一种定向生长炉二次加料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种定向生长炉二次加料装置，包括真空储料罐、导料管、手动闸板阀，所述真空储料罐通过支撑件固定，真空储料罐底端通过导料管连接送料器，导料管上设有手动闸板阀，真空储料罐及导料管内壁均喷涂有聚四氟乙烯层。本申请能够有效降低装置对于原料的金属污染，同时通过合理设计，原料依靠重力就能自由落料，达到无其它动力辅助就能够自由下料；能够避免设备装置对原料在加装过程中的二次污染，很大程度上保持了原料的纯度；手动闸板阀通过特殊喷涂处理，使手动阀在工作时操作方便，不对原料造成污染，且能通过阀体精密标尺达到精准控制；而且本申请装置结构简单，易于拆卸组装，寿命高，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种定向生长炉二次加料装置


[0001]本技术涉及单晶硅制备领域，具体涉及一种定向生长炉二次加料装置。

技术介绍

[0002]二次加料技术是目前单晶制备中增加投料量的关键技术，行业中普遍采用，二次加料技术的核心为二次加料装置。
[0003]现有技术的二次加料装置，内部均未采取任何阻隔金属污染的措施，使得装置对原料造成金属污染。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种定向生长炉二次加料装置，有效地解决了现有技术中二次加料装置易对原料造成金属污染的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案实现：
[0006]一种定向生长炉二次加料装置，包括真空储料罐、导料管、手动闸板阀，所述真空储料罐通过支撑件固定，真空储料罐底端通过导料管连接送料器，导料管上设有手动闸板阀，真空储料罐及导料管内壁均喷涂有聚四氟乙烯层。
[0007]作为上述方案的优选，所述真空储料罐顶部通过过渡连接件连接加料器，过渡连接件内也喷涂有聚四氟乙烯层。
[0008]作为上述方案的优选，所述真空储料罐连接有真空检测件。
[0009]作为上述方案的优选，所述真空储料罐顶部设有进出气口和真空抽气接口，真空抽气接口处设有抽气阀。
[0010]作为上述方案的优选，所述真空储料罐上设有压力表。
[0011]作为上述方案的优选，所述真空储料罐包括真空罐罐体，真空罐罐体顶端设有罐盖，真空罐罐体和罐盖通过带真空密封法兰的铰链连接，并通过压紧螺栓锁紧。
[0012]作为上述方案的优选，所述罐盖上设有在真空下正常观察的视窗。
[0013]作为上述方案的优选，所述支撑件包括由下到上依次连接的调整螺杆、安装柱、支撑柱。
[0014]作为上述方案的优选，所述送料器通过定位块定位安装。
[0015]由于具有上述结构，本技术的有益效果在于：
[0016]通过在真空储料罐、导料管、加料器内壁喷涂聚四氟乙烯层，能够有效降低装置对于原料的金属污染，同时聚四氟乙烯层材质自带柔性且耐高温，通过合理设计，原料依靠重力就能自由落料，达到无其它动力辅助就能够自由下料；能够避免设备装置对原料在加装过程中的二次污染，很大程度上保持了原料的纯度；加料器上通过安装红外测温仪和机械液面探测机构，通过加料器可以达到方便使用的效果；氩气通过加料器进入炉内时，加料器达到稳定氩气流动方向，流速均匀；手动闸板阀通过特殊喷涂处理，使手动阀在工作时操作方便，不对原料造成污染，且能通过阀体精密标尺达到精准控制；本申请装置结构简单，易
于拆卸组装，寿命高，成本低。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0018]图1为本技术的结构示意图；
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术的附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如图1所示，本实施例提供一种定向生长炉二次加料装置，包括真空储料罐、导料管6、手动闸板阀7，所述真空储料罐通过支撑件固定，支撑件现场配焊，真空储料罐底端通过导料管6连接送料器8，导料管6上设有DN50手动闸板阀7，通过闸板阀7的开度大小控制管道开度，真空储料罐及导料管6内壁均喷涂有聚四氟乙烯层。
[0021]在本实施例中，所述真空储料罐顶部通过过渡连接件连接加料器(图中未显示)，过渡连接件内也喷涂有聚四氟乙烯层，聚四氟乙烯内衬厚度大于1mm。而且加料器上安装有红外测温仪和机械液面探测机构，通过加料器可以达到方便使用的效果；氩气通过加料器进入炉内时，加料器达到稳定氩气流动方向，流速均匀。
[0022]在本实施例中，所述真空储料罐连接有真空检测件(图中未显示)，真空检测件可采用电子真空计。
[0023]在本实施例中，所述真空储料罐顶部设有进出气口5和两处KF16真空抽气接口，真空抽气接口处设有抽气阀。
[0024]在本实施例中，所述真空储料罐上设有压力表，便于观察真空度。
[0025]在本实施例中，所述真空储料罐包括真空罐罐体1，真空罐罐体1顶端设有罐盖2，真空罐罐体1和罐盖2通过带真空密封法兰的铰链连接，并通过压紧螺栓3锁紧。真空罐壁厚5
‑
6mm，内壁喷涂聚四氟乙烯层，层厚大于1mm，耐温200℃以上，且无脱落；真空储料罐单次最大装料200kg，极限真空≤5Pa，保压12小时，漏率小于5pa/min。
[0026]在本实施例中，所述罐盖2上设有在真空下正常观察的视窗4，可观察到罐内的变化情况。
[0027]在本实施例中，所述支撑件包括由下到上依次连接的调整螺杆9、安装柱10、支撑柱。
[0028]在本实施例中，所述送料器8通过定位块12定位安装。
[0029]在本实施例中，所述导料管6采用DN50厚度5mm的304不锈钢管。
[0030]上述结构的工作步骤原理：
[0031]1.按设备的正常操作，打开顶部罐盖2，将200kg左右的料通过顶部法兰口将料装入罐内。装料结束后，关闭顶部法兰，进入待启动状态。关闭进出气口5，打开真空抽气接口，开始抽真空，达到真空度≤5Pa后，关闭抽气阀。
[0032]2.真空值达到要求后，先开启设备加热，带设备内料融化至半溶状态，液面下降
后，打开加料器，将料缓慢加入真空储料罐。
[0033]3.当真空储料罐内粉料全部加入后，关闭手动插板阀7。
[0034]以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定向生长炉二次加料装置，其特征在于：包括真空储料罐、导料管、手动闸板阀，所述真空储料罐通过支撑件固定，真空储料罐底端通过导料管连接送料器，导料管上设有手动闸板阀，真空储料罐及导料管内壁均喷涂有聚四氟乙烯层。2.根据权利要求1所述的一种定向生长炉二次加料装置，其特征在于：所述真空储料罐顶部通过过渡连接件连接加料器，过渡连接件内也喷涂有聚四氟乙烯层。3.根据权利要求1所述的一种定向生长炉二次加料装置，其特征在于：所述真空储料罐连接有真空检测件。4.根据权利要求1所述的一种定向生长炉二次加料装置，其特征在于：所述真空储料罐顶部设有进出气口和真空抽气接口，真空抽气接口处设有抽气阀。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建功，刘立新，杜农涛，王明哲，颜宇力，
申请(专利权)人：吉利硅谷谷城科技有限公司，
类型：新型
国别省市：