一种探针卡承载台制造技术

本实用新型专利技术涉及探针卡检测技术领域，且特别涉及了一种探针卡承载台，包括承载台，所述承载台顶部的中心处开设有圆形槽，所述圆形槽内底壁的中心处开设有通槽，所述承载台的顶部设置有环形等距阵列且均沿圆形槽径向移动的移动件，所述承载台顶部开设有与移动件相适应的移动槽。该探针卡承载台，通过驱动件可带动移动件和夹持件沿着圆形槽的径向移动，以便于使探针卡电路板对中并对其进行夹持固定，而选择性翻转对应位置移动件上的夹持件，则可对圆形或矩形的探针电路板进行夹持固定，进一步在夹持件侧面设置的竖向定位给件可对探针卡电路板进行竖向限位，避免探针卡发生竖向窜动，保证了探针卡与探针卡承载台件的稳定连接。保证了探针卡与探针卡承载台件的稳定连接。保证了探针卡与探针卡承载台件的稳定连接。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡承载台


[0001]本技术涉及探针卡检测领域，具体涉及一种探针卡承载台。

技术介绍

[0002]晶圆探针测试也被称为中间测试，它是集成电路生产中的重要一环，晶圆测试的目的就是确保在芯片封装前，尽可能把坏的芯片筛选出来，以节约封装费用，保证最终产品的良品率。晶圆探针测试的主要设备有探针测试台、探针测试机和探针测试卡三部分，他们全部由测试系统的应用测试程序来执行测试，探针测试卡是测试系统和晶圆间的连接，由电路板和探针组成，其中电路板部分与探针测试机连接，探针则与晶圆上的焊点接触，以便直接收集晶圆的输入信号或检查输出值，根据所测芯片的类别，测试卡的结构多种多样，测试卡中电路板的形状及电路板上连接的探针数量与布局也各不相同。
[0003]探针卡与探针测试机的连接为固定连接，即通过紧固件将探针卡安装在探针测试机的承载台上，这种探针卡承载台会在承载面的中心处开设与探针卡电路板相适应的嵌槽，并在嵌槽的中心位置开设通槽，以供探针穿过，但上述嵌槽的形状一旦开设后便难以改变，当需要对不同种类芯片进行测试时，所需的探针卡种类也不相同，而不同探针卡之间，电路板的形状也不尽相同，探针卡电路板的形状大致可分为矩形和圆形两种，其中圆形较为常见，而嵌槽一旦设置为圆形后，矩形电路板探针卡则无法固定安装在该探针测试机的承载台上，极大限制了探针测试机的测试范围，所以需要提供一种通用型探针卡承载台以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种通用性较强的探针卡承载台。
[0005]本技术解决上述问题所采用的技术方案是：一种探针卡承载台，包括承载台，所述承载台顶部的中心处开设有圆形槽，所述圆形槽内底壁的中心处开设有通槽，所述承载台的顶部设置有环形等距阵列且均沿圆形槽径向移动的移动件，所述承载台顶部开设有与移动件相适应的移动槽，所述承载台的内部设置有用于驱动移动件移动的驱动件，各所述移动件的顶部均设置有可转动的夹持件，各所述夹持件的相对侧均设置有竖向定位件。
[0006]作为本技术所述的一种探针卡承载台优选方案，其中：所述移动件的相对侧均设置有限位凸块，所述移动槽内壁与限位凸块相对应的位置开设有限位槽，所述限位凸块与限位槽的内部活动连接。
[0007]作为本技术所述的一种探针卡承载台优选方案，其中：各所述夹持件的相对侧均开设有卡槽，所述移动件的侧面安装有与卡槽适应的卡扣，所述卡扣的侧面设置有与之抵持的弹性件。
[0008]作为本技术所述的一种探针卡承载台优选方案，其中：各所述夹持件的相对侧均设置有柔性垫块，所述竖向定位件的一侧设置于柔性垫块的内部。
[0009]作为本技术所述的一种探针卡承载台优选方案，其中：所述竖向定位件的底
部设置有柔性压块。
[0010]本技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：
[0011]该探针卡承载台，通过驱动件可带动移动件和夹持件沿着圆形槽的径向移动，以便于使探针卡电路板对中并对其进行夹持固定，而选择性翻转对应位置移动件上的夹持件，则可对圆形或矩形的探针电路板进行夹持固定，进一步在夹持件侧面设置的竖向定位给件可对探针卡电路板进行竖向限位，避免探针卡发生竖向窜动，保证了探针卡与探针卡承载台件的稳定连接。
附图说明
[0012]图1是本技术实施例的结构示意图。
[0013]图2是本技术实施例的侧剖视图。
[0014]图3是本技术图2中A处的放大图。
[0015]图4是本技术实施例驱动件的结构示意图。
[0016]图5是本技术实施例移动件的结构示意图。
[0017]图6是本技术实施例移动件的俯剖视图。
[0018]图7是本技术图6中B处的放大图。
[0019]图8是本技术实施例夹持件的结构示意图。
[0020]图9是本技术实施例夹持件的正剖视图。
[0021]其中：1、承载台；101、台板；102、安装支杆；2、驱动件；201、蜗杆；202、蜗轮；203、驱动线条；3、移动件；4、夹持件；401、翻板；402、弹性支件；403、侧向凸缘；5、限位槽；6、限位凸块；7、卡扣；8、弹性件；9、卡槽；10、柔性垫块；11、竖向定位件。
具体实施方式
[0022]下面结合附图并通过实施例对本技术作进一步的详细说明，以下实施例是对本技术的解释而本技术并不局限于以下实施例。
[0023]参见图1
‑
9图，本实施例提供了一种探针卡承载台，包括承载台1，承载台1包括四个安装支杆102和一个台板101，四个安装支杆102分别通过沉头螺钉安装在台板101底部的四角处。
[0024]台板101顶部的中心处开设有圆形槽，圆形槽的直径远大于市面上圆形探针卡电路板的直径，在安装探针卡时，探针卡的电路板将被放置在该圆形槽内，圆形内底壁的中心处开设有通槽，以供探针卡的探针穿过。
[0025]承载台1的顶部设置有八个环形等距阵列且均沿圆形槽径向移动的移动件3，移动件3包括板体和尾块，两者可为一体设置，承载台1顶部开设有与移动件3相适应的移动槽。
[0026]进一步，如图3和图5所示，移动件3的相对侧均设置有限位凸块6，移动槽内壁与限位凸块6相对应的位置开设有限位槽5，限位凸块6与限位槽5的内部活动连接，在限位凸块6和限位槽5的作用下移动件3只能在移动槽内移动，无法与台板101脱离。
[0027]承载台1的内部设置有用于驱动移动件3移动的驱动件2。
[0028]驱动件2包括蜗杆201、蜗轮202和驱动线条203，蜗杆201和蜗轮202均安装在台板101的内部，且蜗轮202的中心处开设有大于圆形槽直径的通槽，蜗轮202的轴心线与圆形槽
的轴心线共线，蜗杆201与蜗轮202啮合，蜗杆201的一端延伸至台板101的外部，操作人员可通过拧动蜗杆201驱动蜗轮202转动，驱动线条203设置于蜗轮202的顶部，驱动线条203为涡状线，而移动件3与驱动线条203对应的位置开设有与涡状线相适应的驱动槽，涡状线位于驱动槽内，当蜗轮202转动后，涡状线在驱动槽内移动，从而在移动槽的限制下迫使移动件3沿着圆形槽径向移动。
[0029]各移动件3的顶部均设置有可转动的夹持件4。
[0030]进一步，在移动件3的顶部开设有与夹持件4相适应的凹槽，当夹持件4翻转闭合时，夹持件4顶部平面低于移动件3的顶部平面，可以有效避免夹持件4与探针卡电路板侧面发生抵持接触
[0031]夹持件4包括与移动件3铰接的翻板401，翻板401的侧面设置有侧向凸缘403，凹槽的内部设置有弹性支件402，弹性支件402的两侧分别与凹槽内底壁和侧向凸缘403的底部抵持，为及翻板401提供侧向支撑力，保证翻板401处于竖直状态。
[0032]每一个移动件3有且仅有一个夹持件4与之对应，移动件3配合夹持件4可根据夹持物体的不同分为两组，每四个为一组，每组相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡承载台，包括承载台(1)，所述承载台(1)顶部的中心处开设有圆形槽，所述圆形槽内底壁的中心处开设有通槽，其特征在于：所述承载台(1)的顶部设置有环形等距阵列且均沿圆形槽径向移动的移动件(3)，所述承载台(1)顶部开设有与移动件(3)相适应的移动槽，所述承载台(1)的内部设置有用于驱动移动件(3)移动的驱动件(2)，各所述移动件(3)的顶部均设置有可转动的夹持件(4)，各所述夹持件(4)的相对侧均设置有竖向定位件(11)。2.根据权利要求1所述的一种探针卡承载台，其特征在于：所述移动件(3)的相对侧均设置有限位凸块(6)，所述移动槽内壁与限位凸块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕孟光，
申请(专利权)人：安徽京元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：