【技术实现步骤摘要】
一种划片机主轴划片防护箱
[0001]本申请涉及划片机领域,具体为一种划片机主轴划片防护箱。
技术介绍
[0002]划片机也叫晶圆切割机,主要用于半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二极管、LED芯片、太阳能电池、电子基片等电子元件的划切。
[0003]划片机在加工时,需要使用液体对主轴上划切的刀片进行降温,主轴刀片在切割过程中容易产生大量的水雾以及液体飞溅,不仅会影响划片机的加工,腐蚀划片机上的电子元件和线材,而且会影响产品的检查。针对于此,我们研究了一种划片机主轴划片防护箱。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于提供一种划片机主轴划片防护箱,具有防护水雾以及液体飞溅,保护划片机上的电子元件和线材的优点。
[0005]为实现上述目的,本申请提供如下技术方案:
[0006]一种划片机主轴划片防护箱,包括防护箱本体,所述防护箱本体包括框架以及设于所述框架下方两侧的防护罩,所述防护罩的一侧设置有与所述框架连接的防护板,两侧所述防护板之间设置有透明的视窗,所述视窗的下侧设置有风刀,所述框架的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种划片机主轴划片防护箱,包括防护箱本体(1),其特征在于,所述防护箱本体(1)包括框架(2)以及设于所述框架(2)下方两侧的防护罩(3),所述防护罩(3)的一侧设置有与所述框架(2)连接的防护板(4),两侧所述防护板(4)之间设置有透明的视窗(5),所述视窗(5)的下侧设置有风刀(6),所述框架(2)的两侧设置有与主轴驱动杆(12)连接的推板(7),两侧所述推板(7)之间设置有第一风琴防护罩(8),所述推板(7)背离所述第一风琴防护罩(8)的一侧设置有与所述框架(2)端面连接的第二风琴防护罩(9)。2.根据权利要求1所述的一种划片机主轴划片防护箱,其特征在于,所述防护罩(3)为顶部和左右两侧开口的防护罩(3),所述防护罩(3)的顶部与所...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖招军,李旺军,张智广,吴鹏飞,
申请(专利权)人:苏州特斯特半导体设备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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