本申请涉及自动检测技术领域，尤其涉及一种自动检测对位装置，包括载物装置、调整组件、扫描识别组件、驱动装置和控制装置；控制装置分别与调整组件、扫描识别组件和驱动装置电连接；驱动装置分别与载物装置和调整组件传动连接；载物装置与调整组件固定连接；扫描识别组件设置于载物装置的上方，初始化状态下，扫描识别组件的聚焦轴线与载物装置的轴线同轴；本申请通过控制装置促使驱动装置带动调整组件作旋转、摆动和/或平移运动，进而实现对待检测件空间位置的调整，使得待检测件的水平度符合预设水平度要求，进而提高了自动检测对位装置的自动化程度和自动检测对位装置的检测效率。的自动化程度和自动检测对位装置的检测效率。的自动化程度和自动检测对位装置的检测效率。
【技术实现步骤摘要】
一种自动检测对位装置
[0001]本申请涉及检测
，尤其涉及一种自动检测对位装置。
技术介绍
[0002]在检测设备中，常常会受样品自身的机械装配误差和加工误差的影响，导致检测误差，因此需对样品进行位置调节，以确保后续样品处理操作的精度，特别是在显微领域中，上述误差带来的影响会更加显著。如在光刻场景中，在样品倾斜时进行光刻，会直接影响光刻的最小线宽、尺寸的均匀性等指标，影响光刻产品性能。因此，需要提供一种自动检测对位装置，对样品位姿进行精密调校，以解决上述问题。
技术实现思路
[0003]为了解决上述现有技术问题，本申请公开一种自动检测对位装置，包括载物装置、调整组件、扫描识别组件、驱动装置和控制装置；所述控制装置分别与所述调整组件、所述扫描识别组件和所述驱动装置电连接；所述驱动装置分别与所述载物装置和所述调整组件传动连接；所述载物装置与所述调整组件固定连接，所述扫描识别组件设置于所述载物装置的上方，初始化状态下，所述扫描识别组件的聚焦轴线与所述载物装置的轴线同轴；在所述驱动装置的驱动作用下，所述调整组件能够带动所述载物装置做预设运动，所述预设运动包括旋转、摆动和平移运动中的至少一种。
[0004]进一步地，所述自动检测对位装置还包括基座台，所述调整组件包括平移装置、摆动装置和旋转装置；所述载物装置与所述旋转装置固定连接，所述旋转装置与所述摆动装置固定连接，所述摆动装置与所述平移装置固定连接；所述平移装置能够相对于所述基座台移动，所述摆动装置能够相对于所述基座台摆动，所述旋转装置能够相对于所述基座台转动。
[0005]进一步地，所述载物装置包括载物台、载物基座和升降驱动装置；所述升降驱动装置与所述载物台传动连接，所述升降驱动装置与所述载物基座固定连接，所述升降驱动装置与所述控制装置电连接；所述升降驱动装置能够带动所述载物台相对于所述载物基座沿所述载物装置的轴线方向作往复运动。
[0006]进一步地，所述载物装置还包括吸盘装置，所述吸盘装置与所述载物台固定连接，所述载物台上设有样本吸附位，所述吸盘装置的吸附端设置于所述样本吸附位上。
[0007]进一步地，所述旋转装置包括旋转圆台、旋转基座和旋转驱动装置；所述旋转驱动装置与所述旋转圆台传动连接，所述旋转驱动装置与所述旋转基座固定连接，所述旋转驱动装置与所述控制装置电连接；在所述旋转驱动装置的驱动下，所述旋转圆台能够相对于所述旋转基座转动。
[0008]进一步地，所述旋转圆台上设置有限位配合部，所述旋转基座上设置有第一限位部和第二限位部；所述第一限位部和所述第二限位部分别沿所述限位配合部相对于所述旋转基座转动的运动轨迹设置，所述第一限位部和所述第二限位部能够分别与所述限位配合
部配合限位。
[0009]进一步地，所述摆动装置包括第一摆动组件、第二摆动组件、摆动基座和摆动驱动装置；所述摆动驱动装置分别与所述第一摆动组件和所述第二摆动组件传动连接；所述摆动驱动装置与所述控制装置电连接；所述第一摆动组件与所述第二摆动组件滑动连接，所述第二摆动组件和所述摆动基座滑动连接；所述摆动驱动装置能够带动所述第一摆动组件相对于所述第二摆动组件沿第一摆动方向运动；所述摆动驱动装置还能够带动所述第二摆动组件相对于所述摆动基座沿第二摆动方向运动；所述第二摆动方向与所述第一摆动方向垂直设置，所述第二摆动方向与所述第一摆动方向的摆动中心重合。
[0010]进一步地，所述第一摆动组件包括第一摆动件、第一摆动导轨和与所述第一摆动导轨滑动连接的第一滑动件；所述第一摆动导轨与所述第一摆动件固定连接，所述第一滑动件与所述第二摆动组件固定连接。
[0011]进一步地，所述第二摆动组件包括第二摆动件、第二摆动导轨与所述第二摆动导轨滑动连接的第二滑动件；所述第二摆动导轨与所述第二摆动件固定连接，所述第二滑动件与所述摆动基座固定连接。
[0012]进一步地，所述平移装置包括X轴移动组件、Y轴移动组件、移动基座和移动驱动装置；所述移动驱动装置分别与所述X轴移动组件和所述Y轴移动组件传动连接；所述移动驱动装置与所述控制装置电连接；所述X轴移动组件与所述Y轴移动组件滑动连接，所述Y轴移动组件和所述移动基座滑动连接；所述移动驱动装置能够带动所述X轴移动组件相对于所述Y轴移动组件沿X轴方向运动；所述移动驱动装置还能够带动所述Y轴移动组件相对于所述移动基座沿Y轴方向运动。
[0013]本申请提供的一种自动检测对位装置，至少具有如下有益效果：
[0014]1、本申请通过设置调整组件，将载物装置与调整组件固定连接，在驱动装置的带动下，调整组件能够带动载物装置作旋转、摆动或/和平移运动，进而调整了载物装置相对于扫描识别组件的相对位置关系，从而实现了对待检测件空间位置的调整，使得待检测件满足预设的水平度要求，即通过调整组件可以实现对待检测件进行调平处理，同时也为后续对待检测件的加工提供定位基础；控制装置分别与调整组件、扫描识别组件和驱动装置电连接，进而扫描识别组件能够将采集的待检测件的图像信息发送到控制装置，控制装置根据接收的图像信息控制驱动装置带动调整组件作预设运动，从而实现了待检测件空间位置的调整，进而提高了自动检测对位装置的自动化程度和自动检测对位装置的检测效率。
[0015]2、本申请通过设置平移装置、摆动装置和旋转装置，并且平移装置能够相对于基座台移动；摆动装置能够相对于基座台摆动；旋转装置能够相对于基座台转动，进而实现了调整组件带动待检测件相对于基座台作旋转、摆动和平动，从而使得待检测件满足预设的水平度要求。
[0016]3、本申请通过在旋转圆台上设置限位配合部和在旋转基座上设置第一限位部和第二限位部，在旋转圆台相对于旋转基座转动的过程中，限位配合部能够与第二限位部抵接，进而限制了旋转圆台相对于旋转基座的一个转动方向上的转动角度，限位配合部还能够与第一限位部抵接，进而限制了旋转圆台相对于旋转基座在另一旋转方向上的转动角度，通过限制旋转圆台相对于旋转基座转动的转动角度，显著提高待检测件上的检测标志位所在水平面角度的调整效率。
[0017]4、本申请通过设置升降驱动装置，并在升降驱动装置的带动下，载物台能够相对载物基座沿载物装置的竖直方向的轴线上往复运动，进而带动载物台上的待检测件运动至扫描识别组件的目标聚焦位置，目标聚焦位置可以为扫描识别组件的采集视野符合清晰度要求的聚焦位置，便于扫描识别组件采集的符合清晰度需求的图像信息，进而提升了图像信息的清晰度及信息表达准确度，从而提升了自动检测对位装置的检测准确性及高效性。
[0018]5、本申请通过设置吸盘装置，吸盘装置与载物台固定连接，并在载物台上设有样本吸附位，将吸盘装置的吸附端设置于样本吸附位上，在待检测件放置在载物台上的状态下，通过控制装置控制吸盘装置处于开启状态，通过吸附端将待检测件吸附在载物台上，实现待检测件的固定，从而保证了自动检测对位装置对待检测件对位调整的可靠性及稳定性。
[0019]6、本申请通过第一摆动驱动装置带动第一摆动组件相对于第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动检测对位装置，其特征在于，包括载物装置(1)、调整组件(2)、扫描识别组件(3)、驱动装置和控制装置；所述控制装置分别与所述调整组件(2)、所述扫描识别组件(3)和所述驱动装置电连接；所述驱动装置分别与所述载物装置(1)和所述调整组件(2)传动连接；所述载物装置(1)与所述调整组件(2)固定连接；所述扫描识别组件(3)设置于所述载物装置(1)的上方，初始化状态下，所述扫描识别组件(3)的聚焦轴线与所述载物装置(1)的轴线同轴；在所述驱动装置的驱动作用下，所述调整组件(2)能够带动所述载物装置(1)做预设运动，所述预设运动包括旋转、摆动和平移运动中的至少一种。2.根据权利要求1所述的一种自动检测对位装置，其特征在于，所述自动检测对位装置还包括基座台，所述调整组件(2)包括平移装置(21)、摆动装置(22)和旋转装置(23)；所述载物装置(1)与所述旋转装置(23)固定连接，所述旋转装置(23)与所述摆动装置(22)固定连接，所述摆动装置(22)与所述平移装置(21)固定连接；所述平移装置(21)能够相对于所述基座台移动，所述摆动装置(22)能够相对于所述基座台摆动，所述旋转装置(23)能够相对于所述基座台转动。3.根据权利要求1
‑
2中任一项所述的一种自动检测对位装置，其特征在于，所述载物装置(1)包括载物台(11)、载物基座(12)和升降驱动装置；所述升降驱动装置与所述载物台(11)传动连接，所述升降驱动装置与所述载物基座(12)固定连接，所述升降驱动装置与所述控制装置电连接；所述升降驱动装置能够带动所述载物台(11)相对于所述载物基座(12)沿所述载物装置(1)的轴线方向作往复运动。4.根据权利要求3所述的一种自动检测对位装置，其特征在于，所述载物装置(1)还包括吸盘装置，所述吸盘装置与所述载物台(11)固定连接；所述载物台(11)上设有样本吸附位(111)，所述吸盘装置的吸附端设置于所述样本吸附位(111)上。5.根据权利要求2所述的一种自动检测对位装置，其特征在于，所述旋转装置(23)包括旋转圆台(231)、旋转基座(232)和旋转驱动装置(236)；所述旋转驱动装置(236)与所述旋转圆台(231)传动连接，所述旋转驱动装置(236)与所述旋转基座(232)固定连接，所述旋转驱动装置(236)与所述控制装置电连接；在所述旋转驱动装置(236)的驱动下，所述旋转圆台(231)能够相对于所述旋转基座(232)转动。6.根据权利要求5所述的一种自动检测对位装置，其特征在于，所述旋转圆台(231)上设置有限位配合部(233)，所述旋转基座(232)上设置有第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：严振中，高尧，黄金勇，
申请(专利权)人：苏州爱默科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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