一种定向生长炉二次加料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种定向生长炉二次加料装置，包括真空储料罐、导料管、手动闸板阀，所述真空储料罐通过支撑件固定，真空储料罐底端通过导料管连接送料器，导料管上设有手动闸板阀，真空储料罐及导料管内壁均喷涂有聚四氟乙烯层。本申请能够有效降低装置对于原料的金属污染，同时通过合理设计，原料依靠重力就能自由落料，达到无其它动力辅助就能够自由下料；能够避免设备装置对原料在加装过程中的二次污染，很大程度上保持了原料的纯度；手动闸板阀通过特殊喷涂处理，使手动阀在工作时操作方便，不对原料造成污染，且能通过阀体精密标尺达到精准控制；而且本申请装置结构简单，易于拆卸组装，寿命高，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种定向生长炉二次加料装置


[0001]本技术涉及单晶硅制备领域，具体涉及一种定向生长炉二次加料装置。

技术介绍

[0002]二次加料技术是目前单晶制备中增加投料量的关键技术，行业中普遍采用，二次加料技术的核心为二次加料装置。
[0003]现有技术的二次加料装置，内部均未采取任何阻隔金属污染的措施，使得装置对原料造成金属污染。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种定向生长炉二次加料装置，有效地解决了现有技术中二次加料装置易对原料造成金属污染的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案实现：
[0006]一种定向生长炉二次加料装置，包括真空储料罐、导料管、手动闸板阀，所述真空储料罐通过支撑件固定，真空储料罐底端通过导料管连接送料器，导料管上设有手动闸板阀，真空储料罐及导料管内壁均喷涂有聚四氟乙烯层。
[0007]作为上述方案的优选，所述真空储料罐顶部通过过渡连接件连接加料器，过渡连接件内也喷涂有聚四氟乙烯层。
[0008]作为上述方案的优选，所述真空储料罐连接有真空检测件。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定向生长炉二次加料装置，其特征在于：包括真空储料罐、导料管、手动闸板阀，所述真空储料罐通过支撑件固定，真空储料罐底端通过导料管连接送料器，导料管上设有手动闸板阀，真空储料罐及导料管内壁均喷涂有聚四氟乙烯层。2.根据权利要求1所述的一种定向生长炉二次加料装置，其特征在于：所述真空储料罐顶部通过过渡连接件连接加料器，过渡连接件内也喷涂有聚四氟乙烯层。3.根据权利要求1所述的一种定向生长炉二次加料装置，其特征在于：所述真空储料罐连接有真空检测件。4.根据权利要求1所述的一种定向生长炉二次加料装置，其特征在于：所述真空储料罐顶部设有进出气口和真空抽气接口，真空抽气接口处设有抽气阀。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建功，刘立新，杜农涛，王明哲，颜宇力，
申请(专利权)人：吉利硅谷谷城科技有限公司，
类型：新型
国别省市：