清扫系统技术方案

清扫系统具备清扫车、保养设备、控制装置，前述清扫车沿规定的行进路径行进，进行行进路径的清扫作业，前述保养设备设置于行进路径的特定位置，进行相对于清扫车的保养作业，前述控制装置控制清扫车及保养设备，控制装置在清扫车正在执行清扫作业时，在清扫车的状态满足规定的保养条件的情况下，执行中断保养控制，中断保养控制包括第1控制和第2控制，前述第1控制使清扫车进行的清扫作业中断，使清扫车向前述特定位置移动后，使保养设备进行相对于该清扫车的前述保养作业，前述第2控制在第1控制后，使清扫车向中断清扫作业的位置即中断位置移动，从中断位置再次开始清扫作业。从中断位置再次开始清扫作业。从中断位置再次开始清扫作业。

【技术实现步骤摘要】
清扫系统


[0001]本专利技术涉及清扫系统，前述清扫系统具备沿规定的行进路径行进来进行行进路径的清扫作业的清扫车、在行进路径上的特定位置设置的保养设备。

技术介绍

[0002]这样的清扫系统的一例被日本特开2013
‑
605号公报(以下记作“专利文献1”)所公开。专利文献1的清扫系统中，清扫车(W)通过抽吸在行进路径(L)堆积的灰尘来进行行进路径(L)的清扫作业。另外，
技术介绍
的说明中括号内表示的附图标记是专利文献1的附图标记。
[0003]在专利文献1的清扫系统中，清扫车(W)正在执行清扫作业时，判断成该清扫车的保养作业为必要的情况下，使清扫车(W)向保养设备移动，进行相对于该清扫车的保养作业(例如，清扫车抽吸的灰尘的除去等)。
[0004]这样，专利文献1的清扫系统中，清扫车(W)正在执行清扫作业时，判断成该清扫车的保养作业为必要的情况下，即使清扫作业为未完成的状态也进行清扫车(W)的保养作业。保养作业完成后，再次开始清扫车(W)的清扫作业时，有将该保养作业的开始前清扫已完成的范围再次清扫等、清扫作业效率低的情况。保养作业完成后作业者手动地设定清扫车(W)再次开始清扫作业的位置，由此，能够避免清扫范围重复，但在作业者的负担增加的方面是不利的。

技术实现思路

[0005]因此，希望实现能够将清扫车的清扫作业自动地高效率地进行的清扫系统。
[0006]鉴于上述内容的清扫系统的特征在于，前述清扫系统具备清扫车、保养设备、控制装置，前述清扫车沿规定的行进路径行进，进行前述行进路径的清扫作业，前述保养设备设置于前述行进路径的特定位置，进行相对于前述清扫车的保养作业，前述控制装置控制前述清扫车及前述保养设备，前述控制装置在前述清扫车正在执行前述清扫作业时，在前述清扫车的状态满足规定的保养条件的情况下，执行中断保养控制，前述中断保养控制包括第1控制和第2控制，前述第1控制使前述清扫车进行的前述清扫作业中断，使前述清扫车向前述特定位置移动后，使前述保养设备进行相对于该清扫车的前述保养作业，前述第2控制在前述第1控制后，使前述清扫车向中断前述清扫作业的位置即中断位置移动，从前述中断位置再次开始前述清扫作业。
[0007]根据该结构，中断保养控制中，使清扫车进行的清扫作业中断而使保养设备进行相对于该清扫车的保养作业的第1控制后，执行从中断清扫作业的位置再次开始清扫作业的第2控制。由此，保养作业完成后再次开始清扫车进行的清扫作业的情况下，能够避免将该保养作业的开始前已完成的范围再次清扫。此外，作业者等也无需手动设定保养作业完成后清扫车再次开始清扫作业的位置。因此，能够自动地高效率地进行清扫车进行的清扫作业。
[0008]此外，根据本结构，通过设定用于执行中断保养控制的保养条件，能够在适当的时期自动地进行清扫车的保养作业。因此，能够将清扫车维持成良好的状态。
附图说明
[0009]图1是表示设置有实施方式的清扫系统的物品搬运设备的整体结构的示意图。
[0010]图2是清扫车及搬运车的侧视图。
[0011]图3是设置有实施方式的清扫系统的物品搬运设备的控制框图。
[0012]图4是表示中断保养控制的第1控制的图。
[0013]图5是表示中断保养控制的第2控制的图。
[0014]图6是表示清扫区间的设定及清扫车与清扫区间建立对应的一例的图。
[0015]图7是表示开始清扫车的洗车的条件的设定的一例的图。
[0016]图8是表示控制装置的控制处理的一例的流程图。
[0017]图9是表示中断保养控制的一例的流程图。
具体实施方式
[0018]以下，参照附图，对实施方式的清扫系统100进行说明。如图1所示，在本实施方式中，清扫系统100设置于物品搬运设备F。
[0019]首先，关于物品搬运设备F进行说明。物品搬运设备F具备轨道3和搬运车4。
[0020]轨道3构成搬运车4的行进路径R。在本实施方式中，轨道3被以从物品搬运设备F的顶棚悬挂的状态支承。
[0021]搬运车4构成为沿行进路径R行进。在本实施方式中，配置有多个搬运车4。搬运车4构成为，将物品W(参照图2)向沿行进路径R配置的多个搬运对象部位(省略图示)的某个搬运。物品W例如是称作前端开启式晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod)的容纳多个半导体晶圆的正面开口式的容器。该情况下，作为上述的搬运对象部位，搬运车4向用于处理半导体晶圆的处理装置、暂时保管用的保管库等搬运物品W。
[0022]如图2所示，在本实施方式中，搬运车4具备第1行进部41、移载部42、第1罩43。
[0023]第1行进部41具备在轨道3上滚动的多个第1车轮41a。在本实施方式中，借助行进用马达(省略图示)的驱动力，多个第1车轮41a的至少一个旋转而在轨道3上滚动，由此，余下的第1车轮41a也在轨道3上滚动。这样，第1行进部41沿具备轨道3地构成的行进路径R行进。
[0024]移载部42在与上述搬运对象部位之间移载物品W。虽省略详细的说明，但移载部42例如具备保持物品W的保持部、使该保持部相对于第1行进部41升降移动的升降部。此外，移载部42根据需要，具备使上述保持部相对于第1行进部41水平移动的水平移动部、使上述保持部以沿着铅垂方向的旋转轴为中心相对于第1行进部41旋转的回转部。另外，移载部42具备用于在与上述搬运对象部位之间移载物品W所必要的结构即可，不限于如上所述的结构。
[0025]第1罩43形成为覆盖被移载部42保持的物品W。在本实施方式中，第1罩43形成为，在上述保持部位于上述升降部的移动范围的最上侧的状态下，从第1行进部41的行进方向的两侧(图2的左右方向)及上侧覆盖被该保持部保持的物品W。此外，在本实施方式中，第1罩43在被从第1行进部41悬挂的状态下经由第1连结部44与第1行进部41连结。
[0026]接着，关于清扫系统100进行说明。如图1所示，清扫系统100具备清扫车1、保养设备2。
[0027]清扫车1沿规定的行进路径R行进。并且，清扫车1进行行进路径R的清扫作业。在本实施方式中，作为清扫车1的清扫对象的行进路径R是搬运车4的行进路径R。因此，清扫车1和搬运车4构成为，在构成行进路径R的相同的轨道3行进。在本实施方式中，清扫车1清扫在轨道3上堆积的灰尘。这样的灰尘由于物品搬运设备F内的各要素动作而产生，例如，由于搬运车4在轨道3行进时第1车轮41a的磨损等而产生。
[0028]在本实施方式中，配置有多个清扫车1。此外，在行进路径R设定有多个清扫区间S。多个清扫车1的每一个与至少一个清扫区间S建立对应，进行建立对应的清扫区间S的清扫作业。图示的例子中，行进路径R包括多个环状路径，与这些多个环状路径的每一个对应地设定有清扫区间S。
[0029]保养设备2构成为进行相对于清扫车1的保养作业。保养设备2设置于行进路径R的特定位置P。在本实施方式中，特定位置P设定于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清扫系统，其特征在于，前述清扫系统具备清扫车、保养设备、控制装置，前述清扫车沿规定的行进路径行进，进行前述行进路径的清扫作业，前述保养设备设置于前述行进路径的特定位置，进行相对于前述清扫车的保养作业，前述控制装置控制前述清扫车及前述保养设备，前述控制装置在前述清扫车正在执行前述清扫作业时，在前述清扫车的状态满足规定的保养条件的情况下，执行中断保养控制，前述中断保养控制包括第1控制和第2控制，前述第1控制使前述清扫车进行的前述清扫作业中断，使前述清扫车向前述特定位置移动后，使前述保养设备进行相对于该清扫车的前述保养作业，前述第2控制在前述第1控制后，使前述清扫车向中断前述清扫作业的位置即中断位置移动，从前述中断位置再次开始前述清扫作业。2.如权利要求1所述的清扫系统，其特征在于，前述保养条件包括第1条件和第2条件的至少一方，前述第1条件为，在前述行进路径处设定的清扫区间的前述清扫作业已完成，前述第2条件为，上次的前述保养作业完成后的前述清扫作业的经过时间超过规定的阈值。3.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：萩原孝一，上村刚，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：