碳化硅晶体多块拼接模具制造技术

本实用新型专利技术公开碳化硅晶体多块拼接模具，涉及碳化硅晶体生产设备技术领域，主要结构包括底盘、底托、定位块、支撑柱、定位工件、横梁和丝杆；底托设置于底盘顶面中部；定位块设置于底盘顶面且位于底托两侧；支撑柱下部与底盘相连接，横梁的端部与支撑柱的顶部相连接；定位工件设置于底盘顶面，且定位工件的定位面朝向底托；丝杆贯通横梁并与横梁通过螺纹连接。可重复利用，在进行拼接的过程中只需要进行稍微的人力校准就可以实现SiC不会出现左右偏离、上下层错倾斜的情况。与人力目测校准，不仅提高了SiC水平方向、上下方向的精度也提高了工作效率，节省人工浪费和设备损耗。本实用新型专利技术模具结构简单、成本低，组装方便，操作防呆，高效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
碳化硅晶体多块拼接模具


[0001]本技术涉及碳化硅晶体生产设备
，特别是涉及碳化硅晶体多块拼接模具。

技术介绍

[0002]SiC具有宽禁带、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和迁移速度等特点，在高温、高频、大功率、微电子器件等方面具有巨大的应用潜力，同时SiC又是制备高性能半导体器件一种理想的衬底材料，是当前第三代半导体材料中最有代表意义的一种单晶化合物。
[0003]SiC的莫氏硬度为9.2，属于超硬材料，仅次于金刚石，导致后续切片加工成品上升。
[0004]SiC切片过程中经常出现左右偏离、上下层错倾斜的情况，严重影响后续粘胶稳定性，因此，亟需一种在切割SiC过程中用于固定碳化硅晶体的模具。

技术实现思路

[0005]为解决以上技术问题，本技术提供碳化硅晶体多块拼接模具，用于在切割SiC过程中固定碳化硅晶体，以提高切割精度，提高切割效率。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0007]本技术提供碳化硅晶体多块拼接模具，包括底盘、底托、定位块、支撑柱、定位工件、横梁和丝杆；所述底托设置于所述底盘顶面中部；所述定位块设置于所述底盘顶面且位于所述底托两侧；所述支撑柱下部与所述底盘相连接，所述横梁的端部与所述支撑柱的顶部相连接；所述定位工件设置于所述底盘顶面，且所述定位工件的定位面朝向所述底托；所述丝杆贯通所述横梁并与所述横梁通过螺纹连接。
[0008]可选的，所述底盘两侧设置有侧向螺纹孔；所述支撑柱下部设置有横向螺纹孔；所述横向螺纹孔与所述侧向螺纹孔相匹配，所述横向螺纹孔与所述侧向螺纹孔用于所述底盘与所述支撑柱之间的连接。
[0009]可选的，所述支撑柱顶面设置有竖向螺纹孔；所述横梁两端均设置有梁端螺纹孔；所述梁端螺纹孔与所述竖向螺纹孔相匹配；所述梁端螺纹孔与所述竖向螺纹孔用于所述横梁与所述支撑柱之间的连接。
[0010]可选的，所述底盘顶面中部设置有中心螺纹孔；所述底托中部设置有中部螺纹孔；所述中心螺纹孔与所述中部螺纹孔相匹配；所述中心螺纹孔与所述中部螺纹孔用于所述底盘与所述底托之间的连接。
[0011]可选的，所述定位工件朝向所述底托的一侧设置有所述定位面，所述定位面为V型面。
[0012]可选的，所述定位工件朝向所述底托的一侧设置有所述定位面，所述定位面两侧的端面底部均设置有一长圆孔；所述底盘上与所述长圆孔相对应的设置有定位安装孔；所述长圆孔与所述定位安装孔用于所述底盘与所述定位工件的连接。
[0013]可选的，所述横梁中部设置有竖向的螺纹孔；或，所述横梁中部设置有竖向的贯通孔，所述贯通孔内设置有螺母；所述丝杆与所述螺纹孔或所述螺母通过螺纹连接。
[0014]本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0015]本技术中的碳化硅晶体多块拼接模具，可以重复利用，在使用过程中需要将单块晶体放置在模具底盘上，在进行拼接的过程中只需要进行稍微的人力校准就可以实现SiC不会出现左右偏离、上下层错倾斜的情况。与之前的人力目测校准，不仅提高了SiC水平方向、上下方向的精度也提高了工作效率，节省人工浪费和设备损耗。本技术模具结构简单、成本低，组装方便，操作防呆，高效率等优点。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术碳化硅晶体多块拼接模具的结构示意图；
[0018]图2为本技术碳化硅晶体多块拼接模具的俯视结构示意图。
[0019]附图标记说明：1、底盘；2、底托；3、定位块；4、支撑柱；5、定位工件；6、横梁；7、丝杆。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]如图1和2所示，本实施例提供碳化硅晶体多块拼接模具，包括底盘1、底托2、定位块3、支撑柱4、定位工件5、横梁6和丝杆7；底托2设置于底盘1顶面中部；定位块3设置于底盘1顶面且位于底托2两侧；支撑柱4下部与底盘1相连接，横梁6的端部与支撑柱4的顶部相连接；定位工件5设置于底盘1顶面，且定位工件5的定位面朝向底托2；丝杆7贯通横梁6并与横梁6通过螺纹连接。
[0022]于本具体实施例中，底盘1两侧分别设置有两个侧向螺纹孔；支撑柱4下部设置有两个横向螺纹孔；横向螺纹孔与侧向螺纹孔相匹配，横向螺纹孔与侧向螺纹孔通过螺钉实现底盘1与支撑柱4之间的连接。
[0023]支撑柱4顶面设置有竖向螺纹孔；横梁6两端均设置有梁端螺纹孔；梁端螺纹孔与竖向螺纹孔相匹配；梁端螺纹孔与竖向螺纹孔通过螺钉实现横梁6与支撑柱4之间的连接。
[0024]底盘1顶面中部设置有中心螺纹孔；底托2中部设置有中部螺纹孔；中心螺纹孔与中部螺纹孔相匹配；中心螺纹孔与中部螺纹孔通过螺钉实现底盘1与底托2之间的连接。
[0025]定位工件5朝向底托2的一侧设置有定位面，定位面为V型面。定位面两侧的端面底部均设置有一长圆孔；底盘1上与长圆孔相对应的设置有定位安装孔；长圆孔与定位安装孔用于底盘1与定位工件5的连接。
[0026]本实施例中，横梁6中部设置有竖向的螺纹孔，丝杆7与螺纹孔通过螺纹连接；于其他更加具体的实施例中，横梁6中部设置有竖向的贯通孔，贯通孔内设置有螺母，丝杆7与螺母通过螺纹连接。
[0027]底盘1尺寸为240mm
×
240mm
×
30mm，底托2尺寸为φ120mm
×
30mm，定位工件5尺寸为200mm
×
100mm
×
50mm，支撑柱4尺寸为250mm
×
60mm
×
30mm，横梁6尺寸为300mm
×
60mm
×
30mm，定位块3尺寸为200mm
×
50mm
×
30mm。
[0028]底盘1、底托2、定位块3、支撑柱4、定位工件5和横梁6均采用45号钢制作。
[0029]选用45号钢材按照零件图纸制作成形。
[0030]将各个零件粗糙度打磨至Ra1.6。
[0031]零件加工要求垂直精度90
°±
0.05
°
。
[0032]将精度合适的零件组装成成品，表面贴上0.1mm厚绒布便于保护后续使用造成的划伤磨损。
[0033]在根据不同尺寸规格的晶体，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.碳化硅晶体多块拼接模具，其特征在于，包括底盘、底托、定位块、支撑柱、定位工件、横梁和丝杆；所述底托设置于所述底盘顶面中部；所述定位块设置于所述底盘顶面且位于所述底托两侧；所述支撑柱下部与所述底盘相连接，所述横梁的端部与所述支撑柱的顶部相连接；所述定位工件设置于所述底盘顶面，且所述定位工件的定位面朝向所述底托；所述丝杆贯通所述横梁并与所述横梁通过螺纹连接。2.根据权利要求1所述的碳化硅晶体多块拼接模具，其特征在于，所述底盘两侧设置有侧向螺纹孔；所述支撑柱下部设置有横向螺纹孔；所述横向螺纹孔与所述侧向螺纹孔相匹配，所述横向螺纹孔与所述侧向螺纹孔用于所述底盘与所述支撑柱之间的连接。3.根据权利要求1所述的碳化硅晶体多块拼接模具，其特征在于，所述支撑柱顶面设置有竖向螺纹孔；所述横梁两端均设置有梁端螺纹孔；所述梁端螺纹孔与所述竖向螺纹孔相匹配；所述梁端螺纹孔与所述竖向螺纹孔用于所述横梁与所述支撑柱之间的连接。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：卢超，罗烨栋，赵新田，
申请(专利权)人：宁波合盛新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：