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一种用于服务半导体工具的机器人系统包括搬运车框架。臂支撑架固定在搬运车框架上，并与机器人臂耦合。臂框架通过铰链在第一端与臂支撑框架连接，在第二端与固定件连接接口连接。该固定件连接接口与半导体工具的对接固定件连接。臂锁定机构连接到臂支撑框架上...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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