一种探针台全自动上料机械手制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆测试探针台技术领域，且特别涉及了一种探针台全自动上料机械手，包括升降座，所述升降座的顶部设置有安装座，所述安装座通过第一转向机构连接有第二转向机构，所述第二转向机构的输出端通过调节机构连接有承载板。该探针台全自动上料机械手通过驱动电机可带动驱动齿轮转动，令单齿板移动，使得从齿轮在原位旋转，从而迫使调节齿轮升降，当调节螺杆处于下行状态时，密封膜在调节螺杆的带动下向内凹陷，使该处空气压力降低，对晶圆产生吸附力，将晶圆吸附在承载板表面，而进一步设置的通管配合抽气泵可以增强密封膜的凹陷程度，从而加强了承载板对晶圆的吸附能力。力。力。

【技术实现步骤摘要】
一种探针台全自动上料机械手


[0001]本技术涉及晶圆测试探针台领域，且特别涉及一种用于晶圆测试探针台上料的机械手。

技术介绍

[0002]晶圆探针测试也被称为中间测试，它是集成电路生产中的重要一环，晶圆测试的目的就是确保在芯片封装前，尽可能把坏的芯片筛选出来，以节约封装费用，保证最终产品的良品率，晶圆探针测试的主要设备有探针测试台、探针测试机和探针测试卡三部分，它们全部由测试系统的应用测试程序来执行测试，而探针台的内部多使用全自动机械手对晶圆进行上下料操作，全自动机械臂大致由升降机构、多轴转向机构和承载板组成，其中升降机构可带动多轴转向机构和承载板进行同步升降，而多轴转向机构则可带动承载板移动和转动。
[0003]探针台在对晶圆进行测试前，操作人员需将装有晶圆的晶圆篮放入探针台内部，然后控制机械臂进行升降及转动，便可将晶圆篮内的晶圆取出并移至晶圆承载台上进行检测，而在上述晶圆转移过程中，机械臂运行时会先通过升降机构将多轴转向机构和承载板移至一定高度，此时承载板顶部平面略低于待转移晶圆的底部平面，然后多轴转向机构控制承载板前移，将承载板插入晶圆下方，接着升降机构控制承载板上移，使晶圆与晶圆篮分离，接着控制多轴转向机构转动，将晶圆转移至晶圆承载座上方，最后通过升降机构和多轴转向机构的配合可令晶圆下移并留置于晶圆承载座上，此时承载板与晶圆分离，之后，探针测试机配合探针测试卡可对晶圆进行相关测试，上述晶圆转移过程中机械臂直接与晶圆接触的结构为承载板，而现有机械臂承载板与晶圆间的结合力仅由承载板与晶圆表面的摩擦力提供，一旦机械臂或探针台在运行过程中发生水平面失稳，承载板平面与水平面间成夹角，此时晶圆与承载板间的摩擦力便可能难以使晶圆与承载板保持相对静止状态，晶圆便有从承载板上滑落的风险，所以需要提出一种承载板有限位功能的探针台全自动上料机械手以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可对晶圆进行吸附，避免晶圆滑落的探针台全自动上料机械手。
[0005]本技术解决上述问题所采用的技术方案是：一种探针台全自动上料机械手，包括升降座，所述升降座的顶部设置有安装座，所述安装座通过第一转向机构连接有第二转向机构，所述第二转向机构的输出端通过调节机构连接有承载板，所述承载板的内部设置有可移动的单齿板和与单齿板啮合的驱动齿轮，所述承载板的内部设置有与单齿板啮合的从齿轮，所述承载板的底部设置有与从齿轮连接的驱动电机，所述承载板的顶部与从齿轮对应的位置开设有凹槽，所述凹槽的顶部设置有密封膜，所述密封膜的底部设置有调节螺杆，所述调节螺杆与从齿轮的内部螺纹连接，所述承载板的内部设置有用于限制调节螺
杆转动的第一限位杆。
[0006]作为本技术所述的一种探针台全自动上料机械手优选方案，其中：所述调节机构包括与第二转向机构输出端连接的空心板件，所述空心板件的内部设置有变向传动机构，所述变向传动机构的输出端贯穿空心板件的内顶壁并延伸至空心板件的上方，且变向传动机构输出端位于空心板件上方的一端与承载板的底部固定连接。
[0007]作为本技术所述的一种探针台全自动上料机械手优选方案，其中：所述从齿轮的顶部和底部均设置有环形限位件，所述承载板的内部开设有与从齿轮相适配的轮槽，所述轮槽的内顶壁和内底壁均开设有与环形限位件相适配的环形限位槽，所述环形限位件与环形限位槽的内部活动连接。
[0008]作为本技术所述的一种探针台全自动上料机械手优选方案，其中：所述承载板的内部开设有与轮槽内部相连通且与调节螺杆相适配的升降槽，所述调节螺杆与升降槽的内部活动插接，所述第一限位杆的底端与升降槽的内底壁固定连接，所述调节螺杆的底端开设有与第一限位杆的端面形状相适配的第一限位槽，所述第一限位杆与第一限位槽的内部活动连接。
[0009]作为本技术所述的一种探针台全自动上料机械手优选方案，其中：所述密封膜的底部设置有内螺纹环，所述调节螺杆的顶端与内螺纹环的内部螺纹连接。
[0010]作为本技术所述的一种探针台全自动上料机械手优选方案，其中：所述承载板的内部开设有移动槽，所述单齿板位于移动槽的内部，所述移动槽一侧的内壁设置有第二限位杆，所述第二限位杆与单齿板的内部活动连接。
[0011]作为本技术所述的一种探针台全自动上料机械手优选方案，其中：所述承载板的内部设置有用于与凹槽内部连通的通管，所述通管位于承载板外部的一端连接有抽气泵。
[0012]本技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：
[0013]该探针台全自动上料机械手通过驱动电机可带动驱动齿轮转动，令单齿板移动，使得从齿轮在原位旋转，从而迫使调节齿轮升降，当调节螺杆处于下行状态时，密封膜在调节螺杆的带动下向内凹陷，使该处空气压力降低，对晶圆产生吸附力，将晶圆吸附在承载板表面，而进一步设置的通管配合抽气泵可以增强密封膜的凹陷程度，从而加强了承载板对晶圆的吸附能力。
附图说明
[0014]图1是本技术实施例的结构示意图。
[0015]图2是本技术实施例的俯剖视图。
[0016]图3是本技术图2中A处的放大图。
[0017]图4是本技术实施例的侧剖视图。
[0018]图5是本技术图4中B处的放大图。
[0019]图6是本技术实施例承载板的结构示意图。
[0020]图7是本技术实施例承载板的俯剖视图。
[0021]其中：1、底座；2、升降机构；3、安装座；4、第一转向机构；401、固定板件；402、第一传动机构；5、第二转向机构；501、转动板件；502、第二传动机构；6、调节机构；601、空心板
件；602、变向传动机构；7、承载板；8、驱动电机；9、驱动齿轮；10、从齿轮；11、环形限位件；12、升降槽；13、第一限位杆；14、调节螺杆；15、凹槽；16、密封膜；17、内螺纹环；18、移动槽；19、第二限位杆；20、单齿板；21、通管。
具体实施方式
[0022]下面结合附图并通过实施例对本技术做进一步的详细说明，以下实施例是对本技术的解释而本技术并不局限于以下实施例。
[0023]参见图1
‑
图7，本实施例提供了一种探针台全自动上料机械手，包括升降座，升降座由底座1和升降机构2组成，底座1为圆盘形，其底部向上凹陷，其侧表面设置有侧固定耳，可使用紧固件对侧固定耳进行固定，将底座1安装在待安装面上，升降机构2包括与底座1固定连接的固定管，两者的连接方式包括但不限于焊接，固定管的轴线与底座1的轴线共线，固定管的底部通过安装件连接有丝杆，丝杆只能在原位转动，丝杆的底端贯穿底座1并延伸至底座1的下方，且丝杆位于底座1下方的一端固定套接有同步轮，底座1的顶部安装有转动电机，转动电机输出端贯穿底座1并延伸至底座1的下方，且同样固定套接有同步轮，两个同步轮之间通过同步带相连接，固定管的内部活动插接有内管，内管的内部安装有轴套，轴套的内壁开设有与丝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针台全自动上料机械手，包括升降座，所述升降座的顶部设置有安装座(3)，所述安装座(3)通过第一转向机构(4)连接有第二转向机构(5)，所述第二转向机构(5)的输出端通过调节机构(6)连接有承载板(7)，其特征在于：所述承载板(7)的内部设置有可移动的单齿板(20)和与单齿板(20)啮合的驱动齿轮(9)，所述承载板(7)的内部设置有与单齿板(20)啮合的从齿轮(10)，所述承载板(7)的底部设置有与从齿轮(10)连接的驱动电机(8)，所述承载板(7)的顶部与从齿轮(10)对应的位置开设有凹槽(15)，所述凹槽(15)的顶部设置有密封膜(16)，所述密封膜(16)的底部设置有调节螺杆(14)，所述调节螺杆(14)与从齿轮(10)的内部螺纹连接，所述承载板(7)的内部设置有用于限制调节螺杆(14)转动的第一限位杆(13)。2.根据权利要求1所述的一种探针台全自动上料机械手，其特征在于：所述调节机构(6)包括与第二转向机构(5)输出端连接的空心板件(601)，所述空心板件(601)的内部设置有变向传动机构(602)，所述变向传动机构(602)的输出端贯穿空心板件(601)的内顶壁并延伸至空心板件(601)的上方，且变向传动机构(602)输出端位于空心板件(601)上方的一端与承载板(7)的底部固定连接。3.根据权利要求2所述的一种探针台全自动上料机械手，其特征在于：所述从齿轮(10)的顶部和底部均设置有环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕孟光，
申请(专利权)人：安徽京元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：