一种控温运动台制造技术

本申请涉及移动装置技术领域，尤其涉及一种控温运动台，包括滑动件、底座、控温装置、辅助冷却组件和驱动装置；驱动装置与滑动件传动连接，滑动件与底座滑动连接；滑动件与底座能够围合形成安装腔体；驱动装置容置于安装腔体内，驱动装置与底座固定连接；驱动装置至少部分设置于控温装置的有效控温区域内，控温装置设置于辅助冷却组件的有效冷却区域内；本申请通过将驱动装置至少部分设置于控温装置的有效控温区域内，能够有效控制驱动装置在工作过程中产生的温度变化，进而快速调控至理想工作温度范围内；并通过将控温装置设置于辅助冷却组件的有效冷却区域内，能够将控温装置产生的热量快速传导至外界，进而实现了运动台的快速精准控温。精准控温。精准控温。

【技术实现步骤摘要】
一种控温运动台


[0001]本申请涉及移动装置
，尤其涉及一种控温运动台。

技术介绍

[0002]定位精度对于高精密运动台至关重要，而运动台在运动过程中会产生温升，温度变化会直接影响运动台的定位精度，造成定位偏差。
[0003]在现有技术中，普遍采用通气冷却或者通水冷却的方式对运动台的工作温度进行控制，但由于两种方法的温度调控过程较慢，无法实现运动台的快速温控，且温控精度差，进而降低运动台的定位精度。因此，需提供一种改进的控温运动台，以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]为了解决上述现有技术存在的问题，本申请提供一种控温运动台，包括滑动件、底座、控温装置、辅助冷却组件和驱动装置；所述驱动装置与所述滑动件传动连接，所述滑动件与所述底座滑动连接；所述滑动件与所述底座能够围合形成安装腔体；所述驱动装置容置于所述安装腔体内，所述驱动装置与所述底座固定连接；所述驱动装置至少部分设置于所述控温装置的有效控温区域内，所述控温装置设置于所述辅助冷却组件的有效冷却区域内。
[0005]进一步地，所述滑动件与所述底座间设有间隙；所述滑动件和/或所述底座设置有充气通道，所述充气通道的一端与外部充气装置的出气端连通，所述充气通道的出气口开设于所述滑动件和/或所述底座的壁面上；所述外部充气装置向所述充气通道内输入气体的状态下，所述滑动件和底座之间能够形成气膜。
[0006]进一步地，所述驱动装置包括固定件和驱动件，所述固定件与所述底座固定连接；所述驱动件置于所述固定件的上方，所述驱动件与所述固定件之间存有间隙。
[0007]进一步地，控温装置包括半导体制冷器和温度控制器，所述半导体制冷器的一侧与所述驱动件固定连接，所述半导体制冷器的另一侧与所述辅助冷却组件固定连接；所述温度控制器与所述半导体制冷器电连接。
[0008]进一步地，所述辅助冷却组件包括冷却固定件和冷却循环管路；所述冷却循环管路与所述冷却固定件固定连接，所述冷却固定件与所述滑动件固定连接，所述冷却固定件与所述控温装置固定连接。
[0009]进一步地，所述驱动装置为无磁钢直线电机。
[0010]进一步地，所述控温运动台还包括位移检测元件和位置识别传感装置；所述滑动件的侧壁和所述底座的侧壁上，二者择一的设置有所述位移检测元件，另一与所述位置识别传感装置固定连接；所述位移检测元件设置于所述位置识别传感装置的识别区域内。
[0011]进一步地，所述滑动件和所述底座上，二者择一地设置有滑槽，另一设置有与所述滑槽匹配的滑轨；所述滑槽和所述滑轨二者择一设置有所述位移检测元件，另一与所述位置识别传感装置固定连接。
[0012]进一步地，所述位移检测元件为光栅尺，所述光栅尺刻蚀于所述滑槽或滑轨的侧壁上。
[0013]进一步地，所述滑轨采用殷钢材质制成。
[0014]进一步地，所述位移检测元件包括多个刻度线结构，所述多个刻度线结构为双排交错布置。
[0015]进一步地，所述控温运动台还包括安装支架，所述安装支架与所述滑动件的侧壁或所述底座的侧壁固定连接，所述位置识别传感装置与所述安装支架固定连接；所述安装支架上设置有调节孔，所述安装支架能够通过所述调节孔调节所述位置识别传感装置与所述位移检测元件之间的距离。
[0016]进一步地，所述控温运动台还包括限位组件，所述限位组件设置于所述滑动件的滑动方向上，能够限制所述滑动件在所述滑动方向上的运动行程。
[0017]本申请提供的一种控温运动台，至少具有如下有益效果：
[0018]1、本申请中通过设置控温装置，并将驱动装置至少部分设置于控温装置的有效控温区域内，能够有效控制驱动装置在工作过程中产生的温度变化，进而快速调控至理想工作温度范围内；并且，通过设置辅助冷却组件，将控温装置设置于辅助冷却组件的有效冷却区域内，能够将控温装置产生的热量快速传导至外界，进而实现了运动台的快速精准控温。
[0019]2、本申请中在滑动件与底座间设有间隙，并在滑动件和/或底座上设置有充气通道，在外部充气装置向充气通道内输入气体的状态下，滑动件和底座之间能够形成气膜，提高了滑动件相对底座滑动的运动稳定性，同时避免滑动件与底座的滑动过程中，由于摩擦产生的磨损，进而提高了运动台的应用性能和使用寿命，满足了运动台的高速稳定运动要求和运动灵敏性要求。
[0020]3、本申请中设置位移检测元件和位置识别传感装置，滑动件的侧壁和底座的侧壁上，二者择一的设置有位移检测元件，另一与位置识别传感装置固定连接，并且位移检测元件设置于位置识别传感装置的识别区域内，能够对滑动件或底座的移动位置进行精准定位，进而保证了运动台的定位精度。
[0021]4、本申请中位移检测元件为光栅尺，光栅尺刻蚀于采用殷钢材质制成的滑槽或滑轨的侧壁上，保证了光栅尺与滑槽或滑轨的材质相同，以使两者的热变形系数相同，即随温度变化的形变量一致，进而减少了温度变化对运动台的定位精度的影响；并且，通过将光栅尺刻蚀于滑槽或滑轨上，使得运动台的结构更加紧凑，降低了运动台整体的空间占用和装配难度。
[0022]5、本申请中位移检测元件包括多个刻度线结构，通过将多个刻度线结构双排交错布置，有效减小栅距，在同等分辨率下，能够减少位置识别传感装置的细分误差，提高位置识别传感装置的抗干扰能力和位置反馈精度，从而提高了位置识别传感装置对位移检测元件的识别精确度，显著提高运动台的定位精度。
[0023]6、本申请中通过增设限位组件，将限位组件设置于滑动件的滑动方向上，从而限制了滑动件在滑动方向上的运动行程，防止滑动件过度移动而脱出底座，提高了运动台的运动安全性。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案和优点，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
[0025]图1为本申请实施例提供的一种控温运动台的结构示意图；
[0026]图2为本申请实施例提供的一种控温运动台的整体结构爆炸图；
[0027]图3为本申请实施例提供的一种控温运动台的主视图；
[0028]图4为本申请实施例提供的一种控温运动台的整体的侧视图；
[0029]图5为图4中A部分的局部放大图；
[0030]图6为安装支架的结构示意图；
[0031]图7为本申请实施例提供的一种控温运动台的整体结构示意图；
[0032]其中，图中附图标记对应为：
[0033]1‑
滑动件，2
‑
底座，3
‑
控温装置，4
‑
辅助冷却组件，5
‑
驱动装置，6
‑
安装腔体，7
‑
位移检测元件，8
‑
位置识别传感装置，9
‑
限位组件，1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种控温运动台，其特征在于，包括：滑动件(1)、底座(2)、控温装置(3)、辅助冷却组件(4)和驱动装置(5)；所述驱动装置(5)与所述滑动件(1)传动连接，所述滑动件(1)与所述底座(2)滑动连接；所述滑动件(1)与所述底座(2)能够围合形成安装腔体(6)；所述驱动装置(5)容置于所述安装腔体(6)内，所述驱动装置(5)与所述底座(2)固定连接；所述驱动装置(5)至少部分设置于所述控温装置(3)的有效控温区域内，所述控温装置(3)设置于所述辅助冷却组件(4)的有效冷却区域内。2.根据权利要求1所述的一种控温运动台，其特征在于，所述滑动件(1)与所述底座(2)间设有间隙；所述滑动件(1)和/或所述底座(2)设置有充气通道，所述充气通道的一端与外部充气装置的出气端连通，所述充气通道的出气口开设于所述滑动件(1)和/或所述底座(2)的壁面上；所述外部充气装置向所述充气通道内输入气体的状态下，所述滑动件(1)和所述底座(2)之间能够形成气膜。3.根据权利要求1所述的一种控温运动台，其特征在于，所述驱动装置(5)包括固定件(51)和驱动件(52)，所述固定件(51)与所述底座(2)固定连接；所述驱动件(52)置于所述固定件(51)的上方，所述驱动件(52)与所述固定件(51)之间存有间隙。4.根据权利要求3所述的一种控温运动台，其特征在于，所述控温装置(3)包括半导体制冷器(31)和温度控制器(32)，所述半导体制冷器(31)的一侧与所述驱动件(52)固定连接，所述半导体制冷器(31)的另一侧与所述辅助冷却组件(4)固定连接；所述温度控制器(32)与所述半导体制冷器(31)电连接。5.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的一种控温运动台，其特征在于，所述辅助冷却组件(4)包括冷却固定件(41)和冷却循环管路(42)；所述冷却循环管路(42)与所述冷却固定件(41)固定连接，所述冷却固定件(41)与所述滑动件(1)固定连接，所述冷却固定件(41)与所述控温装置(3)固定连接。6.根据权利要求1

【专利技术属性】
技术研发人员：高尧，黄金勇，
申请(专利权)人：苏州爱默科技有限公司，
类型：新型
国别省市：