【技术实现步骤摘要】
一种平行度测量装置
[0001]本申请涉及芯片制造领域，尤其是涉及一种平行度测量装置。
技术介绍
[0002]在现有的芯片键合时，保证芯片表面的平行贴合对于键合质量起到了至关重要的作用。一方面，芯片的表面不平行，贴合后可能在芯片的边缘或表面产生刮伤破损，进而在键合界面引入晶渣，导致键合后产生气泡或者造成芯片报废。另一方面，芯片的不平行贴合可能在对准过程中引入误差，还可能在贴合时产生相对滑移，导致键合后错位超出允许范围。再一方面，芯片的不平行贴合还会导致键合受力不均匀，导致一部分区域受力过大产生形变，一部分区域受力过小导致未键合，使得键合效果很差。
[0003]因此，检测芯片的平行度是目前键合工艺中亟待解决的问题。
技术实现思路
[0004]本申请提供一种平行度测量装置，该装置能够实时检测待测对象的平行度，提高待测对象的键合效果。
[0005]为解决上述技术问题，本申请提供的第一个技术方案为：提供一种平行度测量装置，包括：光源组件，用于产生带有标识信息的初始光信号；光路组件，连接所述光源组件，以...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平行度测量装置，其特征在于，包括：光源组件，用于产生带有标识信息的初始光信号；光路组件，连接所述光源组件，以接收所述初始光信号，并对所述初始光信号进行处理，产生分别出射到至少两个待测对象的至少两束光出射信号；接收所述至少两个待测对象基于所述光出射信号而分别产生的光反射信号，并对所述光反射信号分别进行处理，产生对应的至少两束光反馈信号；其中，所述至少两束光出射信号分别带有所述标识信息，所述至少两束光反馈信号分别带有所述标识信息；成像组件，连接所述光路组件，以接收所述至少两束光反馈信号，并基于所述至少两束光反馈信号进行成像；其中，所成的图像包含有对应所述至少两束光反馈信号中的所述标识信息的标识信息图像，以用来表征所述至少两个待测对象的平行度。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少两个待测对象包括第一待测对象和第二待测对象；所述第一待测对象和所述第二待测对象为待键合在一起的两个芯片；或者所述第一待测对象和所述第二待测对象为待键合在一起的两个晶圆；或者所述第一待测对象和所述第二待测对象为待键合在一起的芯片和晶圆。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光路组件包括：光分离/聚合模块、第一光管和出射/接收模块；其中，所述光分离/聚合模块连接所述光源组件，以接收所述初始光信号，并将所述初始光信号分离成第一光分离信号和第二光分离信号；所述第一光管连接所述光分离/聚合模块，以传输所述第一光分离信号和所述第二光分离信号；所述出射/接收模块连接所述第一光管，以基于所述第一光分离信号产生出射至第一待测对象的第一光出射信号，和基于所述第二光分离信号产生出射至第二待测对象的第二光出射信号；所述出射/接收模块还用于接收所述第一待测对象反射所述第一光出射信号而产生的第一光反射信号和所述第二待测对象反射所述第二光出射信号而产生的第二光反射信号，并基于所述第一光反射信号和所述第二光反射信号而分别产生第一光反馈信号和第二光反馈信号；所述第一光管还用于传输所述第一光反馈信号和所述第二光反馈信号；所述光分离/聚合模块还用于将所述第一光管传输来的所述第一光反馈信号和所述第二光反馈信号朝向同一出射口出射。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述光分离/聚合模块包括：分束镜和第一反射镜；其中，所述分束镜与所述初始光信号的传播方向成第一夹角设置，所述初始光信号出射至所述分束镜时，一部分所述初始光信号被所述分束镜反射以生成所述第一光分离信号；另一部分所述初始光信号从所述分束镜透射；所述第一反射镜与所述分束镜间隔设置，并与从所述分束镜透射的另一部分所述初始光信号的传播方向成第二夹角设置，以反射从所述分束镜透射的另一部分所述初始光信号，生成所述第二光分离信号；所述分束镜还用于接收所述第一光管传输来的所述第一光反馈信号，并透射所述第一光反馈信号，以出射所述第一光反馈信号；所述第一反射镜还用于接收所述第一光管传输来的所述第二光反馈信号，并反射所述第二光反馈信号至所述分束镜，所述分束镜进一步用于反射所述第二光反馈信号，以出射所述第二光反馈信号；其中，所述分束镜使出射的...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴子祺，周云鹏，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。