吸附装置及运输系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种吸附装置及运输系统。本实用新型专利技术的吸附装置包括机架和吸附组件。其中，吸附组件连接于机架，吸附组件包括吸附件，吸附件设置有主体部和突出部，主体部具有第一端面和第二端面，突出部设置于第二端面，突出部与主体部限定出多个吸附腔，吸附腔连通于真空源，吸附件还设置有多个吸附孔，吸附腔对应于多个吸附孔，吸附孔连通对应的吸附腔和第一端面。使用时，第一端面贴合于具有部分翘曲的物料后，部分吸附腔漏气不会影响到其余吸附腔，使第一端面与物料完全贴合的部位设置的吸附孔所能产生的吸附力的大小不会改变，从而在物料在形变程度较小时仍能够产生足够的吸附力将硅片吸起。的吸附力将硅片吸起。的吸附力将硅片吸起。

【技术实现步骤摘要】
吸附装置及运输系统


[0001]本技术涉及物料运输领域，特别涉及一种吸附装置及运输系统。

技术介绍

[0002]在相关技术中，在对物料进行吸附搬运时，若物料的表面具有一定的变形导致与吸盘的接触面不完全平整，则可能在物料与吸盘未完全贴合处出现漏气，导致无法吸附或者在搬运过程中掉落，给搬运流程带来不便。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种吸附装置，能够吸附具有不完全平整的表面的物料。
[0004]本技术还提出一种具有上述吸附装置的运输系统
[0005]根据本技术的第一方面实施例的吸附装置，包括机架和吸附组件。其中，吸附组件连接于所述机架，所述吸附组件包括吸附件，所述吸附件设置有主体部和突出部，所述主体部具有朝向相反的第一端面和第二端面，所述突出部突出设置于所述第二端面，所述突出部与所述主体部限定出多个吸附腔，所述吸附腔能够连通于真空源，所述吸附件还设置有多个吸附孔，所述吸附腔对应于多个所述吸附孔，所述吸附孔连通对应的所述吸附腔和所述第一端面，所述第一端面用于吸附物料。
[0006]根据本技术实施例的吸附装置，至少具有如下有益效果：吸附件设置有多个吸附腔，吸附腔连通于所述真空源且对应于多个吸附孔，吸附孔连通对应的吸附腔和第一端面，在第一端面贴合于具有部分翘曲的物料时，部分吸附腔漏气而不会影响到其余吸附腔，使第一端面与物料完全贴合的部位设置的吸附孔所能产生的吸附力的大小不会改变，从而在物料在形变程度较小时仍能够产生足够的吸附力将硅片吸起。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述主体部具有设定的径向，所述第二端面还设置有多个第一槽道，所述第一槽道沿所述主体部的周向方向延伸，沿所述主体部的径向方向，多个所述第一槽道间隔设置，所述第一槽道对应多个所述吸附孔，所述吸附孔连通对应的所述第一槽道和第一端面。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述第二端面还设置有多个第二槽道，所述第二槽道沿所述主体部的径向方向延伸，所述吸附腔对应于至少一个所述第二槽道，所述第二槽道连通处于同一吸附腔内的多个所述第一槽道，所述第二槽道连通于真空源。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述吸附组件还包括连接件，所述吸附件可拆卸连接于所述连接件，所述第二端面朝向于所述连接件，所述连接件设置有气孔，所述气孔连通于所述吸附腔和真空源。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述连接件设置有第三端面，所述第三端面与所述第二端面贴合，所述气孔连通于所述第三端面，所述第二端面还设置有多个第一槽道和多个第二槽道，沿所述主体部的径向方向，多个所述第一槽道间隔设置，所述吸附孔连通对
应的所述第一槽道和第一端面，所述第二槽道沿所述主体部的径向方向延伸，所述第二槽道连通处于同一吸附腔内的多个所述第一槽道，所述气孔连通于所述第二槽道。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述吸附组件还包括密封件，所述主体部的所述第二端面还设置有容置槽，所述密封件设置于所述吸附件与所述连接件之间，所述密封件容置于所述容置槽，并部分突出于所述容置槽，以形成所述突出部，所述密封件包括第一密封部和多个第二密封部，所述容置槽包括第一容置部和多个第二容置部，所述第一容置部环绕于所述吸附件的外周，多个所述第二容置部的一端相互连通，多个所述第二容置部的另一端沿径向方向延伸至连接通于所述第一容置部，所述第一密封部对应并容置于所述第一容置部，各所述第二密封部一一对应并容置于各所述第二容置部。
[0012]根据本技术的一些实施例，还包括第一驱动件，所述第一驱动件连接于所述机架，所述吸附件连接于所述第一驱动件，所述第一驱动件能够驱动所述吸附件沿Z轴方向移动。
[0013]根据本技术的一些实施例，还包括缓冲机构，所述缓冲机构包括固定件和弹性件，所述固定件连接于所述第一驱动件，所述弹性件的一端连接于所述固定件，另一端连接于所述吸附组件，所述吸附件能够抵接于物料而压缩所述弹性件。
[0014]根据本技术的一些实施例，还包括CCD相机，所述CCD相机连接于所述机架或所述吸附组件，所述CCD相机用于识别所述物料的位置。
[0015]根据本技术的第二方面实施例的运输系统，包括料仓、第二驱动件和上述第一方面实施例所提供的吸附装置。其中，料仓设置有容置腔，所述容置腔用于容置物料；吸附装置与所述料仓在Z轴方向间隔设置，所述吸附件能够由所述容置腔中吸附物料；吸附装置连接于所述的第二驱动件，所述第二驱动件能够驱动所述吸附装置沿X轴和Y轴方向移动。
[0016]根据本技术实施例的运输系统，至少具有如下有益效果：运输系统采用上述吸附装置而至少具有吸附装置的全部优点之外，第二驱动件能够驱动吸附装置在X轴方向以及Y轴方向移动，在吸附装置吸附物料后第二驱动件能够驱动吸附装置移动至设定位置，实现物料的搬运。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0019]图1为本技术实施例吸附装置的示意图；
[0020]图2为本技术实施例吸附装置的爆炸图；
[0021]图3为本技术实施例吸附装置另一角度的爆炸图；
[0022]图4为本技术实施例吸附件的示意图；
[0023]图5为本技术实施例密封件的示意图。
[0024]附图标记：
[0025]机架100；
[0026]吸附组件200、吸附件210；
[0027]主体部220、第一端面221、第二端面222、第一槽道223、第二槽道224、通孔225；
[0028]容置槽230、第一容置部231、第二容置部232、吸附腔240、吸附孔250；
[0029]连接件260、气孔261、第三端面262、接头263；
[0030]密封件270、第一密封部271、第二密封部272；
[0031]突出部280；
[0032]第一驱动件300；
[0033]缓冲机构400、固定件410、弹性件420；
[0034]CCD相机500。
具体实施方式
[0035]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0036]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.吸附装置，其特征在于，包括：机架；吸附组件，连接于所述机架，所述吸附组件包括吸附件，所述吸附件设置有主体部和突出部，所述主体部具有朝向相反的第一端面和第二端面，所述突出部突出设置于所述第二端面，所述突出部与所述主体部限定出多个吸附腔，所述吸附腔能够连通于真空源，所述吸附件还设置有多个吸附孔，所述吸附腔对应于多个所述吸附孔，所述吸附孔连通对应的所述吸附腔和所述第一端面，所述第一端面用于吸附物料。2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述主体部具有设定的径向，所述第二端面还设置有多个第一槽道，所述第一槽道沿所述主体部的周向方向延伸，沿所述主体部的径向方向，多个所述第一槽道间隔设置，所述第一槽道对应多个所述吸附孔，所述吸附孔连通对应的所述第一槽道和第一端面。3.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，所述第二端面还设置有多个第二槽道，所述第二槽道沿所述主体部的径向方向延伸，所述吸附腔对应于至少一个所述第二槽道，所述第二槽道连通处于同一吸附腔内的多个所述第一槽道，所述第二槽道连通于真空源。4.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附组件还包括连接件，所述吸附件可拆卸连接于所述连接件，所述第二端面朝向于所述连接件，所述连接件设置有气孔，所述气孔连通于所述吸附腔和真空源。5.根据权利要求4所述的吸附装置，其特征在于，所述连接件设置有第三端面，所述第三端面与所述第二端面贴合，所述气孔连通于所述第三端面，所述第二端面还设置有多个第一槽道和多个第二槽道，沿所述主体部的径向方向，多个所述第一槽道间隔设置，所述吸附孔连通对应的所述第一槽道和第一端面，所述第二槽道沿所述主体部的径向方向延伸，所述第二槽道连通处于同一吸附腔内的多个所...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡耿涛，林生财，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：新型
国别省市：