下载矫正装置以及硅片输送设备的技术资料

文档序号:37127951

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本实用新型公开了一种矫正装置以及硅片输送设备,其中矫正装置包括:执行机构以及驱动机构。执行机构包括两个移动件以及多个矫正组,两个移动件沿第一方向延伸,并沿第二方向并列设置,第一方向垂直于第二方向,多个矫正组沿第一方向分布,矫正组包括两个抵持...
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