矫正装置以及硅片输送设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种矫正装置以及硅片输送设备，其中矫正装置包括：执行机构以及驱动机构。执行机构包括两个移动件以及多个矫正组，两个移动件沿第一方向延伸，并沿第二方向并列设置，第一方向垂直于第二方向，多个矫正组沿第一方向分布，矫正组包括两个抵持组件，抵持组件包括抵持件，各矫正组的两个抵持组件的抵持件分别连接于两个移动件，并沿第一方向相向设置；驱动机构包括驱动元件，驱动元件连接两个移动件，以驱动两个移动件沿第一方向相对移动，以使各矫正组的两个抵持组件的抵持件相互靠近或远离。应用于硅片输送设备时，能够同时矫正多个输送件上的硅片，提高工作效率，且无需设置多个驱动元件，使得结构更加简单，成本更低。成本更低。成本更低。

【技术实现步骤摘要】
矫正装置以及硅片输送设备


[0001]本技术涉及机械加工
，特别涉及一种矫正装置以及硅片输送设备。

技术介绍

[0002]硅片在皮带线上的传输更容易歪斜，从而造成堵片，碎片，影响设备产能，造成不必要的经济损失。在相关技术中，硅片校正多为每通道硅片单独校正，每通道由单独的动力源驱动执行机构往复运动，实现硅片的矫正，使得设备整体结构复杂，成本高。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种矫正装置，能够用于硅片输送中多轨道同时矫正，结构简单，成本低。
[0004]本技术还提供了一种包括上述矫正装置的硅片输送设备。
[0005]根据本技术的第一方面实施例的矫正装置，包括：
[0006]执行机构，包括两个移动件以及多个矫正组，两个所述移动件沿第一方向延伸，并沿第二方向并列设置，所述第一方向垂直于所述第二方向，多个所述矫正组沿第一方向分布，所述矫正组包括两个抵持组件，所述抵持组件包括抵持件，各所述矫正组的两个所述抵持组件的所述抵持件分别连接于两个所述移动件，并沿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.矫正装置，其特征在于，包括：执行机构，包括两个移动件以及多个矫正组，两个所述移动件沿第一方向延伸，并沿第二方向并列设置，所述第一方向垂直于所述第二方向，多个所述矫正组沿第一方向分布，所述矫正组包括两个抵持组件，所述抵持组件包括抵持件，各所述矫正组的两个所述抵持组件的所述抵持件分别连接于两个所述移动件，并沿所述第一方向相向设置；驱动机构，包括驱动元件，所述驱动元件连接两个所述移动件，以驱动两个所述移动件沿第一方向相对移动，以使各所述矫正组的两个所述抵持组件的所述抵持件相互靠近或远离。2.根据权利要求1所述的矫正装置，其特征在于，所述抵持组件还包括过渡件，所述过渡件沿第二方向延伸，所述过渡件连接于所述移动件，沿所述第二方向，所述过渡件上连接有多个抵持件。3.根据权利要求2所述的矫正装置，其特征在于，所述抵持件可拆卸地连接于所述过渡件。4.根据权利要求2所述的矫正装置，其特征在于，所述抵持组件还包括多个锁紧件，沿所述第二方向，所述抵持组件的多个所述抵持件中至少首位的所述抵持件，与末位的抵持件能够相对所述过渡件沿所述第二方向活动，并通过所述锁紧件锁紧于所述过渡件，以调节首位的所述抵持件与末位的所述抵持件沿所述第二方向的间距。5.根据权利要求4所述的矫正装置，其特征在于，所述过渡件设置有连接孔，所述锁紧件穿设于所述连接孔，并与所述抵持件螺纹连接；沿所述第二方向，所述过渡件间隔设置有多个所述连接孔，所述连接孔的数量大于所述抵持件的数量；或者，所述连接孔具有沿第二方向延伸的轮廓。6.根据权利要求2或4所述的矫正装置，其特征在于，所述矫正组的两个所述抵...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，谭孟东，汪林，邓金生，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：