带有室对接系统的移动推车上的协作机器人系统技术方案

一种用于服务半导体工具的机器人系统包括搬运车框架。臂支撑架固定在搬运车框架上，并与机器人臂耦合。臂框架通过铰链在第一端与臂支撑框架连接，在第二端与固定件连接接口连接。该固定件连接接口与半导体工具的对接固定件连接。臂锁定机构连接到臂支撑框架上，用于在臂框架旋转时将臂框架锁定到延伸位置或折叠位置。当臂框架被锁定在延伸位置时，固定件连接接口将搬运车框架与半导体工具连接。连接接口将搬运车框架与半导体工具连接。连接接口将搬运车框架与半导体工具连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有室对接系统的移动推车上的协作机器人系统


[0001]本专利技术的实施方案涉及在半导体制造设施中使用机器人以自动化维护操作的系统和方法。

技术介绍

[0002]衬底在一或多个处理室中经历各种制造操作而产生半导体电子设备。处理模块可以是群集工具的一部分，而群集工具可以是制造设施的一部分。各种制造操作可在单一群集工具内的处理模块中进行。替代地，制造操作中的某些可以在第一群集工具的处理模块中进行，而其他制造操作可以在第二群集工具的处理模块中进行。在设备制造处理中使用处理模块的数目及群集工具的数目，通过一次处理多个衬底又同时确保一致性地维持电子设备的质量，来改善良率。为了维持电子设备的质量的一致性，处理模块必须进行频繁的维护。在某些情况中，维护的频率可取决于处理模块已操作的时数及在处理模块中进行的操作的类型。根据操作的时数及进行的操作的类型，某些处理模块可能需要较频繁的服务(如每月一次、每双周一次、每天一次、特定时间或操作次数后一次等)，但其他处理模块可能需要较不频繁的服务。
[0003]根据用于处理晶片而产生电子设备的制造设施的规模，可能有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种机器人系统，其包含：搬运车框架；臂支撑框架，其被固定至所述搬运车框架，所述臂支撑框架被耦合至用于服务半导体工具的机器人臂；臂框架，其从第一端延伸至第二端，所述第一端通过铰链连接至所述臂支撑框架且所述第二端具有用于连接至所述半导体工具的对接固定件的固定件连接接口，所述铰链使所述臂框架能围绕所述臂支撑框架旋转；以及臂锁定机构，其附接至所述臂支撑框架以用于在所述臂框架旋转至延伸位置或折叠位置时锁定所述臂框架；其中所述固定件连接接口被配置成在所述臂框架被锁定至所述延伸位置中时使所述搬运车框架对准所述半导体工具，所述搬运车框架的所述对准提供所述机器人臂的对应对准。2.根据权利要求1所述的机器人系统，其中所述机器人臂包含被配置成与一或多个末端执行器耦合的末端执行器连接件，每一末端执行器被用于执行特定服务功能。3.根据权利要求1所述的机器人系统，其中所述末端执行器中的一者为螺栓接口，并且所述螺栓接口被配置成根据预定模式以程序化的方式安装多个螺栓。4.根据权利要求1所述的机器人系统，其中所述末端执行器中的一者为清洁附件，并且所述清洁附件被配置成以程序化的方式清洁所述半导体工具的室内的一或多个组件。5.根据权利要求1所述的机器人系统，其还包含：计算机，其被整合至所述搬运车框架中，所述计算机被耦合至用于对所述机器人臂供能的一或多个电源，且所述计算机能程序化以执行重复性日常服务。6.根据权利要求1所述的机器人系统，其还包含：计算机；机器人控制器；交流(AC)电源和直流(DC)电源，所述AC和DC电源被配置成对所述计算机和所述机器人控制器供能；其中所述计算机能程序化以执行重复性日常服务。7.根据权利要求1所述的机器人系统，其中所述铰链包含上铰链和下铰链，所述臂锁定机构被设置于所述上铰链与所述下铰链之间，所述臂框架的所述第一端包含耦合至所述上铰链的上臂旋转枢轴和耦合至所述下铰链的下臂旋转枢轴；其中所述臂锁定机构包含固定至所述下臂旋转枢轴的下安装固定件和在脱离位置与啮合位置之间滑动的上安装固定件，其中所述啮合位置将所述臂框架锁定至所述延伸位置或所述折叠位置中的一者中。8.根据权利要求7所述的机器人系统，其中所述上安装固定件包含成对球形锁，在所述臂框架被锁定至所述延伸位置中时，所述成对球形锁配合进入所述下安装固定件的延伸的沟槽锁中，而在所述臂框架被锁定至所述折叠位置中时，所述成对球形锁配合进入所述下安装固定件的折叠的沟槽锁中。9.根据权利要求8所述的机器人系统，其中延伸的沟槽锁包含侧壁和所述臂锁定机构的滑板，所述侧壁用于在所述臂框架被锁定至所述延伸位置中时对准所述臂框架，所述滑
板与所述侧壁组合协助所述臂框架的运动对准。10.根据权利要求7所述的机器人系统，其中所述上安装固定件包含：滑板，其附接至所述臂支撑框架；连接件板，其安装至所述滑板；和锁定板，其附接至所述连接件板的底端且垂直于所述连接件板设置，所述成对球形锁被设置于所述锁定板的底表面上且被定位成彼此相对。11.根据权利要求7所述的机器人系统，其中所述延伸的沟槽锁正交于所述折叠的沟槽锁设置。12.根据权利要求1所述的机器人系统，其中所述搬运车框架包含用于接收一或多个末端执行器的一或多个储存设备，所述一或多个末端执行器用于进行特定的服务功能。13.根据权利要求1所述的机器人系统，其中所述臂支撑框架是A形框架。14.一种机器人系统，其包含：搬运车框架；臂框架，其从第一端延伸至第二端，所述第一端通过铰链连接且所述第二端具有用于连接至半导体工具的对接固定件的固定件连接接口，所述铰链使所述臂框架能水平旋转，其中机器人连接至所述臂框架的所述第二端处；以及臂锁定机构，其用于在所述臂框架旋转至延伸位置或折叠位置时锁定所述臂框架；其中所述固定件连接接口被配置成在所述臂框架被锁定至所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：维塔利，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：