加热机具的结构改良制造技术

本实用新型专利技术的加热机具的机台加设区域处至少设有一个凹座，各凹座是可供用以承载物料的加热载台定置，而该加热载台下方则设有一加热器，其加热器至少包含有加热线圈；其中，该加热线圈的两端形成有导电针，其导电针先套设有绝缘套，且绝缘套套入导电针后使导电针露出一固定区段，再于该固定区段套入一导电套将导电针包覆，其电套并与绝缘套相螺合，而导电套并固设有电线，使电线通电后电源由导电套经导电针传入加热线圈，使加热线圈发出热量。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是涉及对晶圆进行加热制程的加热机具改良，尤对加热机具内部用以发出热量的机构进行改良，旨在提供一种可方便更换零件而可延长工作寿命的加热机具。
技术介绍
如图1所示，是为一般晶圆加热制程当中所普遍使用的一种加热机具结构分解图，其加热机具主要是在机台10的加热区域处至少设置4个凹座11，各个凹座11是为呈可供用以承载物料60(即欲进行加热的晶圆)的加热载台20定置，其加热载台20是可在相关运送器械70的带动下达到将物料60载入凹座11处进行加热处理，以及将完成加热处理的物料60移出加热区域。请同时参阅图2所示，该加热载台20下方则设有一加热器30，其加热器30至少包含有加热线圈31，其加热线圈31是设于加热载台20中，而加热线圈31两端穿出加热载台20处形成有导电针32，导电针32外套设有一管状的绝缘套33，且绝缘套33套入导电针32后使导电针32露出一固定区段，并使绝缘套33可密封加热线圈31与导电针32处，再于该固定区段上固设有电线40，以藉由电线40通电后电源由导电针32传入加热线圈31，使加热线圈31发出热量。一般加热载台20内是为真空状态，而加热载台20工作一段时间后，绝缘套33与加热载台20接触部位易产生老化现象，使得绝缘套33无法达到密封的作用，并使加热载台20内破除真空，而使得加热载台20甚至整个加热机具无法正常运作。
技术实现思路
有鉴于此，本技术加热机具的结构改良，即在改善绝缘套无法达到完全密封的缺点，利用简单的零组件组装而成，不仅可达到加热线圈通电供热的作用，也可将加热载台密封达到完全真空的状态，且工作一段时间后也可更换其零组件，确保零组件不会因为老化，而使加热载台或整个加热机具无法正常运作，使该加热机具可持续使用。本技术加热机具的结构改良主要是于机台加设区域处至少设有一个凹座，各凹座是可供用以承载物料的加热载台定置，而该加热载台下方则设有一加热器，其加热器至少包含有加热线圈；其中，该加热线圈的两端形成有导电针，其导电针先套设有绝缘套，且绝缘套套入导电针后使导电针露出一固定区段，再于该固定区段套入一导电套将导电针包覆，其导电套并于绝缘套相螺合，而导电套并固设有电线，使电线通电后电源由导电套经导电针传入加热线圈，使加热线圈发出热量。附图说明图1是为晶圆加工制程当中所应用的一种加热机具内部的加热载台结构分解图；图2是为习有加热载台的结构示意图；图3是本技术中加热载台的结构分解图；图4是本技术中加热载台的结构示意图；图5是为图4中绝缘套与导电套的结构放大示意图。图号说明10机台35绝缘套环11凹座36压环20加热载台37绝缘套体30加热器 38热缩套管31加热线圈40电线 32导电针51外螺纹33绝缘套52内螺纹33’绝缘套 60物料34导电套70输送器械341导电针部具体实施方式为能使贵审查员清楚本技术的结构组成，以及整体运作方式，兹配合图式说明如下本技术加热机具的结构改良，其所应用的加热机具基本上同样是在机台的加热区域处至少设置一个凹座，各个凹座是为呈可供用以承载物料的加热载具定置，其加热载具是可在相关运送器械的带动下达到将物料载入凹座处进行加热处理，以及将完成加热处理的物料移出加热区域。至于本技术的改良重点是如图3及图4所示，该加热载台20下方则设有一加热器30，其加热器30至少包含有加热线圈31，其加热线圈31是设于加热载台20中，而加热线圈31两端穿出加热载台20处形成有导电针32，其导电针32先套设有绝缘套33’(其绝缘套可以为铁氟龙材质)，该绝缘套33’设有外螺纹51，且绝缘套33’套入导电针32后使导电针32露出一固定区段，并使绝缘套33’可密封加热线圈31与导电针32处，再于该固定区段套入一导电套34将导电针32包覆，其导电套34设有与绝缘套33’的外螺纹51相螺合的内螺纹52，以及一导电针部341，其可利用螺合方式将绝缘套33’与导电套34相互组装固定，而导电套34的导电针部341并固设有电线40，使电线40通电后电源由导电套34经导电针32传入加热线圈31，使加热线圈31发出热量；当然，也可进一步于电线40外与导电套34间套设有一热缩套管38，可加强电线40与导电套34结合的稳固性。再者，绝缘套33’与导电套34间设有一绝缘套环35，如图3及图5所示，其绝缘套环35是先套于绝缘套33’外后，再套入一绝缘材质的压环36，再旋入导电套34，由导电套34旋入的作用力将压环36压迫绝缘套环35，进而使绝缘套33’与导电套34间达到密封的功用；当绝缘套33’老化需更换时仅需将导电套34旋出，再将绝缘套环35与压环36取出，即可轻易将老化的绝缘套33’更换；必要时也可将绝缘套环35与压环36同时更换；另外，导电套34外可进一步套设有一绝缘套体37使部分导电针部341露出，可以防止使用者碰触导电套而产生触电的危险。值得一提的是，本技术利用简单的零组件(绝缘套与导电套)组装而成，不仅可达到加热线圈通电供热的作用，也可将加热载台密封达到完全真空的状态，且工作一段时间后也可更换其零组件，确保零组件不会因为老化，而使加热载台或整个加热机具无法正常运作，更可延长加热机具的工作寿命。如上所述，本技术提供晶圆加工另一较佳的加热机具结构，于是依法提呈新型专利的申请；然而，以上的实施说明及图式所示，是本技术较佳实施例，并非以此局限本技术，是以，举凡与本技术的构造、装置、特征等近似、雷同，均应属本技术的创设目的及申请专利范围之内。权利要求1.一种加热机具的结构改良，其加热机具的机台加设区域处至少设有一个凹座，各凹座是可供用以承载物料的加热载台定置，而该加热载台下方则设有一加热器，其加热器至少包含有加热线圈；其特征在于该加热线圈的两端有导电针，其导电针套设有绝缘套，且绝缘套套入导电针，导电针露出一固定区段，该固定区段套入一将导电针包覆的导电套，其导电套并与绝缘套相螺合，而导电套并固设有电线。2.如权利要求1所述的加热机具的结构改良，其特征在于该绝缘套与导电套间设有一绝缘套环。3.如权利要求2所述的加热机具的结构改良，其特征在于该绝缘套环是套于绝缘套外后，再套入一压环。4.如权利要求3所述的加热机具的结构改良，其特征在于该压环为绝缘材质。5.如权利要求1所述的加热机具的结构改良，其特征在于该电线是固设于导电套的导电针部。6.如权利要求1所述的加热机具的结构改良，其特征在于该绝缘套为铁氟龙材质。7.如权利要求1所述的加热机具的结构改良，其特征在于该导电套外可进一步套设有一绝缘套体。8.如权利要求1所述的加热机具的结构改良，其特征在于该电线外与导电套间套设有一热缩套管。专利摘要本技术的加热机具的机台加设区域处至少设有一个凹座，各凹座是可供用以承载物料的加热载台定置，而该加热载台下方则设有一加热器，其加热器至少包含有加热线圈；其中，该加热线圈的两端形成有导电针，其导电针先套设有绝缘套，且绝缘套套入导电针后使导电针露出一固定区段，再于该固定区段套入一导电套将导电针包覆，其电套并与绝缘套相螺合，而导电套并固设有电线，使电线通电后电源由导电套经导电针传入加热线圈，使加热线圈发出热量。文档编号H05B6/00GK2819700SQ20本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热机具的结构改良，其加热机具的机台加设区域处至少设有一个凹座，各凹座是可供用以承载物料的加热载台定置，而该加热载台下方则设有一加热器，其加热器至少包含有加热线圈；其特征在于：　　　　该加热线圈的两端有导电针，其导电针套设有绝缘套，且绝缘套套入导电针，导电针露出一固定区段，该固定区段套入一将导电针包覆的导电套，其导电套并与绝缘套相螺合，而导电套并固设有电线。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈汉阳，
申请(专利权)人：微芯科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]