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本申请提供一种平行度测量装置，包括：光源组件、光路组件以及成像组件；其中，光路组件连接光源组件，以接收光源组件发出的初始光信号，并对初始光信号进行处理，产生分别出射到至少两个待测对象的至少两束光出射信号；以及接收至少两个待测对象基于光出射信...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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