一种磷化铟炉体电动翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体、炉架和电动翻转系统，所述炉体安装于炉架上，所述电动翻转系统固定于炉架一侧，电动翻转系统包括翻转机构、减速电机、伺服电机、限位板、行程开关以及行程开关撞板，所述减速电机内部设置有第一传动轴，所述伺服电机内部设有第二传动轴，所述第二传动轴输出端与减速电机输入端连接，通过伺服电机及减速电机组合实现炉体在竖直和水平之间进行切换，在运动过程中加入电气限位及机械限位，相较于传统翻转装置，更加精确且稳定安全，便于装炉和开炉，减轻操作人员的工作量，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种磷化铟炉体电动翻转装置


[0001]本技术涉及炉体结构
，尤其涉及一种磷化铟炉体电动翻转装置。

技术介绍

[0002]国家在开展第十四个五年规划中强调要加快数字发展，建设数字中国，而要加强数字创新的运用，首当其冲的便是聚焦高端芯片等核心材料的开发。磷化铟作为一种具电子飘逸速度高、抗辐射能力强、光电转换效率高的材料，在5G通信、数据中心、新一代显示、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备、航天等领域具有广阔的应用空间。
[0003]磷化铟单晶制备技术要求高，目前能够批量化生产单晶的技术主要是垂直温度梯度凝固法(VGF)和垂直布里奇曼法(VB)。美国AXT公司与日本住友运用VGF与VB技术，生产出直径150mm的磷化铟单晶。国内磷化铟制备起步较晚，与国际水平存在较大的差距，同时由于产业规模较小，国内大尺寸磷化铟晶片产能不足。
[0004]磷化铟单晶的质量，很大程度上取决于是否可靠的装置以及规范的操作。目前，国内磷化铟单晶炉如图5所示，该磷化铟单晶炉依靠吊装设备操作实现磷化铟晶体炉的翻转，实际操作费事费力效率低下，且有概率由于操作不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体(3)、炉架(2)和电动翻转系统(1)，所述炉体(3)安装于炉架(2)上，其特征在于，所述电动翻转系统(1)固定于炉架(2)一侧，电动翻转系统(1)包括翻转机构(12)、减速电机(13)、伺服电机(18)、手轮(16)、电机固定架(17)、限位板(19)、第一行程开关(10)以及行程开关撞板(11)，所述减速电机(13)内部设置有第一传动轴(14)，所述伺服电机(18)内部设有第二传动轴，所述第二传动轴输出端与减速电机(13)输入端连接。2.根据权利要求1所述的一种磷化铟炉体电动翻转装置，其特征在于，所述炉体(3)上设有炉体侧板(31)。3.根据权利要求2所述的一种磷化铟炉体电动翻转装置，其特征在于，所述炉架(2)两侧各设有一块炉架侧板，所述炉架侧板包括第一炉架侧板(21)与第二炉架侧板(22)，所述减速电机(13)通过第一螺栓(15)固定于第一炉架侧板(21)上。4.根据权利要求3所述的一种磷化铟炉...

【专利技术属性】
技术研发人员：张华芹，韩磊，肖喻丰，
申请(专利权)人：上海韵申新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：