手持式射频微波探针制造技术

本发明专利技术提供了一种手持式射频微波探针，属于微波射频技术领域，包括第一外壳、第二外壳、信号传输导体以及接地弹簧针，第二外壳与第一外壳固定连接；信号传输导体其一端固定于第一外壳内，其另一端从第二外壳内穿出，外露于第二外壳外，构成信号传输端；接地弹簧针固定于第二外壳内且在远离第一外壳的前端，接地弹簧针外露于第二外壳外，构成接地端。本发明专利技术提供的手持式射频微波探针，第一外壳作为手持端，使用时手持即可操作，无需探针支架和载片台，使用灵活方便，能够避免ACP形式探针使用不灵活、影响测试效率、价格高的问题。价格高的问题。价格高的问题。

【技术实现步骤摘要】
手持式射频微波探针


[0001]本专利技术属于微波射频
，具体涉及一种手持式射频微波探针。

技术介绍

[0002]集成电路作为信息产业的载体，其重要性随着我国经济的转型日益凸显，集成电路产业成为我国工业化、现代化深度发展的重要基础。
[0003]对集成电路晶圆芯片的特性进行准确测量以改进设计和制造工艺，对发展高速和微波集成电路至关重要，而微波集成电路测试技术在当前的击沉电路产业中占有相当重要的地位。
[0004]现阶段常用的探针为空气共面射频微波探针，简称ACP探针，ACP探针价格昂贵，一只ACP探针价格在3万元以上。ACP探针一般包括探针主体、射频同轴连接器、微同轴电缆和微波探针尖。ACP探针必须配合探针支架、载片台使用，灵活度低。
[0005]而且，关于微波探针的研究大多集中于理论分析和部分结构计算，局限于探针局部设计、测试方法等理论进展上，对微波探针的制备和测试研究较少，且工作频率大都在10GHz左右，工作频率低，应用受限。

技术实现思路

[0006]本专利技术实施例提供一种手持式射频微波探针，旨在提供一种手持式射频微波探针，解决ACP探针使用不灵活、测试效率低、价格昂贵等问题。
[0007]为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：提供一种手持式射频微波探针，包括：
[0008]第一外壳；
[0009]第二外壳，与所述第一外壳固定连接；
[0010]信号传输导体，其一端固定于所述第一外壳内，其另一端从所述第二外壳内穿出，外露于所述第二外壳外，构成信号传输端；以及
[0011]接地弹簧针，固定于所述第二外壳内且在远离所述第一外壳的前端，所述接地弹簧针外露于所述第二外壳外，构成接地端。
[0012]在一种可能的实现方式中，所述信号传输导体包括内导体及与所述内导体同轴连接的信号传输弹簧针，所述内导体通过第一支撑柱固定于所述第一外壳内，所述信号传输弹簧针通过第二支撑柱固定于所述第二外壳内，所述信号传输弹簧针的端部外露于所述第二外壳外。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述信号传输弹簧针的两侧对称的设有所述接地弹簧针，且在所述信号传输弹簧针上正对所述接地弹簧针的位置设有绝缘套。
[0014]在一种可能的实现方式中，所述绝缘套为聚四氟乙烯材质。
[0015]在一种可能的实现方式中，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的材质均为聚醚醚酮材质。
[0016]在一种可能的实现方式中，所述内导体设有多级台阶，所述多级台阶自所述第一外壳向所述第二外壳方向的直径递减，所述信号传输弹簧针的直径小于所述多级台阶的最小直径。
[0017]在一种可能的实现方式中，所述内导体远离所述第二外壳的末端还设有固定钢套，所述固定钢套固定于所述第一外壳内，所述内导体固定于所述固定钢套上。
[0018]在一种可能的实现方式中，所述第一外壳、所述第二外壳及所述内导体的外表面均设有镀金层。
[0019]在一种可能的实现方式中，所述第二外壳径向正对所述接地弹簧针的位置设有点胶孔，用于将所述接地弹簧针胶接于所述第二外壳内。
[0020]在一种可能的实现方式中，所述第一外壳的外形适配K型接头。
[0021]本专利技术提供的手持式射频微波探针，与现有技术相比，有益效果在于：第一外壳作为手持端，使用时手持即可操作，无需探针支架和载片台，使用灵活方便，能够避免ACP形式探针使用不灵活、影响测试效率、价格高的问题。
附图说明
[0022]图1为本专利技术实施例提供的手持式射频微波探针的立体结构示意图；
[0023]图2为本专利技术实施例提供的手持式射频微波探针的爆炸结构示意图；
[0024]图3为本专利技术实施例提供的内导体的立体结构示意图；
[0025]图4为本专利技术实施例提供的固定钢套与内导体的立体结构示意图；
[0026]图5为本专利技术实施例提供的固定钢套、内导体与第一外壳的立体结构示意图；
[0027]图6为本专利技术实施例提供的第一外壳、内导体、信号传输弹簧针、接地弹簧针的位置结构示意图；
[0028]图7为本专利技术实施例提供的第二外壳、信号传输弹簧针、接地弹簧针的立体结构示意图；
[0029]附图标记说明：
[0030]1、第一外壳；2、第二外壳；3、固定钢套；4、第一支撑柱；5、内导体；6、第二支撑柱；7、信号传输弹簧针；8、绝缘套；9、接地弹簧针；10、多级台阶。
具体实施方式
[0031]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0032]请一并参阅图1至图7，现对本专利技术提供的手持式射频微波探针进行说明。所述手持式射频微波探针，包括第一外壳1、第二外壳2、信号传输导体以及接地弹簧针9，第二外壳2与第一外壳1固定连接；信号传输导体其一端固定于第一外壳1内，其另一端从第二外壳2内穿出，外露于第二外壳2外，构成信号传输端；接地弹簧针9固定于第二外壳2内且在远离第一外壳1的前端，接地弹簧针9外露于第二外壳2外，构成接地端。
[0033]本专利技术提供的手持式射频微波探针，与现有技术相比，有益效果在于：第一外壳1作为手持端，使用时手持即可操作，无需探针支架和载片台，使用灵活方便，能够避免ACP形
式探针使用不灵活、影响测试效率、价格高的问题。
[0034]其中，第一外壳1和第二外壳2螺接固定，并点胶紧固密封。
[0035]在一些实施例中，参见图1至图7所示，信号传输导体包括内导体5及与内导体5同轴连接的信号传输弹簧针7，内导体5通过第一支撑柱4固定于第一外壳1内，信号传输弹簧针7通过第二支撑柱6固定于第二外壳2内，信号传输弹簧针7的端部外露于第二外壳2外。
[0036]其中内导体5和信号传输弹簧针7装配在一起组成信号传输端，记为S，接地弹簧针9装配在第二外壳2上组成接地端，记为G。
[0037]在一些实施例中，如图2所示，信号传输弹簧针7的两侧对称的设有接地弹簧针9，且在信号传输弹簧针7上正对接地弹簧针9的位置设有绝缘套8。本实施例提供的手持式探针为GSG形式，也即接地
‑
信号
‑
接地，该结构与共面波导类似，为空气共面射频微波探针。为了满足电气性能指标和方便测试使用，本实施例提供的手持式射频微波探针可设计成不同的G、S间距，并且可设计成GS(接地
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信号)、SG(信号
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接地)、GSG、GSGSG、GSGS、GSS、GSSG(接地
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信号
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信号
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接地)、SGS、SGSG和SSG等多种微波探针组合。
[0038]为了使待测器件与探针之间获得足够的接触力，本实施例中，手持式射频微波探针导体采用弹簧针设计，弹簧针材料为可塑性比较强的铍青铜材料。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种手持式射频微波探针，其特征在于，包括：第一外壳(1)；第二外壳(2)，与所述第一外壳(1)固定连接；信号传输导体，其一端固定于所述第一外壳(1)内，其另一端从所述第二外壳(2)内穿出，外露于所述第二外壳(2)外，构成信号传输端；以及接地弹簧针(9)，固定于所述第二外壳(2)内且在远离所述第一外壳(1)的前端，所述接地弹簧针(9)外露于所述第二外壳(2)外，构成接地端。2.如权利要求1所述的手持式射频微波探针，其特征在于，所述信号传输导体包括内导体(5)及与所述内导体(5)同轴连接的信号传输弹簧针(7)，所述内导体(5)通过第一支撑柱(4)固定于所述第一外壳(1)内，所述信号传输弹簧针(7)通过第二支撑柱(6)固定于所述第二外壳(2)内，所述信号传输弹簧针(7)的端部外露于所述第二外壳(2)外。3.如权利要求2所述的手持式射频微波探针，其特征在于，所述信号传输弹簧针(7)的两侧对称的设有所述接地弹簧针(9)，且在所述信号传输弹簧针(7)上正对所述接地弹簧针(9)的位置设有绝缘套(8)。4.如权利要求3所述的手持式射频微波探针，其特征在于，所述绝缘套(8)为聚四氟乙...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪晓龙，赵东岐，王洋，王胜福，张韶华，王小维，曹力元，林立涵，赵利安，彭凌云，刘丙凯，白静，孙涛，吴立丰，袁彪，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：