一种探针台的晶圆承载台制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆测试技术领域，且特别公开了一种探针台的晶圆承载台，包括真空台，所述真空台的顶部安装有底座，所述底座通过倾角调节机构连接有载台，所述载台的顶部开设有环形等距阵列的对中槽。该探针台的晶圆承载台通过拧动调节件可迫使对中夹块向载台的轴心处移动，直至各对中夹块完成对晶圆的夹持固定，通过机械结构对晶圆进行固定相较于真空吸附更加牢固稳定，不会受真空环境影响，进一步设置的倾角调节机构则可带动载台翻转，使晶圆倾斜，令晶圆平面与水平面成夹角设置，以便后续对晶圆的扫描作业，而且因为晶片被机械结构夹持固定在承载台表面，故而有效避免晶圆在倾斜后发生的滑移可能性。斜后发生的滑移可能性。斜后发生的滑移可能性。

【技术实现步骤摘要】
一种探针台的晶圆承载台


[0001]本技术涉及晶圆测试领域，具体涉及一种探针台的晶圆承载台。

技术介绍

[0002]晶圆探针测试也被称为中间测试，它是集成电路生产中的重要一环，晶圆测试的目的就是确保在芯片封装前，尽可能把坏的芯片筛选出来，以节约封装费用，保证最终产品的良品率。晶圆探针测试的主要设备有探针测试台、探针测试机和探针测试卡三部分，他们全部由测试系统的应用测试程序来执行测试，探针测试台主要负责探针测试卡的探针与晶圆上的每个晶粒之间一一对应精密接触，其接触的好坏将直接影响测试结果，其中的位置控制模块将根据工作指令控制晶圆承载台的运动，将晶片进行定位并精确送到测试位置，实现自动测试。
[0003]现有晶圆承载台的运动状态大多仅包括沿相互垂直的X
‑
Y轴方向的线性移动和以承载台中心轴线为转轴的自转运动，但当晶圆需要进行扫描时，晶圆承载台就必须具备可将晶片调整至倾斜状态的功能(晶片的平面与水平面形成夹角)，然而现有的晶圆承载台通常采用真空吸附对晶圆进行固定，其原理是利用真空负压将晶片吸附在承载台的表面，以达到夹持工件的目的，然而当晶片重量较大时，承载台为晶片提供真空吸附力相对较小，在晶片在被调至倾斜状态后，晶片便可能沿着承载台的斜面滑动，直至掉落，而当晶片在低温大气环境中测试时，空气中的水汽会凝结在晶片上，如此会因漏电过大或者探针无法接触电极而导致测试失败，为了避免上述情况的发生，检测人员就需要将晶片放置在真空腔内，并把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，故而现有的晶圆承载台在真空环境中难以为晶片提供足够的吸附压力，很可能会导致晶圆在与探针接触过程中发生位置偏移，从而影响晶圆探针测试的准确性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种便于调整晶片水平夹角和增强晶片夹持结构稳定性的晶圆承载台。
[0005]本技术解决上述问题所采用的技术方案是：一种探针台的晶圆承载台，包括真空台，所述真空台的顶部安装有底座，所述底座通过倾角调节机构连接有载台，所述载台的顶部开设有环形等距阵列的对中槽，各所述对中槽中均活动连接有对中夹块，所述载台的内部设置有可通过拧动调节件带动其转动的驱动盘，所述驱动盘的顶部设置有用于驱动对中夹块移动的涡状线，各所述对中夹块的相对侧均设置有夹持板。
[0006]作为本技术所述的一种探针台的晶圆承载台优选方案，其中：所述载台和对中夹块与晶圆相接处的面均设置有垫层。
[0007]作为本技术所述的一种探针台的晶圆承载台优选方案，其中：所述对中夹块的顶部设置设置有用于带动夹持板升降的升降调节机构。
[0008]作为本技术所述的一种探针台的晶圆承载台优选方案，其中：所述晶圆承载
台还包括安装板和真空台位置调节机构，所述真空台位置调节机构安装于安装板的顶部，所述真空台位置调节机构通过回转座与真空台连接。
[0009]作为本技术所述的一种探针台的晶圆承载台优选方案，其中：所述真空台位置调节机构包括两个直线导轨副，两个直线导轨副上下设置，且两个直线导轨副相互垂直，下侧的所述直线导轨副通过第一基板与上侧的直线导轨副连接，上侧的所述直线导轨副通过第二基板与回转座连接。
[0010]作为本技术所述的一种探针台的晶圆承载台优选方案，其中：所述直线导轨副包括导轨、滑台、驱动电机和由驱动电机驱动的滚珠丝杠副，所述滑台设置在导轨上，且滑台只能沿着导轨的轴向移动，所述驱动电机的输出轴通过联轴器与滚珠丝杠副的输入端连接。
[0011]本技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：
[0012]该探针台的晶圆承载台通过拧动调节件可迫使对中夹块向载台的轴心处移动，直至各对中夹块完成对晶圆的夹持固定，通过机械结构对晶圆进行固定相较于真空吸附更加牢固稳定，不会受真空环境影响，进一步设置的倾角调节机构则可带动载台翻转，使晶圆倾斜，令晶圆平面与水平面成夹角设置，以便后续对晶圆的扫描作业，而且因为晶片被机械结构夹持固定在承载台表面，故而有效避免晶圆在倾斜后发生的滑移可能性。
附图说明
[0013]图1是本技术实施例的结构示意图。
[0014]图2是本技术实施例底座与真空台连接状态的结构示意图。
[0015]图3是本技术实施例真空台俯视图。
[0016]图4是本技术实施例回转座的侧剖视图。
[0017]图5是本技术实施例载台的结构示意图。
[0018]图6是本技术实施例底座与载台的侧剖视图。
[0019]图7是本技术图6中A处的放大图。
[0020]图8是本技术实施例驱动盘与调节件连接状态的结构示意图。
[0021]图9是本技术实施例升降调节机构的结构示意图。
[0022]其中：1、回转座；101、回转箱；102、转动轴；103、回转电机；104、传动齿轮；2、真空台；3、底座；4、倾角调节机构；401、转轴；402、蜗轮；403、蜗杆；5、载台；6、驱动盘；7、夹持板；8、升降调节机构；801、固定架；802、定位杆件；803、调节螺杆；804、抵持板；9、直线导轨副；901、导轨；902、驱动电机；903、滚珠丝杠副；904、滑台；10、安装板；11、对中夹块；12、调节件；13、对中槽。
具体实施方式
[0023]下面结合附图并通过实施例对本技术作进一步的详细说明，以下实施例是对本技术的解释而本技术并不局限于以下实施例。
[0024]参见图1
‑
图9，本实施例提供了一种探针台的晶圆承载台，包括真空台2和底座3，真空台2的顶部环形阵列有螺孔，底座3通过紧固螺栓与真空台2连接，紧固螺栓的底端与螺孔的内部螺纹连接，便于快速拆装底座3，可快速切换晶圆承载台晶片夹持方式的作用。
[0025]其中，晶圆承载台还包括安装板10和真空台位置调节机构。
[0026]其中，真空台位置调节机构包括两个直线导轨副9，两个直线导轨副9上下设置，且两个直线导轨副9相互垂直，下侧直线导轨副9的底部安装在安装板10上，下侧的直线导轨副9通过第一基板与上侧的直线导轨副9连接，即上侧的直线导轨副9与第一基板相连接，上侧的直线导轨副9通过第二基板与回转座1连接。
[0027]其中，直线导轨副9包括导轨901、滑台904、驱动电机902和由驱动电机902驱动的滚珠丝杠副903，滑台904设置在导轨901上，且滑台904只能沿着导轨901的轴向移动，驱动电机902的输出轴通过联轴器与滚珠丝杠副903的输入端连接。
[0028]下侧的导轨901和滚珠丝杠副903均安装在安装板10的顶部，下侧滚珠丝杠副903中的滑套通过紧固件连接有第一基板，而第一基板的顶部则设置有位于上侧的导轨901，上侧的导轨901通过上侧的滑台904连接有第二基板，回转座1则设置于第二基板的顶部，回转座1与真空台2连接。
[0029]上述的分别设置于上下两侧的滑台904分别与第一基板和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针台的晶圆承载台，包括真空台(2)，其特征在于：所述真空台(2)的顶部安装有底座(3)，所述底座(3)通过倾角调节机构(4)连接有载台(5)，所述载台(5)的顶部开设有环形等距阵列的对中槽(13)，各所述对中槽(13)中均活动连接有对中夹块(11)，所述载台(5)的内部设置有可通过拧动调节件(12)带动其转动的驱动盘(6)，所述驱动盘(6)的顶部设置有用于驱动对中夹块(11)移动的涡状线，各所述对中夹块(11)的相对侧均设置有夹持板(7)。2.根据权利要求1所述的一种探针台的晶圆承载台，其特征在于：所述载台(5)和对中夹块(11)与晶圆相接处的面均设置有垫层。3.根据权利要求2所述的一种探针台的晶圆承载台，其特征在于：所述对中夹块(11)的顶部设置设置有用于带动夹持板(7)升降的升降调节机构(8)。4.根据权利要求3所述的一种探针台的晶圆承载台，其特征在于：所述晶圆承载台还包括安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕孟光，
申请(专利权)人：安徽京元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：