本实用新型专利技术提供了一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体、炉架和电动翻转系统，所述炉体安装于炉架上，所述电动翻转系统固定于炉架一侧，电动翻转系统包括翻转机构、减速电机、伺服电机、限位板、行程开关以及行程开关撞板，所述减速电机内部设置有第一传动轴，所述伺服电机内部设有第二传动轴，所述第二传动轴输出端与减速电机输入端连接，通过伺服电机及减速电机组合实现炉体在竖直和水平之间进行切换，在运动过程中加入电气限位及机械限位，相较于传统翻转装置，更加精确且稳定安全，便于装炉和开炉，减轻操作人员的工作量，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。
【技术实现步骤摘要】
一种磷化铟炉体电动翻转装置
[0001]本技术涉及炉体结构
，尤其涉及一种磷化铟炉体电动翻转装置。
技术介绍
[0002]国家在开展第十四个五年规划中强调要加快数字发展，建设数字中国，而要加强数字创新的运用，首当其冲的便是聚焦高端芯片等核心材料的开发。磷化铟作为一种具电子飘逸速度高、抗辐射能力强、光电转换效率高的材料，在5G通信、数据中心、新一代显示、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备、航天等领域具有广阔的应用空间。
[0003]磷化铟单晶制备技术要求高，目前能够批量化生产单晶的技术主要是垂直温度梯度凝固法(VGF)和垂直布里奇曼法(VB)。美国AXT公司与日本住友运用VGF与VB技术，生产出直径150mm的磷化铟单晶。国内磷化铟制备起步较晚，与国际水平存在较大的差距，同时由于产业规模较小，国内大尺寸磷化铟晶片产能不足。
[0004]磷化铟单晶的质量，很大程度上取决于是否可靠的装置以及规范的操作。目前，国内磷化铟单晶炉如图5所示，该磷化铟单晶炉依靠吊装设备操作实现磷化铟晶体炉的翻转，实际操作费事费力效率低下，且有概率由于操作不当导致磷化铟单晶受损。
技术实现思路
[0005]鉴于目前国内磷化铟单晶炉依靠吊装设备操作实现磷化铟晶体炉的翻转，实际操作费事费力效率低下，且有概率由于操作不当导致磷化铟单晶受损的问题，本技术专利提供一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体、炉架和电动翻转系统，炉体安装于炉架上，电动翻转系统固定于炉架一侧，电动翻转系统包括翻转机构、减速电机、伺服电机等，通过伺服电机与减速电机组合驱动，实现炉体稳定翻转，减少人员操作带来的不确定因素，保证磷化铟单晶出品的质量。
[0006]为达到上述目的，本技术的实施例采用如下技术方案：
[0007]一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体、炉架和电动翻转系统，所述炉体安装于炉架上，所述电动翻转系统固定于炉架一侧，电动翻转系统包括翻转机构、减速电机、伺服电机、手轮、电机固定架、限位板、行程开关以及行程开关撞板，所述减速电机内部设置有第一传动轴，所述伺服电机内部设有第二传动轴，所述第二传动轴输出端与减速电机输入端连接。
[0008]依照本技术的一个方面，所述炉体上设有炉体侧板。
[0009]依照本技术的一个方面，所述炉架两侧各设有一块炉架侧板，所述炉架侧板包括第一炉架侧板与第二炉架侧板，所述减速电机通过第一螺栓固定于第一炉架侧板上。
[0010]依照本技术的一个方面，所述翻转机构通过紧固件安装于炉架侧板上。
[0011]依照本技术的一个方面，所述手轮通过紧固件固定于所述减速电机第一传动轴输入端。
[0012]依照本技术的一个方面，所述电机固定架通过紧固件固定于所述减速电机
上。
[0013]依照本技术的一个方面，所述第一行程开关通过螺纹连接固定于第二炉架侧板上。
[0014]依照本技术的一个方面，所述第二炉架侧板上还安装有第二行程开关。
[0015]依照本技术的一个方面，所述行程开关撞板通过螺纹连接固定于炉体侧板上。
[0016]依照本技术的一个方面，所述限位板通过螺栓固定连接于第二炉架侧板上。
[0017]本技术实施的优点：本技术提供了一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体、炉架和电动翻转系统，所述炉体安装于炉架上，所述电动翻转系统固定于炉架一侧，电动翻转系统包括翻转机构、减速电机、伺服电机、限位板、行程开关以及行程开关撞板，所述减速电机内部设置有第一传动轴，所述伺服电机内部设有第二传动轴，所述第二传动轴输出端与减速电机输入端连接，通过伺服电机及减速电机组合实现炉体在竖直和水平之间进行切换，在运动过程中加入电气限位及机械限位，相较于传统翻转装置，更加精确且稳定安全，便于装炉和开炉，减轻操作人员的工作量，提高生产效率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术的一种带电动翻转装置的磷化铟晶体生长炉整体结构示意图；
[0020]图2为本技术的一种电动翻转系统装配示意图；
[0021]图3为本技术的一种减速电机、炉架连接剖面图；
[0022]图4为本技术的一种行程开关与限位块侧立体结构示意图；
[0023]图5为本技术
技术介绍
所述的一种磷化铟晶体生长炉整体结构示意图。
[0024]图中序号对应名称如下：
[0025]1、电动翻转系统；10、第一行程开关；11、行程开关撞板；12、翻转机构；13、减速电机；14、第一传动轴；15、第一螺栓；16、手轮；17、电机固定架；18、伺服电机；19、限位板；2、炉架；21、第一炉架侧板；22、炉架侧板；3、炉体；31、炉体侧板。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]如图1、图2、图3及图4所示，一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体3、炉架2和电动翻转系统1，所述炉体3安装于炉架2上，所述电动翻转系统1固定于炉架2一侧，电动翻转系统1包括翻转机构12、减速电机13、伺服电机18、手轮16、电机固定架17、限位板19、第一行程开关10以及行程开关撞板11，所述减速电机13内部设置有第一传动轴14，所述伺服电机
18内部设有第二传动轴，所述第二传动轴输出端与减速电机13输入端连接。
[0028]在实际应用中，炉体3上设有炉体侧板31。
[0029]在实际应用中，炉架2两侧各设有一块炉架侧板，包括第一炉架侧板21与第二炉架侧板22，所述减速电机13通过第一螺栓15固定于第一炉架侧板21上。
[0030]在实际应用中，翻转机构12通过紧固件安装于炉架侧板上。
[0031]在实际应用中，手轮16通过紧固件固定于所述减速电机13第一传动轴14输入端，在停电或电机故障时，可以通过手轮16手动调节进行炉体翻转。
[0032]在实际应用中，电机固定架17通过紧固件固定于所述减速电机13上，伺服电机18通过螺栓连接固定在电机固定架17上。
[0033]在实际应用中，伺服电机18电力驱动，通过第二传动轴输出端与减速电机13的输入端连接，精确控制转动速度与停止位置。
[0034]在实际应用中，第二传动轴作为过渡轴。
[0035]在实际应用中，减速电机13受到来自伺服电机18传递的力矩后，进行转换，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体(3)、炉架(2)和电动翻转系统(1)，所述炉体(3)安装于炉架(2)上，其特征在于，所述电动翻转系统(1)固定于炉架(2)一侧，电动翻转系统(1)包括翻转机构(12)、减速电机(13)、伺服电机(18)、手轮(16)、电机固定架(17)、限位板(19)、第一行程开关(10)以及行程开关撞板(11)，所述减速电机(13)内部设置有第一传动轴(14)，所述伺服电机(18)内部设有第二传动轴，所述第二传动轴输出端与减速电机(13)输入端连接。2.根据权利要求1所述的一种磷化铟炉体电动翻转装置，其特征在于，所述炉体(3)上设有炉体侧板(31)。3.根据权利要求2所述的一种磷化铟炉体电动翻转装置，其特征在于，所述炉架(2)两侧各设有一块炉架侧板，所述炉架侧板包括第一炉架侧板(21)与第二炉架侧板(22)，所述减速电机(13)通过第一螺栓(15)固定于第一炉架侧板(21)上。4.根据权利要求3所述的一种磷化铟炉...
【专利技术属性】
技术研发人员：张华芹，韩磊，肖喻丰，
申请(专利权)人：上海韵申新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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