一种用在晶圆运输的旋转机构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆技术领域，尤其为一种用在晶圆运输的旋转机构，包括：支撑架，所述支撑架内腔底部的左侧固定连接有旋转电机，所述旋转电机的输出轴固定连接有旋转杆一，所述旋转杆一的一端贯穿至支撑架的左侧并固定连接有连接板一，所述连接板一的顶部固定连接有平板，所述平板顶部的前侧固定连接有两个呈对称设置的对中气缸。本实用新型专利技术具备结构可靠，移动方便，占用空间小和加工效率高的优点，在实际的使用过程中，可方便对晶圆的位置进行调节，且操作过程简单，从而有利于提高晶圆的加工效率，其次该旋转机构的结构安全可靠，占地面积小，不但便于对其进行移动，且又便于使用者进行使用。者进行使用。者进行使用。

【技术实现步骤摘要】
一种用在晶圆运输的旋转机构


[0001]本技术涉及晶圆
，具体为一种用在晶圆运输的旋转机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]晶圆在生产时需要对其位置进行移动，虽然目前晶圆的抓取结构非常多，但存在结构的稳定性不足，以及不同工艺需求不同的弊端，其次晶圆的搬运结构复杂多变，搬运动作复杂，空间利用率低，为解决上述问题，一种用在晶圆运输的旋转机构，亟待开发。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用在晶圆运输的旋转机构，具备结构可靠，移动方便，占用空间小和加工效率高的优点，解决了虽然目前晶圆的抓取结构非常多，但存在结构的稳定性不足，以及不同工艺需求不同的弊端，其次晶圆的搬运结构复杂多变，搬运动作复杂，空间利用率低的问题。
[0005]为达成上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用在晶圆运输的旋转机构，包括：支撑架，所述支撑架内腔底部的左侧固定连接有旋转电机，所述旋转电机的输出轴固定连接有旋转杆一，所述旋转杆一的一端贯穿至支撑架的左侧并固定连接有连接板一，所述连接板一的顶部固定连接有平板，所述平板顶部的前侧固定连接有两个呈对称设置的对中气缸，所述对中气缸的输出端固定连接有活动板，所述平板的顶部固定连接有两个呈对称设置的竖板，两个竖板相对的一侧共同固定连接有直线导轨一，所述直线导轨一的表面与活动板之间构成滑动连接，所述活动板的一侧开设有与直线导轨一相适配的滑孔一，所述活动板的顶部固定连接有升降模组，所述升降模组的一侧固定连接有旋转气缸，所述旋转气缸的输出端固定连接有夹紧装置。
[0006]进一步的，作为本技术一种优选的，所述支撑架的形状为凹形。
[0007]进一步的，作为本技术一种优选的，两个竖板相对的一侧固定连接有两个呈对称设置的直线导轨二，所述活动板与直线导轨二之间构成滑动连接，且活动板的一侧开设有两个与直线导轨二相适配的滑孔二，所述直线导轨一位于两个直线导轨二之间。
[0008]进一步的，作为本技术一种优选的，所述升降模组包含有与活动板固定连接的固定架，所述固定架的顶部设置有升降电机，所述升降电机的表面套接有固定座，所述固定座的底部与固定架固定连接，所述升降电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底端贯穿至固定架的内腔并与固定架转动连接，所述螺纹杆的表面螺纹连接有支撑板，所述支撑板的一侧与旋转气缸固定连接。
[0009]进一步的，作为本技术一种优选的，所述固定架内腔的一侧开设有两个导向槽，所述导向槽的内腔滑动连接有导向块，所述导向块的一侧延伸至导向槽的外侧并与支
撑板固定连接。
[0010]进一步的，作为本技术一种优选的，所述平板底部的右侧固定连接有连接板二，所述连接板二的一侧固定连接有旋转杆二，所述旋转杆二的一端贯穿至支撑架的右侧。
[0011]有益效果，本申请的技术方案具备如下技术效果：本技术通过支撑架、旋转电机、旋转杆一、连接板一、平板、对中气缸、活动板、竖板、直线导轨一、升降模组、旋转气缸和夹紧装置的配合使用，起到了减少旋转机构的占地面积，又便于对晶圆进行调节，同时有利于提高晶圆加工效率的作用，使得该用在晶圆运输的旋转机构具备结构可靠，移动方便，占用空间小和加工效率高的优点，在实际的使用过程中，可方便对晶圆的位置进行调节，且操作过程简单，从而有利于提高晶圆的加工效率，其次该旋转机构的结构安全可靠，占地面积小，不但便于对其进行移动，且又便于使用者进行使用，解决了虽然目前晶圆的抓取结构非常多，但存在结构的稳定性不足，以及不同工艺需求不同的弊端，其次晶圆的搬运结构复杂多变，搬运动作复杂，空间利用率低的问题。
[0012]应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的技术主题的一部分。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0014]图1为本技术结构立体示意图；
[0015]图2为本技术局部结构立体示意图；
[0016]图3为本技术升降模组局部结构后视拆分状态立体示意图。
[0017]图中，各附图标记的含义如下：1、支撑架；2、旋转电机；3、旋转杆一；4、连接板一；5、平板；6、对中气缸；7、活动板；8、竖板；9、直线导轨一；10、升降模组；101、固定架；102、升降电机；103、固定座；104、螺纹杆；105、支撑板；11、旋转气缸；12、夹紧装置；13、直线导轨二；14、导向槽；15、导向块；16、连接板二；17、旋转杆二。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，为了更了解本技术的
技术实现思路
，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。在本公开中参照附图来描述本技术的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如附图1至附图3所示：本实施例提供一种用在晶圆运输的旋转机构，包括：支撑架1，支撑架1的形状为凹形，支撑架1内腔底部的左侧固定连接有旋转电机2，旋转电机2的输出轴固定连接有旋转杆一3，旋转杆一3的一端贯穿至支撑架1的左侧并固定连接有连接板一4，连接板一4的顶部固定连接有平板5，平板5顶部的前侧固定连接有两个呈对称设置的对中气缸6，对中气缸6的输出端固定连接有活动板7，平板5的顶部固定连接有两个呈对称
设置的竖板8，两个竖板8相对的一侧共同固定连接有直线导轨一9，直线导轨一9的表面与活动板7之间构成滑动连接，活动板7的一侧开设有与直线导轨一9相适配的滑孔一，活动板7的顶部固定连接有升降模组10，升降模组10的一侧固定连接有旋转气缸11，升降模组10包含有与活动板7固定连接的固定架101，固定架101的顶部设置有升降电机102，升降电机102的表面套接有固定座103，固定座103的底部与固定架101固定连接，升降电机102的输出轴固定连接有螺纹杆104，螺纹杆104的底端贯穿至固定架101的内腔并与固定架101转动连接，螺纹杆104的表面螺纹连接有支撑板105，支撑板105的一侧与旋转气缸11固定连接，旋转气缸11的输出端固定连接有夹紧装置12。
[0020]具体的，两个竖板8相对的一侧固定连接有两个呈对称设置的直线导轨二13，活动板7与直线导轨二13之间构成滑动连接，且活动板7的一侧开设有两个与直本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用在晶圆运输的旋转机构，包括：支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)内腔底部的左侧固定连接有旋转电机(2)，所述旋转电机(2)的输出轴固定连接有旋转杆一(3)，所述旋转杆一(3)的一端贯穿至支撑架(1)的左侧并固定连接有连接板一(4)，所述连接板一(4)的顶部固定连接有平板(5)，所述平板(5)顶部的前侧固定连接有两个呈对称设置的对中气缸(6)，所述对中气缸(6)的输出端固定连接有活动板(7)，所述平板(5)的顶部固定连接有两个呈对称设置的竖板(8)，两个竖板(8)相对的一侧共同固定连接有直线导轨一(9)，所述直线导轨一(9)的表面与活动板(7)之间构成滑动连接，所述活动板(7)的一侧开设有与直线导轨一(9)相适配的滑孔一，所述活动板(7)的顶部固定连接有升降模组(10)，所述升降模组(10)的一侧固定连接有旋转气缸(11)，所述旋转气缸(11)的输出端固定连接有夹紧装置(12)。2.根据权利要求1所述的一种用在晶圆运输的旋转机构，其特征在于：所述支撑架(1)的形状为凹形。3.根据权利要求1所述的一种用在晶圆运输的旋转机构，其特征在于：两个竖板(8)相对的一侧固定连接有两个呈对称设置的直线导轨二(13)，所述活动板(7)与直线导轨二(13)之间构成滑动连接，且活动板(7)的一侧开设有两...

【专利技术属性】
技术研发人员：马彪，王国芳，
申请(专利权)人：南京华易泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：