将掩膜装置输送出蒸镀设备外，从而防止玻璃基板掉落在蒸镀设备的内部。
附图说明
[0019]下面根据附图和实施例对本专利技术作进一步详细说明。
[0020]图1为现有技术的蒸镀设备的剖视图。
[0021]图2为本专利技术实施例掩膜装置的立体视图。
[0022]图3为本专利技术实施例掩膜装置的剖视立体图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜装置，其特征在于，包括：掩膜版，所述掩膜版贯穿设置有第一开口，所述第一开口内设置有多个掩膜条，并形成有多个蒸镀区域；检测件，所述检测件用于检测玻璃基板是否出现破裂和是否脱落；挡板机构，所述挡板机构设置在所述掩膜版的下表面，所述挡板机构包括底座、驱动件和挡板，所述底座设置有与所述第一开口连通的第二开口，所述第二开口的侧壁设置有安装槽，所述驱动件和所述挡板均设置在所述安装槽内，所述驱动件与所述挡板连接，以使所述挡板能伸出所述安装槽外并封堵所述第二开口；第一控制器，所述检测件和所述驱动件均与所述第一控制器连接。2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述驱动件和所述挡板通过传动件连接，所述传动件包括相啮合的齿轮和齿条，所述齿条的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述驱动件与所述齿轮连接，所述齿条靠近所述第二开口的一端与所述挡板连接。3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述安装槽内设置有第一导轨，所述第一导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述齿条滑动设置在所述第一导轨内。4.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述底座设置有滑槽，所述滑槽的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述挡板凸出设置有凸部，所述凸部滑动设置在所述滑槽内。5.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述底座设置有第二导轨和滑块，所述第二导轨的长度沿所述挡板的移动方向延伸，所述滑块与所述驱动件连接，以使所述滑块滑动设置在所述第二导轨上，所述挡板包括多个活动板，多个所述活动板首尾相连形成可折叠的所述挡板，所述挡板的一端活动设置在所述安装槽的槽壁上，另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：许灿宏，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：发明
国别省市：