本实用新型专利技术提供了一种立式炉轴向自动拉温装置，包括H型支架、立式滑台和步进电机，传动丝杆的表面螺纹连接有螺母型固定支架，螺母型固定支架的表面安装有封装热电偶，H型支架一侧的延伸板处与步进电机螺纹连接，H型支架的底端安装有两个同步轮，两个同步轮之间传动安装有同步带，立式滑台一侧的顶部螺纹安装有上限位传感器，立式滑台一侧的底部螺纹安装有原点传感器和下限位传感器。本实用新型专利技术采用封装热电偶和立体滑台，立体滑台为钢带防尘密封，拉温时，有效减少了金属粒子和颗粒度的污染；采用独特的设计，拉温装置可以进行垂直安装固定，并根据实际情况，可以调节立式滑台离地的高度。地的高度。地的高度。
【技术实现步骤摘要】
一种立式炉轴向自动拉温装置
[0001]本技术属于立式炉轴
，涉及一种立式炉轴向自动拉温装置。
技术介绍
[0002]立式炉温场均匀性是一项重要的技术指标，关系到工艺结果的好坏，影响成品(芯片或器件)的性能，温场均匀性涉及截面温度检测和轴向温度检测，截面温度采用TCWafer检测，轴向检测一直以来都没有成熟、稳定和灵活的检测装置。
[0003]参考附件：CN201721208586
‑
一种自动拉温仪
‑
技术。该专利设计的是卧式炉自动拉温区，热偶直接裸露，进入工艺腔内拉温时，存在金属污染、颗粒度污染等风险。
[0004]很多设备还是由手动拉温区，人工记录数据的方法。弊端：1)拉温活动的间隔精度低，2)拉温数据无法实时保存，人为因素影响大。
[0005]基于上述，我们提供一种立式炉轴向自动拉温装置。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供一种立式炉轴向自动拉温装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种立式炉轴向自动拉温装置，包括H型支架、立式滑台和步进电机，所述H型支架的中部与立式滑台固定连接，所述立式滑台的内部安装有传动丝杆，所述传动丝杆的表面螺纹连接有螺母型固定支架，所述螺母型固定支架的表面安装有封装热电偶，所述H型支架一侧的延伸板处与步进电机螺纹连接，所述H型支架的底端安装有两个同步轮，两个所述同步轮之间传动安装有同步带，两个所述同步轮分别与步进电机的输出端以及传动丝杆的连接端装配连接，所述立式滑台一侧的顶部螺纹安装有上限位传感器，所述立式滑台一侧的底部螺纹安装有原点传感器和下限位传感器。
[0008]在上述的一种立式炉轴向自动拉温装置中，所述H型支架的四个支脚处均安装有调节螺栓。
[0009]在上述的一种立式炉轴向自动拉温装置中，所述螺母型固定支架的一侧固定连接有挡片，所述挡片与上限位传感器、原点传感器和下限位传感器接触连接。
[0010]在上述的一种立式炉轴向自动拉温装置中，所述封封装热电偶是由石英管封装单点热电偶组成，所述立式滑台为钢带防尘密封滑台结构。
[0011]与现有技术相比，本技术一种立式炉轴向自动拉温装置的优点为：本使用新型采用封装热电偶和立体滑台，立体滑台为钢带防尘密封，拉温时，有效减少了金属粒子和颗粒度的污染；采用独特的设计，拉温装置可以进行垂直安装固定，并根据实际情况，可以调节立式滑台离地的高度；采用独立控制系统，可以独立拆卸，一套装置可以测试多台设备。
附图说明
[0012]图1是本技术一种立式炉轴向自动拉温装置的立体结构示意图。
[0013]图2是本技术一种立式炉轴向自动拉温装置图1的局部结构示意图。
[0014]图3是本技术一种立式炉轴向自动拉温装置图1的平面结构示意图。
[0015]图中，1、H型支架；2、立式滑台；3、调节螺栓；4、步进电机；5、螺母型固定支架；6、封装热电偶；7、上限位传感器；8、同步带；9、同步轮；10、传动丝杆；11、原点传感器；12、下限位传感器。
具体实施方式
[0016]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0017]如图1、图2和图3所示，本技术一种立式炉轴向自动拉温装置，包括H型支架1、立式滑台2和步进电机4，H型支架1的中部与立式滑台2固定连接，立式滑台2的内部安装有传动丝杆10，传动丝杆10的表面螺纹连接有螺母型固定支架5，螺母型固定支架5的表面安装有封装热电偶6，H型支架1一侧的延伸板处与步进电机4螺纹连接，H型支架1的底端安装有两个同步轮9，两个同步轮9之间传动安装有同步带8，两个同步轮9分别与步进电机4的输出端以及传动丝杆10的连接端装配连接，立式滑台2一侧的顶部螺纹安装有上限位传感器7，立式滑台2一侧的底部螺纹安装有原点传感器11和下限位传感器12。
[0018]在本实施例中，H型支架1的四个支脚处均安装有调节螺栓3，这样设置的目的是通过调节螺栓3将H型支架1固定在立式炉上，且方便调节高度。
[0019]在本实施例中，螺母型固定支架5的一侧固定连接有挡片，挡片与上限位传感器7、原点传感器11和下限位传感器12接触连接，这样设置的目的是便于上限位传感器7、原点传感器11和下限位传感器12输出信号，对螺母型固定支架5进行控制。
[0020]在本实施例中，封封装热电偶6是由石英管封装单点热电偶组成，这样设置的目的是防止拉温时热电偶的裸露污染工艺腔；立式滑台2为钢带防尘密封滑台结构，这样设置的目的是上下运动时，有效避免产生颗粒度、金属粒子等污染物，防止拉温时污染工艺腔。
[0021]具体使用时，拉温步骤如下：
[0022]将拉温装置通过H型支架1带4个调节螺栓3安装到需要拉温的立式炉设备；
[0023]给拉温装置控制系统提供220VAC,拨动上电开关，拉温装置完成上电；
[0024]回原点，封装热电偶6运行到起点；
[0025]设置拉温间距、单点拉温时间、测温数据保存间隔、拉温运行速度、拉温范围等参数；自动拉温。
[0026]其中，上限位传感器7和下限位传感器12是用于限制封装热电偶6上下运动的范围。
[0027]本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本技术的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种立式炉轴向自动拉温装置，包括H型支架(1)、立式滑台(2)和步进电机(4)，其特征在于，所述H型支架(1)的中部与立式滑台(2)固定连接，所述立式滑台(2)的内部安装有传动丝杆(10)，所述传动丝杆(10)的表面螺纹连接有螺母型固定支架(5)，所述螺母型固定支架(5)的表面安装有封装热电偶(6)，所述H型支架(1)一侧的延伸板处与步进电机(4)螺纹连接，所述H型支架(1)的底端安装有两个同步轮(9)，两个所述同步轮(9)之间传动安装有同步带(8)，两个所述同步轮(9)分别与步进电机(4)的输出端以及传动丝杆(10)的连接端装配连接，所述立式滑台(2)一侧的顶部螺纹安...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹昊，李克，
申请(专利权)人：湖南艾科威半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。